리소그래피장치용 위치결정 시스템 document_id 1020000071727

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제 2슬라이더에 피봇가능하게 장착되어 상기 크로스-빔과 상기 제 2측빔의 사이에서 상기 평면 내의 상기 제 2측빔에 수직인 힘을 전달하는 제 2스러스트 베어링을 더욱 포함하고, 상기 제 2스러스트 베어링은 상기 평면에 법선인 축을 중심으로 회전함에 의하여 상기 크로스-빔의 길이가 상기 측빔에 수직방향으로 감소되는 효과를 수용할 수 있는수단구비하는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 3] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 크로스-빔은 상기 평면과 평행인 하나 이상의 축을 중심으로 어느 정도는 상대적으로 회전하도록 하는 연결부에 의해 상기 제 1및제2슬라이더중하나이상탑재되는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 4] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기제 1 및 제 2 모터 수단은 각각, 각각의 측빔에 장착된 고정자 및 각각의 슬라이더에 장착된 전기자를 구비하는선형 모터포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,각각의 상기 선형 모터가 상기 크로스-빔의 허용된 이동범위 내에서 상기 슬라이더의 각도 위치에 실질적으로 독립적인 구동력을 제공하는데적합한것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,각각의 상기 고정자는 헤링-본 패턴으로 배치된 자석을 구비한자석트랙포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 7] 제 4항에 있어서,상기제 1 및 제 2슬라이더를 소정 위치로 구동하도록 상기 선형 모터를 제어하는 제어수단을 더욱 포함하며, 상기 제어수단은 상기 선형모터에 적용하는 구동신호를 변화시켜 상기 측빔에 대한 상기 제 1 및 제 2슬라이더의 각도 위치를 보상하도록소정의구동력제공하는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 8] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 크로스-빔, 상기 제 3슬라이더 또는 상기 대물 홀더 상에 탑재되어 상기 평면에 법선인 축을 중심으로 한 회전을 검출하는 회전 센서 및, 상기 회전 센서에 응답하여 회전 검출기에 의해 회전율이 소정값을 초과했음이 검출되는 경우에 상기 제 1 및 제 2 모터 수단의 전력을 차단하는차단수단더욱포함하는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 차단 수단은 상기 제 1 및 제 2 모터 수단에 전력을 공급하도록배선되는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 10] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기제 1, 제 2슬라이더 중 적어도 하나에 탑재되어, 상기 크로스-빔의 각도 위치가 허용 범위를 넘는 경우에 상기 크로스-빔이 상기 측빔들 중 적어도 하나와 접촉하게 하고 또한 상기 크로스-빔의 추가 회전을 저지하는탄성크래쉬방지수단더욱포함하는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 탄성 크래쉬방지수단은, 상기 크로스-빔에 대략 수직이며 그것의 일 끝단 부근에 탄력적으로 탑재되는 하나 이상의 돌출 핀을 구비하는 기다란 부재(elongate member)를 포함하여 이루어지며, 상기 핀은 상기 측빔들 중 하나로 향하여 돌출되어 상기 크래쉬가 발생한 경우에 그것과 접촉하게 하여 상기 크로스-빔의 추가 회전을 저지할 수있는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 돌출 핀은 상기 추가 회전에 따른 탄성 부재의 바이어싱 힘에 대하여 상기 기다란 부재의 내부로 가압되도록장착되는것을특징으로 하는리소그래피투영장치. [청구항 13] 제 10항에 있어서,상기 탄성 크래쉬방지수단은, 상기 크래쉬가 일어나는 경우에 상기 측빔들 중 하나에 형성된 홈의 반대쪽 측벽에 접촉하도록 배치된 베어링과 이격되어 있는 기다란 비틀림막대포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피투영장치.