기판 반송방법 및 기판 반송장치, 이것을 구비한 노광장치및 이 노광장치를 이용한 디바이스 제조방법 document_id 1020007006003

[청구항 1] 기판을 반송하는 반송장치에 있어서, 상기 기판의 주변부 중 적어도 2 군데의 주변부를 지지하면서 상기 기판을 스테이지로 반송하는 반송아암을 갖는 것을 특징으로 하는 기판반송장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 반송아암은,상기 기판의 주변부 중 상기 기판의 반송방향에서의 일측 주변부의 이면을 지지하는 제 1 지지부와, 상기 제 1 지지부에 설치되며 상기 기판의 일측 주변부의 측면에 대향하는 제 1 대향부를 갖는 제 1 아암; 상기 기판의 주변부 중 상기 기판의 반송방향에서의 타측 주변부의 이면을 지지하는 제 2 지지부와, 상기 제 2 지지부에 설치되며 상기 기판의 타측 주변부의 측면에 대향하는 제 2 대향부를 갖는 제 2 아암; 및 상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암을 각각 상호 접근 및 이간하도록 구동시키는구동기구구비하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 반송아암은, 상기 기판이 탑재되는 스테이지의 기판지지위치의 주변부에 형성된 노치부에 삽입되어 상기 기판의 이면을 지지하는지지부갖는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 4] 기판을 지지하는 테이블과, 상기 테이블로 상기 기판을 반송하는 아암을 구비하는 기판 처리장치에 있어서, 상기 테이블 주변에 형성된 노치부와, 상기 아암에 설치되고 상기 노치부에 삽입되어 상기 기판의 이면을 지지하는 지지부를 갖는 기판처리장치 [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 지지부는,상기기판의주변부중적어도2군데의이면지지하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제 4 항에 있어서,상기 반송아암은,상기 지지부로서 상기 기판의 주변부 중 상기 기판의 반송방향에서의 일측 주변부의 이면을 지지하는 제 1 지지부와, 상기 제 1 지지부에 설치되며 상기 기판의 일측 주변부의 측면에 대향하는 제 1 대향부를 갖는 제 1 아암;상기 지지부로서 상기 기판의 주변부 중 상기 기판의 반송방향에서의 타측 주변부의 이면을 지지하는 제 2 지지부와, 상기 제 2 지지부에 설치되며 상기 기판의 타측 주변부의 측면에 대향하는 제 2 대향부를 갖는 제 2 아암; 및상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암을 각각 상호 접근 및 이간하도록 구동시키는 구동기구를 구비하고,상기 제 1 아암과 상기 제 2 아암에 각각 설치된 제 1 및 제 2 지지부는 상기 노치부에삽입가능한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 처리장치는 감광기판에 마스크 패턴을 전사하는노광장치인것을특징으로 하는노광장치. [청구항 8] 기판을 반송함과 동시에 기판탑재대와의 사이에서 상기 기판을 수수하는 기판반송장치에 있어서, 상기 기판의 주변부분 중 상기 기판의 반송방향으로 거의 대향하는 1 쌍의 대향부분의 일측을 하측으로부터 지지하는 제 1 지지부와, 당해 제 1 지지부에 입설된 제 1 입설부를 갖는 제 1 아암 상기 1 쌍의 대향부분의 타측을 하측으로부터 지지하는 제 2 지지부와, 당해 제 2 지지부에 입설됨과 동시에 상기 제 1 입설부와 협동하여 상기 기판의 수평방향으로의 이동을 저지하는 제 2 입설부를 갖는 제 2 아암; 및 상기 기판 반송시에 상기 제 1 및 제 2 아암의 간격을 유지하면서 상기 제 1 및 제 2 아암을 이동시키고 상기 기판을 수수할 때에 상기 제 1 및 제 2 아암의 간격을 변화시키는 아암구동장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치 [청구항 9] 제 2 항, 제 6 항, 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 지지부는각각상기기판의주변부분과동일형상부재인것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 10] 제 2 항, 제 6 항, 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 아암의 적어도 일측은 당해 아암상에 상기 기판이 지지되어 있는지 여부를 검출하는기판센서더구비하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 11] 제 8 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 아암의 간격 및 위치를 검출하는위치센서더구비하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 