중간 레벨 배선패턴의 수가 감소된 반도체 장치 및 그 형성방법 document_id 1020000065424

[청구항 3] 제1항에 있어서,상기 제1하부레벨접촉플러그는, 상기 하부레벨층간절연구조가 제공되는 반도체기판상에 형성된 제1반도체소자직접 연결되는다레벨배선구조. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 제1상부레벨접촉플러그의 상단에 직접 연결된 제1상위레벨배선더 포함하는다레벨배선구조. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제1상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 상면 위로연장되는다레벨배선구조. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 제1상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 제1상부영역에 형성된 제1상위레벨배선홈내에 연장되어, 상기 제1상위레벨배선의 상면이상기상부레벨층간절연구조의상면동일한레벨로 되는다레벨배선구조. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 하부레벨층간절연구조 및 상기 상부레벨층간절연구조 간에 연장되는 저지(stopper)절연막더 포함하는다레벨배선구조. [청구항 8] 제7항에 있어서,적어도 하나의 하부레벨 단일전도성일체화구조를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 하부레벨 단일전도성일체화구조는, 상기 하부레벨층간절연구조내에 연장되는 제2하부레벨접촉플러그; 및상기 하부레벨층간절연구조의 상부영역에 형성된 하부레벨배선홈내에 연장되는 제1하부레벨배선을 더 포함하며, 상기 제1하부레벨배선의 상면은 상기 하부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨이 되고 상기 제1하부레벨접촉플러그의 상기 상단과도 동일한 레벨되는다레벨배선구조. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 상위레벨층간절연구조내에서 연장되고, 그의 하단이 상기 제1하부레벨배선의 상면의 일부와 직접 연결되는 제2상위레벨접촉플러그; 및상기 제2상위레벨접촉플러그의 상단의 일부와 직접 연결되는 제2상위레벨배선더 포함하는다레벨배선구조. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제2상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 상면위로연장되는다레벨배선구조. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 제2상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 제2상부영역에 형성된 제2상위레벨배선홈내에 연장되어, 상기 제2상위레벨배선의 상면이 상기 상부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨되는다레벨배선구조. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 제1하부레벨접촉플러그는, 상기 하부레벨층간절연구조가 제공되는 반도체기판상에 형성된 제1반도체소자직접 연결되는다레벨배선구조. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제1상부레벨접촉플러그의 상단과 직접 연결된 제1상위레벨배선더 포함하는다레벨배선구조. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제1상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 상면 위로연장되는다레벨배선구조. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 제1상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 제1상부영역에 형성된 제1상위레벨배선홈내에 연장되어, 상기 제1상위레벨배선의 상면은 상기 상부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨되는다레벨배선구조. [청구항 18] 제12항에 있어서,상기 상위레벨층간절연구조내에서 연장되고, 그 하단이 상기 제1하부레벨배선의 상면의 일부와 직접 연결되는 제2상위레벨접촉플러그; 및상기 제2상위레벨접촉플러그의 상단의 일부와 직접 연결된 제2상위레벨배선더 포함하는다레벨배선구조. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 제2상위레벨배선이 상기 상부레벨층간절연구조의 상면 위로연장되는다레벨배선구조. [청구항 20] 제18항에 있어서,상기 제2상위레벨배선이 상기 상부레벨층간절연구조의 제2상부영역에 형성된 제2상위레벨배선홈내에 연장되어, 상기 제2상위레벨배선의 상면이 상기 상부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨되는다레벨배선구조. [청구항 21] 하부레벨층간절연구조내에서 연장되는 제1하부레벨접촉플러그 및 상기 하부레벨층간절연구조 위로 연장되는 상부레벨층간절연구조내에서 연장되는 제1상부레벨접촉플러그로 된 적어도 하나의 제1하부레벨접촉플러그 및 제1상부레벨접촉플러그 세트로서, 제1하부레벨접촉플러그는 어떠한 배선패드의 개재없이 상기 제1상부레벨접촉플러그의 하단과 직접 접촉하여 정렬되는 적어도 하나의 제1하부레벨접촉플러그 및 제1상부레벨접촉플러그 세트 상기 하부레벨층간절연구조 및 상기 상부레벨층간절연구조간에 연장되는 저지절연막 상기 하부레벨층간절연구조내에서 연장되는 제2하부레벨접촉플러그 및 상기 하부레벨층간절연구조의 상부영역에 형성된 하부레벨배선홈내에 연장되고, 그 상단이 상기 하부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨이 되고 또한 상기 제1하부레벨접촉플러그의 상기 상단과 동일한 레벨이 되는 제1하부레벨배선을 더 포함하는 적어도 하나의 하부레벨의 단일전도성일체화구조 상기 제1상부레벨접촉플러그의 상단과 직접 연결된 제1상위레벨배선 상기 상위레벨층간절연구조내에서 연장되고, 그 하단이 상기 제1하부레벨배선의 상면의 일부와 직접 연결되는 제2상위레벨접촉플러그; 및 상기 제2상위레벨접촉플러그의 일부와 직접 연결된 제2상위레벨배선을 포함하는 다레벨배선구조 [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 제1하부레벨접촉플러그는, 상기 하부레벨층간절연구조가 제공된 반도체기판상에 형성된 제1반도체소자직접 연결되는다레벨배선구조. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 제1상위레벨배선이 상기 상부레벨층간절연구조의 상면위로연장되는다레벨배선구조. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 제1상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 제1상부영역에 형성된 제1상위레벨배선홈내에 연장되어, 상기 제1상위레벨배선의 상면이 상기 상부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨되는다레벨배선구조. [청구항 26] 제21항에 있어서,상기 제2상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 상면위로연장되는다레벨배선구조. [청구항 27] 제21항에 있어서,상기 제2상위레벨배선은 상기 상부레벨층간절연구조의 제2상부영역에 형성된 제2상위레벨배선홈내에 연장되어, 상기 제2상위레벨배선의 상면이 상기 상부레벨층간절연구조의 상면과 동일한 레벨되는다레벨배선구조.