노광 장치, 노광 방법, 투영 광학계의 압력 조정 방법 및노광 장치의 조립 방법 document_id 1020007001949

[청구항 1] 노광용 광원으로부터의 노광광에 의해 조명된 원판의 패턴의 화상을 노광 대상물상에 투영하는 광학계를 포함하는 노광 장치에 있어서, 상기 광학계를 수용하는 수용 부재내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 가스 공급 장치와, 상기 공간내의 압력을 검출하는 압력 검출기와, 상기 압력 검출기에 의해 검출된 압력에 따라 상기 광학계의 광학 성능을 조절하는 광학 성능 조절 장치를 포함하는 노광 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 광학계는 상기 원판의 패턴의 화상을 상기 노광 대상물상에 투영하는 투영 광학계를 갖고, 상기 수용 부재는 상기 투영 광학계를 수용하는 경통을 갖고, 상기 가스 공급 장치는 상기 경통내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 경통 가스 공급 장치를 포함하며, 상기 압력 검출기는 상기 경통 공간내의 압력을 검출하는 경통내 압력 검출기를 갖고, 상기 광학 성능 조절 장치는 상기 투영 광학계의 광학 성능을 조절하는 투영 광학 성능 조절 장치포함하는노광 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 광학계는 상기 노광용 광원으로부터 사출되는 노광광에 의해 상기 원판을 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 수용 부재는 상기 조명 광학계를 수용하는 광체를 갖고, 상기 가스 공급 장치는 상기 광체내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 광체 가스 공급 장치를 포함하며, 상기 압력 검출기는 상기 광체 공간내의 압력을 검출하는 광체내 압력 검출기를 갖고,상기 광학 성능 조절 장치는 상기 조명 광학계의 광학 성능을 조절하는 조명 광학 성능 조절 장치포함하는노광 장치. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,대기 압력을 검출하는 대기압 검출기를 더 포함하고, 상기 투영 광학 성능 조절 장치는 상기 경통 공간내 압력과 상기 대기 압력에 근거하여 상기 투영 광학계의 광학 성능조절하는노광 장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,대기 압력을 검출하는 대기압 검출기를 더 포함하고, 상기 조명 광학 성능 조절 장치는 상기 광체 공간내 압력과 상기 대기 압력에 근거하여 상기 조명 광학계의 광학 성능조절하는노광 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 광학계는 상기 노광용 광원으로부터 사출되는 노광광에 의해 상기 원판을 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 수용 부재는 상기 조명 광학계를 수용하는 광체를 갖고, 상기 가스 공급 장치는 상기 광체내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 광체 가스 공급 장치를 포함하며, 상기 압력 검출기는 상기 광체 공간내의 압력을 검출하는 광체내 압력 검출기를 갖고, 상기 광학 성능 조절 장치는 상기 조명 광학계의 광학 성능을 조절하는 조명 광학 성능 조절 장치포함하는노광 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,대기 압력을 검출하는 대기압 검출기를 더 포함하고, 상기 조명 광학 성능 조절 장치는 상기 광체 공간내 압력과 상기 대기 압력에 근거하여 상기 조명 광학계의 광학 성능조절하는노광 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 광학 성능 조절 장치는 상기 광학 소자간에 형성된 공간의 압력을 조정하는 압력 조정 기구포함하는노광 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 수용 부재내의 공간을 형성하는 광학 소자는 복수 마련되고, 상기 광학 성능 조절 장치는 복수의 광학 소자중 적어도 제 1 광학 소자를 제 2 광학 소자에 대하여 소정 방향으로 상대 이동시키는 이동 기구포함하는노광 장치. [청구항 10] 노광용 광원으로부터의 