15] 기판의 위치결정 또는 이동을 행하는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지상의 상기 기판에 대해 마스크 패턴을 전사하는 노광부를 갖는 노광장치에 있어서, 상기 기판을 지지하면서 그 기판을 승강시키는 반입용 아암 상기 반입용 아암에 지지되어 있는 상기 기판의 위치를 검출하는 화상처리계; 및 상기 화상처리계의 검출결과에 따라 상기 기판 스테이지 및 상기 반입용 아암의 동작을 제어하는 제어계를 구비하고, 상기 제어계는, 상기 화상처리계에서 검출되는 상기 기판 위치에 의거하여, 상기 기판 스테이지를 상기 기판을 받는 위치까지 이동시키고 상기 반입용 아암을 강하시켜 상기 기판을 상기 기판 스테이지상에 탑재시키는 것을 특징으로 하는 노광장치 [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 화상처리계는,상기 반입용 아암의 바닥면측에 출입 가능하게 상기 기판을 바닥면측으로부터 조명하는 가동조명장치와, 그 가동조명장치로 조명된 상기 기판의 외형 이미지를 촬상하는 촬상장치구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 기판이 대형인 경우에, 상기 가동조명장치는 상기 기판의 위치검출시에 상기 기판상의 검출부분에 추종하여이동하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 18] 제 15 항, 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,상기 반입용 아암은 상기 기판을 상면측에서 감싸 지지하는 지지부재를 구비하고, 상기 기판 스테이지의 상기 기판의 탑재면에 상기 지지부재의 선단부를 수납하기 위한홈형성된것을특징으로 하는노광장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 기판 스테이지상의 상기 기판을 반출하기 위한 승강가능한 반출용 아암을 더 구비하고, 그 반출용 아암도 상기 기판을 상면측에서 감싸 지지하는 지지부재를 구비하고, 그 지지부재의 선단부도 상기 기판 스테이지상의 홈에수납가능한것을특징으로 하는노광장치. [청구항 31] 2 차원 방향으로 이동가능한 스테이지로부터 기판을 반출하는 기판반송장치로서, 반출아암; 상기 반출아암을 구동시키는 아암구동기구 상기 스테이지상에 설치되어, 상기 기판과의 접촉면측에 상기 기판을 지지한 상태로, 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입할 수 있는 소정 방향으로 연장되는 오목부 또는 노치가 형성된 기판지지부재 상기 스테이지를 상기 2 차원 방향으로 구동시키는 스테이지 구동장치 상기 반출아암과 상기 기판지지부재를 2 차원 방향에 직교하는 방향으로 상대적으로 구동시키는 상대구동기구; 및 상기 반출아암을 상기 아암구동기구를 통해 기판 수수 위치로 이동시키는 제 1 기능과, 상기 기판을 지지한 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입하기 위해 상기 기판 수수 위치를 향해 상기 기판 스테이지를 상기 스테이지 구동장치를 통해 이동시키는 제 2 기능과, 상기 반출아암을 상기 오목부 또는 노치에 삽입한 후, 상기 상대구동기구를 통해 상기 기판을 상기 기판지지부재로부터 이간시키는 제 3 기능을 갖는 제어장치를 구비하는 기판반송장치 [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 제어장치는, 상기 기판지지부재로부터 상기 반출아암으로 상기 기판이 이동탑재된 후, 상기 반출아암과 상기 스테이지를 상대적으로 이동시켜 상기 반출아암을 상기 기판지지부재로부터 퇴피시키는제4기능더구비하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 33] 제 31 항에 있어서,상기 제어장치는, 상기 오목부 또는 노치에 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입할 때, 상기 반출아암이 상기 소정 방향으로 동시에 이동하도록상기아암구동기구제어하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 34] 제 31 항에 있어서,상기 제어장치는, 상기 반출아암의 적어도 일부가 상기 오목부 또는 노치에 삽입된 후, 상기 반출아암과 상기 스테이지가 상기 소정 방향으로 상대적으로 이동하도록상기아암구동기구및상기스테이지구동장치의적어도일측제어하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 35] 2 차원 방향으로 이동가능한 스테이지상에 기판을 반입하는 기판반송장치로서, 기판 수수 위치에서 기판을 지지하는 반입아암 상기 스테이지상에 설치되고, 상기 반입아암의 적어도 일부가 삽입가능한 소정 방향으로 연장되는 오목부 또는 노치가 형성된 기판지지부재 상기 스테이지를 상기 2 차원 방향으로 구동시키는 스테이지 