문맥 (context)
[청구항 1]
길이방향을 가진 증착원; 및
증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 막형성장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,증착원에 길이방향을 가진증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,증착원에다수의증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 4]
길이방향을 가진 증착원
증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구; 및
기구의 상부 위에 형성된 전자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 막형성장치
[청구항 5]
제 4항에 있어서,증착원에 길이방향을 가진증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 6]
제 4항에 있어서,증착원에다수의증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 7]
반입실;
반입실에 연결된 반송실; 및
반송실에 연결된 증착실을 포함하고, 증착실에 길이방향을 가진 증착원 및 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
[청구항 8]
제 7항에 있어서,증착원에 길이방향을 가진증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 9]
제 7항에 있어서,증착원에다수의증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 10]
반입실;
반입실에 연결된 반송실; 및
반송실에 연결된 증착실을 포함하고, 증착실에 길이방향을 가진 증착원, 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구, 및 기구의 상부위에 형성된 전자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
[청구항 11]
제 10항에 있어서,증착원에 길이방향을 가진증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 12]
제 10항에 있어서,증착원에다수의증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 13]
반입실;
반출실; 및
증착실을 포함하고, 상기 반입실 및 상기 반출실 및 상기 증착실이 직렬로 연결되며, 증착실에 길이방향을 가진 증착원 및 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
[청구항 14]
제 13항에 있어서,증착원에 길이방향을 가진증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 15]
제 13항에 있어서,증착원에다수의증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 16]
반입실;
반출실; 및
증착실을 포함하고, 상기 반입실 및 상기 반출실 및 상기 증착실이 직렬로 연결되며, 증착실에 길이방향을 가진 증착원 및 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구 및 기구의 상부 위에 형성된 전자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
[청구항 17]
제 16항에 있어서,증착원에 길이방향을 가진증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
[청구항 18]
제 16항에 있어서,증착원에다수의증착셀제공되는것을특징으로 하는막형성장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반입실, 반송실, 증착실을 포함하며 증착실 내에 길이방향을 가진 증착원, 증착원 이동 기구, 그리고 기구 상부에 형성된 전자석을 모두 갖춘 막형성장치는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation질문에서 요구하는 구성 요소(반입실, 반송실, 증착실, 길이방향 증착원, 증착원 이동 기구, 기구 상부 전자석)를 모두 포함하는 막형성장치를 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7은 반입실, 반송실, 증착실과 증착원, 이동 기구를 포함하지만 전자석에 대한 언급이 없다. 청구항 10은 반입실, 반송실, 증착실과 증착원, 이동 기구, 기구 상부의 전자석을 모두 포함한다.
- 반입실; 반입실에 연결된 반송실; 및 반송실에 연결된 증착실을 포함하고, 증착실에 길이방향을 가진 증착원, 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구, 및 기구의 상부위에 형성된 전자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
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3근거 선택
evidence_selection질문의 모든 조건과 일치하는 청구항 10의 문구를 선택한다.
- 반입실; 반입실에 연결된 반송실; 및 반송실에 연결된 증착실을 포함하고, 증착실에 길이방향을 가진 증착원, 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구, 및 기구의 상부위에 형성된 전자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
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4논리 통합
logical_integration청구항 10의 구성 요소들이 질문에서 제시한 반입실, 반송실, 증착실, 길이방향 증착원, 이동 기구, 기구 상부 전자석과 완벽하게 대응됨을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답으로 청구항 10에 기술된 막형성장치를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
반입실; 반입실에 연결된 반송실; 및 반송실에 연결된 증착실을 포함하고, 증착실에 길이방향을 가진 증착원, 증착원의 길이방향에 직각인 방향으로 증착원을 이동시키기 위한 기구, 및 기구의 상부위에 형성된 전자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 막형성장치
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 반입실, 반송실, 증착실의 구조와 함께 증착원의 이동 기구 및 그 상부에 배치된 전자석을 통해 증착 공정을 제어하는 막형성장치에 관한 것이다.