노광광에 의해 조명된 원판의 패턴의 화상을 노광 대상물상에 투영하는 광학계를 포함하는 노광 장치에 있어서, 상기 광학계를 수용하는 수용 부재내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 가스 공급 장치와, 상기 공간내의 압력을 검출하는 압력 검출기와, 상기 압력 검출기에 의해 검출된 압력에 따라 상기 공간내의 압력이 사전에 결정한 목표값으로 되도록 상기 공간내의 압력을 조절하는 압력 조절 장치를 포함하는 노광 장치 [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 광학계는 상기 원판의 패턴의 화상을 상기 노광 대상물상에 투영하는 투영 광학계를 갖고, 상기 수용 부재는 상기 투영 광학계를 수용하는 경통을 갖고, 상기 가스 공급 장치는 상기 경통내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 경통 가스 공급 장치를 포함하며, 상기 압력 검출기는 상기 경통 공간내의 압력을 검출하는 경통내 압력 검출기를 갖고, 상기 압력 조절 장치는 상기 경통 공간내의 압력이 사전에 결정한 목표값으로 되도록, 상기 경통 가스 공급 장치를 조절하는 경통내 압력 조절 장치포함하는노광 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 광학계는 상기 노광용 광원으로부터 사출되는 노광광에 의해 상기 원판을 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 수용 부재는 상기 조명 광학계를 수용하는 광체를 갖고, 상기 가스 공급 장치는 상기 광체내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 광체 가스 공급 장치를 포함하며, 상기 압력 검출기는 상기 광체 공간내의 압력을 검출하는 광체내 압력 검출기를 갖고,상기 압력 조절 장치는 상기 광체 공간내의 압력이 사전에 결정한 목표값으로 되도록, 상기 광체 가스 공급 장치를 조절하는 광체내 압력 조절 장치포함하는노광 장치. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,대기 압력을 검출하는 대기압 검출기와, 이 대기압 검출기에 의해 검출된 압력에 따라 상기 투영 광학계의 광학 성능을 조절하는 투영 광학 성능 조절 장치더 포함하는노광 장치. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,대기 압력을 검출하는 대기압 검출기와, 상기 대기압 검출기에 의해 검출된 압력에 따라 상기 조명 광학계의 광학 성능을 조절하는 조명 광학 성능 조절 장치더 포함하는노광 장치. [청구항 15] 제 10 항에 있어서,상기 광학계는 상기 노광용 광원으로부터 사출되는 노광광에 의해 상기 원판을 조명하는 조명 광학계를 갖고, 상기 수용 부재는 상기 조명 광학계를 수용하는 광체를 갖고, 상기 가스 공급 장치는 상기 광체내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스를 충전하는 광체 가스 공급 장치를 포함하며, 상기 압력 검출기는 상기 광체 공간내의 압력을 검출하는 광체내 압력 검출기를 갖고,상기 압력 조절 장치는 상기 광체 공간내의 압력이 사전에 결정한 목표값으로 되도록, 상기 광체 가스 공급 장치를 조절하는 광체내 압력 조절 장치포함하는노광 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,대기 압력을 검출하는 대기압 검출기와, 이 대기압 검출기에 의해 검출된 압력에 따라 상기 조명 광학계의 광학 성능을 조절하는 조명 광학 성능 조절 장치더 포함하는노광 장치. [청구항 17] 제 9 항에 있어서,상기 광학 성능 조절 장치는 상기 일부의 광학 소자를 유지하는 제 1 유지 부재와, 상기 다른 광학 소자를 유지하는 제 2 유지 부재를 갖고, 상기 제 1 유지 부재와 상기 제 2 유지 부재 사이에, 상기 광학 소자간에 형성된 공간으로부터 상기 특정 가스의 유출을 방지하는 밀봉부를 마련하고, 상기 밀봉부는 상기 제 1 유지 부재측에 형성된 오목부와, 상기 제 2 유지 부재측에 형성되어 상기 오목부내에 삽입되는 볼록부와, 상기 오목부와 볼록부 사이에 충전되어 밀봉성을 갖는 충전재포함하는노광 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 충전재로서 광화학적으로 