일체식 베이크 및 냉각 플레이트 document_id 1020007003375

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,다수의 열 도전성 채널을 더 포함하며, 상기 채널은 서로 평행하게 위치되며 한 단부에서 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 중심부로부터 다른 단부에서 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 주변부까지나선형배열연장하는일체식 베이크 및 냉각 플레이트. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 일체식베이크 및 냉각 플레이트의 상기 유체 도전성 채널은 상기 유체 도전성 채널 부분을 통해 연장하는 다수의 마이크로채널더포함하는일체식 베이크 및 냉각 플레이트. [청구항 4] 제 3항에 있어서,다수의 유체 도전성 채널을 더 포함하며, 상기 채널은 서로 평행하게 위치되며 한 단부에서 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 중심부로부터 다른 단부에서 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 주변부까지나선형배열연장하는일체식 베이크 및 냉각 플레이트. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 일체식베이크 및 냉각 플레이트의 상기 유체 도전성 채널은 상기 유체 도전성 채널의 부분을 통해 연장하는 다수의 마이크로채널더 포함하는열 사이클링 모듈. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 일체식베이크 및 냉각 플레이트는 다수의 열 도전성 채널을 포함하며, 상기 채널은 서로 평행하게 위치되며 한 단부에서 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 중심부로부터 다른 단부에서 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 주변부까지 나선형 배열연장하는열 사이클링 모듈. [청구항 8] 제 5항에 있어서,상기 열전기 장치와 열 접촉하는 열 도전성 플레이트더 포함하는열 사이클링 모듈. [청구항 9] 제 8항에 있어서,제 1 와셔, 제 2 와셔, 및 상부를 갖춘 접속 수단을 더 포함하며, 상기 접속 수단은 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트에 상기 열 도전성 플레이트를 제거가능하게 부착시키고, 상기 제 1 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 접속 수단 아래에 위치되며, 상기 제 2 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 제 1 와셔 및 상기 열 도전성 플레이트 사이위치되는열 사이클링 모듈. [청구항 10] 제 8항에 있어서,상기 열 도전성 플레이트는 바닥면 및 상기 열 도전성 플레이트의 상기 바닥면에 일체식으로 연결된 수직 연장부를 더 포함하며, 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트는 상부면 및 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 상기 상부면에 일체식으로 연결된 수직 리브를 더 포함하며, 상기 열 도전성 플레이트의 상기 수직 연장부는 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 상기 수직 리브와 열접촉하는열 사이클링 모듈. [청구항 11] 제 6항에 있어서,상기 열전기 장치와 열 접촉하는 열 도전성 플레이트더 포함하는열 사이클링 모듈. [청구항 12] 제 11항에 있어서,제 1 와셔, 제 2 와셔, 및 상부를 갖춘 접속 수단을 더 포함하며, 상기 접속 수단은 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트에 상기 열 도전성 플레이트를 제거가능하게 부착시키고, 상기 제 1 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 접속 수단 아래에 위치되며, 상기 제 2 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 제 1 와셔 및 상기 열 도전성 플레이트 사이위치되는열 사이클링 모듈. [청구항 13] 제 11항에 있어서,상기 열 도전성 플레이트는 바닥면 및 상기 열 도전성 플레이트의 상기 바닥면에 일체식으로 연결된 수직 연장부를 더 포함하며, 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트는 상부면 및 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 상기 상부면에 일체식으로 연결된 수직 리브를 더 포함하며, 상기 열 도전성 플레이트의 상기 수직 연장부는 