문맥 (context)
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 데이터 확인 수단은,광을 조사하기 위한 광원; 상기 광원에서 조사한 광이 연마 패드에서 반사한 반사광을 집광하는 집광부; 및 상기 집광부에 의해 집광된 광의 세기를 전기적 신호로 변환한 광 데이터를 출력하는출력부구비하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,상기 출력부는 광의 세기를 전기적 신호로 변환하기 위한다수개의광전 변환 소자구비하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 12]
제 10항에 있어서,상기 출력부는 상기 다수개의 광전 변환 소자에 의해 출력된 광 데이터를 디지털 신호로 변환하는변환기더포함하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 13]
제 9항에 있어서,상기 결함을 검사하는 대상인 연마 패드가 놓여지는 스테이지와 상기 스테이지를 회전하기 위한회전축더구비하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 14]
제 13항에 있어서,상기 스테이지에 놓여서 회전하는 검사 대상의 연마 패드에 대한 데이터를 확인하는 데이터 확인 수단은, 상기 연마 패드의 반지름 영역에 대해 광 데이터를 출력하도록설치하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 15]
제 9항에 있어서,상기 결함 검출 수단은,상기 출력부에서 출력된 정상적인 연마 패드의 광 데이터를 저장하기 위한 저장부;상기 출력부에서 출력된 검사 대상의 연마 패드의 광 데이터가 입력되는 입력부; 상기 저장부 및 입력부의 광 데이터를 비교하여 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함을 검출하는결함확인부구성되는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 16]
제 9항에 있어서,상기 결함 검출 수단과 연결되고, 상기 검사 대상의 연마 패드에서 검출된 결함의 위치를 확인하는위치확인부더구비하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 17]
제 9항에 있어서,상기 결함 검출 수단과 연결되고, 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함이 발생될 경우, 패드의 결함 검사를 중지시키고 경보를 발생하기 위한제어부더구비하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 18]
제 9항에 있어서,상기 결함 확인 수단과 연결되고, 상기 검출된 결함을 디스플레이하는모니터구비하는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치.
[청구항 20]
제 19항에 있어서,상기 데이터 확인 수단은,연마 패드 표면에 광을 조사하기 위한 광원; 상기 광원에서 조사한 광이 상기 연마 패드에서 반사한 반사광을 집광하는 집광부; 및상기 집광부에 의해 집광된 광의 세기를 전기적 신호로 변환하여 출력하는출력부구비하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 21]
제 20항에 있어서,상기 출력부는 상기 연마 패드의 중심으로부터 소정 각과 소정 간격을 갖는다수개의광전 변환 소자구비하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 22]
제 20항에 있어서,상기 출력부는 상기 다수개의 광전 변환 소자에 의해 출력된 광 데이터를 디지털 신호로 변환하는변환기더포함하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 23]
제 19항에 있어서,상기 결함 검출 수단은,공정 수행시 웨이퍼에 불량을 발생시키지 않는 정상적인 연마 패드의 광 데이터가 저장되는 저장부;검사 대상의 연마 패드의 광 데이터가 입력되는 입력부; 상기 저장부 및 입력부의 광 데이터를 비교하여 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함을 검출하는결함확인부구성되는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 24]
제 19항에 있어서,상기 결함 검출 수단과 연결되고, 플레튼에 부착된 연마 패드의 소정의 기준점으로부터 회전각과 상기 연마 패드의 중심으로부터 거리를 산출하여 검출된 결함의 위치를 확인하는 위치 확인부를구비하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 25]
제 19항에 있어서,상기 결함 검출 수단과 연결되고, 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함이 발생될 경우, 연마를 중지시키고 경보를 발생하기 위한제어부더구비하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 26]
제 19항에 있어서,상기 결함 검출 수단과 연결되고, 상기 검출된 결함을 디스플레이하는모니터구비하는것을특징으로 하는연마 장치.
지시문 (instruction)
본문에서 필요한 정보를 찾아 질문에 답변하라.
질문 (question)
연마 패드 검사 장치에서 결함 검출 수단이 검사 대상 연마 패드의 결함을 판별하기 위해 수행하는 구체적인 동작 과정은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation연마 패드 검사 장치의 결함 검출 수단이 결함을 판별하기 위해 수행하는 구체적인 동작 과정을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 15를 통해 결함 검출 수단의 구성 요소인 저장부, 입력부, 결함확인부를 확인한다.
- 상기 결함 검출 수단은,상기 출력부에서 출력된 정상적인 연마 패드의 광 데이터를 저장하기 위한 저장부;상기 출력부에서 출력된 검사 대상의 연마 패드의 광 데이터가 입력되는 입력부; 상기 저장부 및 입력부의 광 데이터를 비교하여 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함을 검출하는결함확인부구성되는것을특징으로 하는연마 패드 검사 장치
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3근거 선택
evidence_selection결함 판별 동작과 직접 관련된 '저장부의 정상 데이터', '입력부의 검사 대상 데이터', '결함확인부의 비교 동작' 구절을 선택한다.
- 상기 저장부 및 입력부의 광 데이터를 비교하여 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함을 검출하는결함확인부
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4논리 통합
logical_integration저장부에 저장된 정상적인 연마 패드의 광 데이터와 입력부를 통해 들어온 검사 대상 연마 패드의 광 데이터를 결함확인부가 비교함으로써 결함을 검출하는 논리적 흐름을 도출한다.
- 상기 저장부 및 입력부의 광 데이터를 비교하여 상기 검사 대상의 연마 패드에 결함을 검출하는결함확인부
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5결론 도출
conclusion_formulation결함 검출 수단은 저장된 정상 데이터와 입력된 검사 대상 데이터를 비교하는 과정을 통해 결함을 판별한다는 결론을 내린다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 동작 과정을 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
연마 패드 검사 장치의 결함 검출 수단은, 먼저 저장부에 정상적인 연마 패드의 광 데이터를 저장해 두고, 입력부를 통해 검사 대상 연마 패드의 광 데이터를 입력받은 후, 결함확인부가 저장된 정상 데이터와 입력된 검사 대상의 광 데이터를 비교함으로써 결함을 검출하는 동작 과정을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 정상 연마 패드의 광 데이터와 검사 대상 패드의 광 데이터를 비교하는 방식을 통해 연마 패드의 결함을 정밀하게 검출하는 기술에 관한 것이다.