불활성인 불활성 그리스이용되는노광 장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 광학 성능 조절 장치는 상기 투영 광학계 또는 상기 조명 광학계의 적어도 한쪽마련되는노광 장치. [청구항 20] 제 9 항에 있어서,상기 가스 공급 장치는 상기 광학계를 구성하는 복수의 광학 소자에 의해 각각 끼워지는 복수개 공간중, 상기 제 2 광학 소자와 제 3 광학 소자 사이에 형성되고, 상기 제 1 광학 소자에 접하지 않은 제 1 공간에 특정 가스를 공급하며, 상기 제 1 광학 소자와 상기 제 2 광학 소자 사이에 끼워진 제 2 공간을 연통 수단에 의해 상기 제 1 공간연통시키는노광 장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 연통 수단은 상기 제 2 광학 소자를 유지하는 유지 부재에 마련된 연통구멍인노광 장치. [청구항 22] 제 20 항에 있어서,상기 제 1 공간은 상기 제 1 광학 소자를 유지하는 가동 부재와 상기 투영 광학계의 본체의 결합부에 마련된 충전재밀봉되는노광 장치. [청구항 23] 제 8 항에 있어서,상기 광학계에 접속되는 배기로와는 별도로 마련되고, 상기 가스 공급 장치와 상기 광학계를 접속함과 동시에 그 도중에 분기로가 마련된 공급로와, 상기 특정 가스의 압력이 소정값을 초과한 때에 상기 분기로를 여는 관로 개폐 장치포함한노광 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 관노 개폐 장치는 상기 광학계의 내부 압력을 직접적 또는 간접적으로 검출하는 압력 검출계와, 상기 분기로를 개폐하는 개폐기와, 상기 압력 검출계에 의해 검출되는 압력이 소정값을 초과한 경우에 상기 개폐기를 여는 제어 장치포함하는노광 장치. [청구항 25] 제 8 항에 있어서,상기 압력 조정 기구는 상기 공간내의 압력을 증감하고, 상기 공간과 상기 가스 공급 장치를 접속하는 공급로의 도중에 마련되며, 상기 노광 장치는 상기 공간에 접속된 배기로를 개폐하는 배기로 개폐기와, 상기 공간내에 상기 특정 가스가 충전되었는지 여부를 검출하는 가스 충전도 검출계와, 상기 공급로에 있어서의 가스 공급 압력을 설정하는 압력 설정기와, 상기 가스 공급 장치에 의한 상기 특정 가스의 공급 개시에 앞서 상기 배기로 개폐기를 열고 또한 상기 압력 설정기를 거쳐서 상기 가스 공급 압력을 제 1 값으로 설정하고, 상기 가스 충전도 검출계에 의해 상기 공간내에 상기 특정 가스가 충전된 것이 검출되었을 때, 상기 배기로 개폐기를 닫음과 동시에 상기 압력 설정기를 거쳐서 상기 가스 공급 압력을 상기 제 1 값보다 낮은 제 2 값으로 설정하는 제 1 제어 장치와, 상기 가스 공급 압력이 상기 제 2 값으로 설정된 후, 상기 압력 조정 기구를 거쳐서 상기 공간내의 압력 제어를 개시하는 제 2 제어 장치더 포함하는노광 장치. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 가스 충전도 검출계는 상기 광학계 또는 상기 배기로내의 소정 가스의 농도에 근거하여 상기 광학계내의 상기 특정 가스의 충전 정도검출하는노광 장치. [청구항 30] 마스크의 패턴을 투영 광학계를 거쳐서 기판에 전사하는 노광 장치에 있어서, 적어도 일부에 기밀실을 갖는 투영 광학계와, 상기 기밀실을 향하여 특정 가스를 공급하는 가스 공급 장치와, 상기 기밀실에 접속된 배기로를 개폐하는 배기로 개폐기와, 상기 기밀실내에 상기 특정 가스가 충전되었는지 여부를 검출하는 가스 충전도 검출계와, 상기 기밀실과 상기 가스 공급 장치를 접속하는 공급로의 도중에 마련되고, 상기 기밀실내의 압력을 증감하는 압력 조정 기구와, 상기 공급로에 있어서의 가스 공급 압력을 설정하는 압력 설정기와, 상기 가스 공급 장치에 의한 상기 특정 가스의 공급 개시에 앞서 상기 배기로 개폐기를 열고 또한 상기 압력 설정기를 거쳐서 상기 가스 공급 압력을 제 1 값으로 설정하고, 상기 가스 충전도 검출계에 의해 상기 기밀실내에 상기 특정 가스가 충전된 것이 검출되었을 때, 상기 배기로 개폐기를 닫음과 동시에 상기 압력 설정기를 거쳐서 상기 가스 공급 압력을 상기 제 1 값보다 낮은 제 2 값으로 설정하는 제 1 제어 장치와, 상기 가스 공급 압력이 상기 제 2 값으로 설정된 후, 상기 압력 조정 기구를 거쳐서 상기 기밀실내의 압력 제어를 개시하는 제 2 제어 장치를 포함하는 노광 장치