문맥 (context)
[청구항 1]
피가공물의 피가공면에 대하여 자외광을 조사하여 그 세정 또는 개질을 수행하기 위한 자외광 조사장치에 있어서,
자외광 조사광원;
상기 피가공물을 상기 자외광 조사광원에 대하여 그 폭방향에 있어서 상기 자외광의 조사범위를 횡단하도록 직선적으로 상대이동시키는 이동수단; 및
상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 ap/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 주사광원에 대하여 일방향으로 상대이동하도록 상기 이동수단을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외광 조사장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제어수단은 상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 2 ap/j 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 왕복방향으로 상대이동하도록상기이동수단제어하는것을특징으로 하는 자외광 조사장치.
[청구항 3]
피가공물의 피가공면에 대하여 자외광을 조사하여 그 세정 또는 개질을 수행 하기 위한 자외광 조사장치에 있어서,
나란히 근접배치된 n 개의 자외광 조사광원
상기 피가공물을 상기 자외광 조사광원에 대하여 그의 배열 방향에 있어서 상기 자외광의 조사범위를 횡단하도록 직선적으로 상대이동시키는 이동수단; 및
상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 apn/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 일방향으로 상대이동하도록 상기 이동수단을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외광 조사장치
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 제어수단은 상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 2 apn/j 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 왕복방향으로 상대이동하도록상기이동수단제어하는것을특징으로 하는 자외광 조사장치.
[청구항 5]
피가공물의 피가공면에 대하여 자외광을 조사하여 그 세정 또는 개질을 수행하기 위한 자외광 조사장치에 있어서,
나란히 배치된 n 개의 자외광 조사광원으로서, 상기 각 자외광 조사광원 사이의 피치가 (l＋a)/n (l 은 피가공물의 길이, a 는 자외광 조사광원의 폭) 인 n 개의 자외광 조사광원
상기 피가공물을 그 길이방향으로부터 상기 자외광 조사광원에 대하여 그 배열 방향에 있어서 상기 자외광의 조사범위를 횡단하도록 직선적으로 상대이동시키는 이동수단; 및
상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동거리가 (l＋a)/n 이 되도록 상기 이동수단을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외광 조사장치
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 제어수단은 상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 ap/j (p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 일방향으로 상대이동하도록상기이동수단제어하는것을특징으로 하는 자외광 조사장치.
[청구항 7]
제 5 항에 있어서,상기 제어수단은 상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 2 ap/j (p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 왕복방향으로 상대이동하도록상기이동수단제어하는것을특징으로 하는 자외광 조사장치.
[청구항 8]
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,외광 조사광원은 유전체엑시머 램프인것을특징으로 하는 자외광 조사장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
자외광 조사광원이 n개로 나란히 근접 배치된 경우, 제어수단이 피가공물을 일방향으로 상대이동시키기 위해 제어해야 하는 피가공물의 상대이동속도 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation자외광 조사광원이 n개로 나란히 근접 배치된 상황에서, 피가공물을 일방향으로 이동시키기 위한 제어수단의 상대이동속도 조건을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 n개의 자외광 조사광원이 나란히 근접 배치된 경우와 그에 따른 제어 조건을 확인한다.
- 나란히 근접배치된 n 개의 자외광 조사광원
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3근거 선택
evidence_selection청구항 3의 제어수단 관련 구절에서 속도 조건과 일방향 이동 조건을 추출한다.
- 상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 apn/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 일방향으로 상대이동하도록 상기 이동수단을 제어하는 제어수단
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4논리 통합
logical_integrationn개의 광원이 배치된 경우, 속도 조건은 apn/j 이하이며, 질문에서 요구한 일방향 이동 조건과 일치함을 확인한다.
- 상기 자외광의 조사범위에 있어서의 상기 피가공물의 상대이동속도가 apn/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하이고, 상기 피가공물이 상기 자외광 조사광원에 대하여 일방향으로 상대이동하도록
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5결론 도출
conclusion_formulation피가공물의 상대이동속도는 apn/j 이하이어야 한다.
- apn/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하
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6답변 생성
answer_generation추출된 속도 조건을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- apn/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하
최종 답변 (final_answer)
apn/j (a 는 자외광 조사광원의 폭, p 는 그 단위면적 당 평균광량, j 는 피가공물의 세정 또는 개질에 필요한 단위면적 당 적산광량) 이하
핵심 해석 (core_interpretation)
n개의 자외광 조사광원이 나란히 배치된 장치에서, 피가공물의 일방향 상대이동 시 적정 세정/개질을 위해 제어해야 하는 상대이동속도의 임계 조건을 정의한다.