문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 나선구조는 곡선 또는 연결된직선모양으로된것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 3]
제1항에 있어서,구조의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝까지의 길이는 브러쉬 반지름의 10%~200%범위내결정되는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 4]
제1항에 있어서,구조의 갯수는 6~200인것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 5]
제1항에 있어서,구조의 위치는 브러쉬 중앙에서부터 브러쉬 반지름의 0%~100%사이의거리설치되는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 6]
제1항에 있어서,구조의 이심율nan은전체길이인것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 양측의 나선구조들의 갯수를 서로 같게 하거나 많은 쪽을 적은 쪽배치하는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 액체 흐름에 혼란이 생기는 것을 방지하기 위하여 상기 반대 방향의 나선구조들이 서로 만나는 지점에직선구조설치된것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 직선구조의 전체갯수는 1~100범위결정되는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 직선구조의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝까지의 길이는 브러쉬반지름인것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 11]
제8항에 있어서,상기 직선구조는 브러쉬의 중앙에서부터 브러쉬 반지름의 5~100%사이위치하는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기 브러쉬의 웨이퍼와 접촉하는 면의 중앙부분은 빈공간있는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 중앙공간의 반지름nan은브러쉬반지름인것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
[청구항 15]
제13항에 있어서,상기 중앙공간nan은브러쉬와동심원설치하는것을특징으로 하는팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
팬케익 형태의 웨이퍼 세정용 브러쉬 구조에서 액체 흐름의 혼란을 방지하기 위해 설치되는 직선구조의 특징과 그 설치 위치 및 길이에 대해 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation액체 흐름 혼란 방지를 위한 직선구조의 특징, 설치 위치, 길이를 청구항 문맥에서 찾아 설명해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8, 10, 11에서 직선구조의 목적, 길이, 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 직선구조는 브러쉬의 중앙에서부터 브러쉬 반지름의 5~100%사이위치하는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 특징(설치 지점), 길이, 위치에 직접 대응하는 구절을 선택한다.
- 브러쉬의 중앙에서부터 브러쉬 반지름의 5~100%사이위치
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 직선구조가 반대 방향 나선구조가 만나는 지점에 설치되며, 길이는 브러쉬 반지름이고, 위치는 브러쉬 중앙으로부터 반지름의 5~100% 사이임을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변을 구성한다. 특징은 반대 방향 나선구조가 만나는 지점에 설치되는 것이며, 길이는 브러쉬 반지름이고, 위치는 브러쉬 중앙에서부터 브러쉬 반지름의 5~100% 사이이다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
액체 흐름의 혼란을 방지하기 위한 직선구조는 반대 방향의 나선구조들이 서로 만나는 지점에 설치되는 특징을 가진다. 이 직선구조의 길이는 브러쉬 반지름이며, 설치 위치는 브러쉬의 중앙에서부터 브러쉬 반지름의 5~100% 사이이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 반대 방향 나선구조가 교차하는 지점에 특정 길이와 위치를 가진 직선구조를 배치함으로써, 세정 과정 중 발생할 수 있는 액체 흐름의 혼란을 제어하는 기술적 구성을 포함한다.