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 상기 수직 리브와 열접촉하는열 사이클링 모듈. [청구항 18] 열전기 장치에 있어서, 상부면 및 하부면을 갖는 상부 플레이트, 상부면 및 하부면을 갖는 바닥 플레이트, 상기 상부 플레이트의 하부면 및 상기 바닥 플레이트의 상부면과 열 접촉하며 그 사이에 놓여져 있는 지지부와, 그리고 상기 바닥 플레이트의 하부면과 열접촉하며 그 아래에 위치된 하나 이상의 전기 도전성 패드를 포함하며, 상기 상부 플레이트, 상기 바닥 플레이트, 및 상기 지지부는 접속 수단을 허용하기 위해 관통하는 통로를 형성하는 열전기 장치 [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 상부 플레이트 및 상부 바닥 플레이트는 세라믹 재료구성되는열전기 장치. [청구항 20] 제 18항에 있어서,상기 지지부는 구리 재료구성되는열전기 장치. [청구항 21] 제 18항에 있어서,상기 패드는 구리 재료구성되는열전기 장치. [청구항 22] 재료 기판을 베이킹하고 냉각시키기 위한 열 사이클링 모듈에 있어서, 적어도 한 표면이 열 도전성 재료로 구성된 상부면 및 하부면, 상기 상부면과 상기 하부면 사이에 위치된 하나 이상의 유체 도전성 채널을 갖는 일체식 베이크 및 냉각 플레이트, 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트와 열접촉하며 접속 수단에 의해 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트에 각각 제거가능하게 부착된 하나 이상의 열전기 장치, 상기 열전기 장치와 열접촉하는 열 도전성 플레이트, 및 상기 열전기 장치와 전기 접촉하는 가변 전력 공급원을 포함하며, 상기 유체 도전성 채널은 제 1 및 제 2 단부를 갖추고 있으며, 상기 단부는 상기 채널의 안팎으로 유체를 도전시키기 위해 유체 입구 또는 유체 출구를 구비하고 있으며, 상기 유체 도전성 채널은 관통 연장하는 다수의 마이크로 채널을 갖추고 있으며, 상기 유체 도전성 채널은 상기 상부 및 하부면 사이에 위치되어, 상기 채널의 한 단부가 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 중심부로부터 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 주변부에 위치된 상기 채널의 다른 단부까지 나선형 배열로 연장하며, 상기 열전기 장치는 상부면 및 하부면을 갖는 상부 플레이트, 상부면 및 하부면을 갖는 바닥 플레이트, 상기 상부 플레이트의 하부면과 상기 바닥 플레이트의 상부면과 열접촉하며 그 사이에 놓여진 지지부, 및 상기 바닥 플레이트의 하부면과 열접촉하며 그 아래에 위치된 하나 이상의 전기 도전성 패드를 갖추고 있으며, 상기 상부 플레이트, 상기 바닥 플레이트, 및 상기 지지부는 접속 수단을 허용하기 위해 관통하는 통로를 형성하는 열 사이클링 모듈 [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 가변 전력 공급원 및 열전기 장치와 전기 접촉하는 인쇄 회로 기판더 포함하는열 사이클링 모듈. [청구항 24] 제 24항에 있어서,상부를 갖춘 접속 수단, 제 1 와셔, 및 제 2 와셔를 더 포함하며, 상기 접속 수단은 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트에 상기 인쇄 회로 기판을 제거가능하게 부착시키고, 상기 제 1 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 접속 수단 상부 아래에 위치되며, 상기 제 2 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 제 1 와셔와 인쇄 회로 기판 사이위치되는열 사이클링 모듈. [청구항 25] 제 22항에 있어서,제 1 와셔, 제 2 와셔, 및 상부를 갖춘 접속 수단을 더 포함하며, 접속 수단은 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트에 상기 열 도전성 플레이트를 제거가능하게 부착시키고, 상기 제 1 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 접속 수단 상부 아래에 위치되며, 상기 제 2 와셔는 상기 접속 수단 둘레와 그리고 상기 제 1 와셔와 상기 열 도전성 플레이트 사이위치되는열 사이클링 모듈. [청구항 26] 제 22항에 있어서,상기 열 도전성 플레이트는 바닥면 및 상기 열 도전성 플레이트의 상기 바닥면에 일체식으로 연결된 수직 연장부를 더 포함하며, 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트는 상부면 및 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 상기 상부면에 일체식으로 연결된 수직 리브를 더 포함하며, 상기 열 도전성 플레이트의 상기 수직 연장부는 상기 일체식 베이크 및 냉각 플레이트의 상기 수직 리브와 열접촉하는열 사이클링 모듈.