반도체 공정장비용 기판 이송시스템 document_id 1020007005579

[청구항 2] 제1항에 있어서,기판의 로딩 및 언로딩이 용이하도록, 상기 섹션들이 회전 가능하게 결합하고 서로에 대해수직이동하는것을특징으로 하는장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 제1 서셉터 섹션이 상기 제2 섹션을 에워싸는 전체적으로 환상 형태이고, 상기 섹션들이 서로 회전 가능하게 결합하는맞물림부들갖는것을특징으로 하는장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 섹션들이 수직 방향으로 결합하여 상기 제1 섹션이 상기 제2 섹션을 지지하고 상기 섹션들이 서로에 대해수직이동하는것을특징으로 하는장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 제1 섹션이 상기 제2 섹션을 수직 지지하도록 형성되고, 상기 섹션들이 상기 제1 지지체가 상기 제1 섹션에 맞물리고 상기 지지체와 상기 섹션들이 회전 가능하게 결합하여 상기 지지체의 회전으로 서셉터 유닛을 회전시키는기판공정위치갖는것을특징으로 하는장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,셉터 섹션들은 상기 지지체가 상기 제2 섹션과 맞물리는 로딩/언로딩 위치를 가지며, 상기 제2 섹션이 상기 기판을 상기 제2 섹션으로 그리고 상기 기판을 상기 제2 섹션으로부터 이송시키기 위한 기판 이송장치와 상호 작용하도록 상기 섹션들이 수직 방향으로상대이동하는것을특징으로 하는장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제1 지지체가 상기 제2 섹션을 지지할 때 상기 제1 서셉터 섹션을 지지하기 위한제2서셉터지지체포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 지지체들이 서로에 대해 수직으로상대이동하는것을특징으로 하는장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,셉터 유닛이 상기 지지체가 상기 서셉터 유닛을 상기 제1 서셉터 섹션과 맞물리고 나서 상기 제2 섹션을 지지하는 공정 위치를 가지고,상기 지지체가 수직 이동하여 상기 공정 위치에서 상기 공정 위치 위로 이격된식각위치이동시키는것을특징으로 하는장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 섹션들이 상기 제1 섹션이 상기 제2 섹션을 수직 지지할 수 있게 하는 맞물림부들을 포함하고, 상기 맞물림부들에 의해 상기 섹션들이 회전 가능하게결합하는것을특징으로 하는장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 섹션들이 서로에 대해 수직 방향으로상대이동하는것을특징으로 하는장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 지지체가 상기 제1 회전 위치에서 상기 제1 섹션 상의 복수의 세그먼트와 맞물리고, 상기 제2 회전 위치에서 상기 제2 섹션 상의 복수의 세그먼트와 맞물리는 복수의 아암을 갖는스파이더형태인것을특징으로 하는장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,기판을 지지하는 포크형 단부를 가지는 기구를 포함하며, 상기 제2 서셉터 섹션이, 상기 기구와 상기 제2 서셉터 섹션 사이에서 수직 방향으로 상대 이동하는 동안에 상기 포크형 단부 사이로 들어가는크기인것을특징으로 하는장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 제1 섹션이 전체적으로 환상 형태이고 환상 형태의 내부 가장자리에서 내측으로 연장된 원주 방향으로 이격된 복수의 세그먼트를 포함하고, 상기 제2 섹션이 상기 제1 섹션의 세그먼트 사이에 맞추어지도록 외측으로 연장된 원주 방향으로 이격된복수의세그먼트포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 세그먼트들이 상기 제1 섹션이 상기 제2 섹션을 수직 지지할 수 있게 하는, 서로 맞물리는플렌지면부들포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 제1 섹션이 전체적으로 환상이고, 동심으로 배치된 원형의 홈을 포함하며, 상기 제2 섹션은 상기 홈에 맞추어지는원형의외측상부영역포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 제1 섹션은 상기 홈 아래에 위치한 플렌지부들을 포함하며, 상기 제2 섹션은 상기 제1 섹션 상의 플렌지부들 위로 연장된 원주 방향의 플렌지들을 포함하며, 상기 제1 섹션이상기제2섹션지지하도록된것을특징으로 하는장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 섹션들이 회전 가능하게결합하는것을특징으로 하는장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 맞물림부들이 각각의 섹션에 마련된, 타측 다른 섹션 상의 결합 홈과 맞추어지는복수의세그먼트포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,셉터 섹션들이 실질적으로 같은 두께를 가지며, 결합된 상기 세그먼트들과 상기 홈들이 실질적으로 같은두께가지는것을특징으로 하는장치. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 섹션들이 각자의 상면에 원형의 인터페이스를 가지고, 상기 인터페이스 아래에 서로 맞물리는플렌지부들포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 24] 제20항에 있어서,셉터 섹션들이 실질적으로 같은두께갖는것을특징으로 하는장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 지지체는,상기 제1 섹션을 지지하고 회전시키는 복수의 아암을 가진 지지체와,로봇 기구로부터 상기 중앙 섹션으로의 기판 이송이 용이하도록 상기 중앙 섹션을 들어올리는제2지지체포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 제2 지지체가 상기 제1 지지체와 동심으로 배치되고 있지만 상기 제1 지지체에 대해 회전 가능하게 분리된 복수의 아암을 갖는 지지체인것을특징으로 하는장치. [청구항 32] 제31항에 있어서,상기 포크형 기구는 상기 아암 각각의 팁 근처에 그리고 상기 폐쇄 단부 위에 상향 연장된 돌출부를 가지며,상기 돌출부는 이격되어 상기 기판의 외측 가장자리와 가까운 곳에서상기기판과맞물리는것을특징으로 하는장치. [청구항 33] 제32항에 있어서,상기 돌출부는 상기 포크형 기구의 상기 상면 위로, 상기 기판이 상기 엔드 이펙터에 의해 지지될 때 상기 돌출부만이 상기 기판과 맞물리기에 충분한양연장하는것을특징으로 하는장치. [청구항 34] 제32항에 있어서,상기 돌출부는 상기 기판의 가장자리 사이에 있는 상기 기판 상의 환상 영역에서 상기 기판의 하면과 맞물리도록 위치하고, 상기 가장자리로부터 반경 방향 내측으로 2 인치 미만 떨어져 위치하지만 1 인치 미만인 것이 바람직하고, 0.5인치미만더욱바람직한것을특징으로 하는장치. [청구항 35] 제32항에 있어서,상기 돌출부는 둥글고 매끄럽게 마무리된상면갖는것을특징으로 하는장치. [청구항 36] 제32항에 있어서,상기 돌출부는 상기 지지 아암의 상면 위로 약 0.010-0.080인치연장하는것을특징으로 하는장치. [청구항 37] 제32항에 있어서,상기 돌출부는 상기 기판과의 접촉을 최소화하도록 경사진, 상기 기판과 맞물리는표면포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 39] 제38항에 있어서,셉터는 중앙 섹션과 이를 에워싼 환상 섹션을 포함하며, 상기 중앙 섹션은 상기 외부 섹션 및 상기 엔드 이펙터에 대하여수직이동가능한것을특징으로 하는장치. [청구항 40] 제38항에 있어서,셉터는 상기 서셉터로의 그리고 상기 서셉터로부터의 웨이퍼 이송을 도와주기 위해 상기 서셉터의 나머지 위로 선택적으로 돌출하는하나이상의돌출부포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 55] 제54항에 있어서,상기 프레임이 폐쇄 단부에서 결합하고 개방 단부를 형성하는 이격된 한쌍의 아암을 포함하고,상기 아암이 서셉터 위로 상기 기판을 들어올리도록 조정된 기판 리프터에 걸치기에 충분히 이격되어 있고,상기 아암이 상기 엔드 이펙터와 상기 아암 사이에 상대 수직 이동을 허용하도록 이격되어 있고,상기 아암은 상기 기판의 최대 측면간 거리보다 작게 이격되어 상기 리프터와 상기 엔드 이펙터의 상대 수직 이동에 의해 상기 리프터와 상기 지지 아암 사이로 기판이 이송하고, 상기 엘리먼트 중 하나는상기아암각각의팁위치하는것을특징으로 하는장치. [청구항 56] 제55항에 있어서,상기 엘리먼트에서 제3 엘리먼트는 상기 폐쇄 단부 상에서중앙위치하는것을특징으로 하는장치. [청구항 57] 제54항에 있어서,상기 관nan은석영지는것을특징으로 하는장치. [청구항 59] 제58항에 있어서,상기 튜브가 상기 가로 부재로부터 후방 연장하여 로봇 팔에 결합되는브래킷연결되는것을특징으로 하는장치. [청구항 61] 제60항에 있어서,상기 패들nan은전체적사각형인것을특징으로 하는장치. [청구항 62] 제60항에 있어서,상기 엘리먼트들이상기기판을상기패들의상면위이격시키는것을특징으로 하는장치. [청구항 64] 제63항에 있어서,상기 지지체는 전체적으로 원형의 디스크이고, 상기 지지 엘리먼트들은 상기 디스크의 주변부에 부착되며, 상기 디스크는 상기 디스크의 전방 단부로 개방되며 후방으로 연장하는 하나 이상의 슬롯을 가지며, 상기 하나 이상의 슬롯은 상기 핀과 상기 엔드 이펙터 사이의 기판 이송이 용이하도록 서셉터 위의 기판을 들어올리기 위한 리프터 핀을 수용하도록구성된것을특징으로 하는장치. [청구항 65] 제64항에 있어서,상기 하나 이상의 슬롯은 상기 디스크를 중앙 포크부와 한쌍의 측방 포크부로 나누는 한쌍의 이격 슬롯을 포함하고, 상기 슬롯은 일 슬롯에서는 한쌍의 리프터 핀을 수용하고 다른 슬롯에서는 제3 핀을 수용하도록이격되어있는것을특징으로 하는장치. [청구항 66] 제64항에 있어서,기판 위로 충분하게 이격되도록 상기 슬롯 디스크 위에서 지지되는상부 디스크포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 67] 제66항에 있어서,상기 상부 디스크는 상기 지지 엘리먼트의 상단부에 의해지지되는것을특징으로 하는장치. [청구항 68] 제63항에 있어서,상기 지지체는 실질적으로 원형인 디스크를 포함하며,상기 지지 엘리먼트들은 상기 디스크의 하 주변부에 부착되며 상기 디스크 아래에 이격되어 기판의 주변부를 수용하도록 조정된 내측 연장 레지를 포함하며, 이로써 기판이 상기 디스크의 아래로 연장되어약간이격되는것을특징으로 하는장치. [청구항 69] 제68항에 있어서,상기 디스크의 직경이 상기 엔드 이펙터에 의해 지지될 기판의 직경보다 약간 큰 것특징으로 하는장치.