구동장치 상기 반입아암과 상기 기판지지부재를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로 상대적으로 구동시키는 상대구동기구; 및 상기 스테이지를 상기 스테이지 구동장치를 통해 상기 기판 수수 위치를 향해 이동시키는 제 1 기능과, 상기 상대구동기구를 통해 상기 반입아암을 상기 기판지지부재에 접근시킴으로써 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반입아암의 적어도 일부를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로부터 삽입하는 제 2 기능과, 상기 기판이 상기 반입아암으로부터 상기 기판지지부재에 건네진 후, 상기 반입아암과 상기 스테이지를 상대적으로 이동시켜 상기 기판을 상기 반입아암으로부터 이간시키는 제 3 기능을 갖는 제어장치를 구비하는 기판반송장치 [청구항 36] 제 35 항에 있어서,상기 제어장치는, 상기 스테이지의 이동 중에, 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에상기반입아암의적어도일부삽입하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 37] 제 35 항에 있어서,상기 반입아암을 구동시키는 아암구동기구를 더 구비하고,상기 제어장치는, 상기 오목부 또는 노치에 상기 반입아암의 적어도 일부를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로부터 삽입할 때, 상기 반입아암이 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향의 이동에 부가하여 상기 소정 방향으로 이동하도록상기아암구동기구제어하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 38] 제 35 항에 있어서,상기 반입아암을 구동시키는 아암구동기구를 더 구비하고, 상기 제어장치는, 상기 반입아암의 적어도 일부가 상기 오목부 또는 노치에 삽입된 후, 상기 반입아암과 상기 스테이지가 상기 소정 방향으로 상대적으로 이동하도록상기아암구동기구및상기스테이지구동장치의적어도일측제어하는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 39] 2 차원 방향으로 이동가능한 스테이지상으로부터 기판을 반출함과 동시에 상기 스테이지상에 다른 기판을 반입하는 기판반송장치로서, 반출아암; 상기 기판을 기판 수수 위치에서 지지하는 반입아암 상기 반출아암을 구동시키는 아암구동기구 상기 스테이지상에 설치되고, 상기 기판과의 접촉면측에 상기 기판을 지지한 상태로, 상기 반출아암의 적어도 일부가 삽입가능하고, 또한 상기 반입아암의 적어도 일부를 삽입가능한 제 1 방향으로 연장되는 오목부 또는 노치가 형성된 기판지지부재 상기 반출아암 및 상기 반입아암의 적어도 일측과, 상기 기판지지부재를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로 상대적으로 구동시키는 상대구동기구 상기 스테이지를 상기 2 차원 방향으로 구동시키는 스테이지 구동장치; 및 상기 반출아암을 상기 아암구동기구를 통해 상기 기판 수수 위치로 이동시키는 제 1 기능과, 상기 기판을 지지한 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입하기 위해 상기 기판 수수 위치를 향해 상기 기판스테이지를 상기 스테이지 구동장치를 통해 이동시키는 제 2 기능과, 상기 반출아암을 상기 오목부 또는 노치에 삽입한 후, 상기 상대구동기구를 통해 상기 기판을 상기 기판지지부재로부터 이간시키는 제 3 기능과, 상기 반출아암을 상기 아암구동기구를 통해 상기 기판 수수 위치로부터 퇴피시키는 제 4 기능과, 상기 반출아암의 퇴피 후에 상기 상대구동기구를 통해 상기 반입아암을 상기 기판지지부재에 접근시킴으로써 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반입아암의 적어도 일부를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로부터 삽입하는 제 5 기능과, 상기 기판이 상기 반입아암으로부터 상기 기판지지부재에 건네진 후, 상기 반입아암과 상기 스테이지를 상대적으로 이동시켜 상기 기판을 상기 반입아암으로부터 이간시키는 제 6 기능을 갖는 제어장치를 구비하는 기판반송장치 [청구항 40] 제 35 항 또는 제 39 항에 있어서,상기 반입아암은, 상기 기판 수수 위치에 배치됨과 동시에, 상기 기판을 지지하면서 그 기판의 면내 방향에서 회전할 수 있고, 상기 반입아암에 지지된 기판의 외형을 계측하는 계측장치; 상기 계측장치의 계측결과에 따라 상기 기판의 상기 2 차원 방향과 평행한 면내의 위치 어긋남을 산출하는 연산장치; 및상기 연산장치에서 산출된 기판의 회전방향의 위치 어긋남을 상기 반입아암의 회전량을 제어하여 보정하는 제 2 제어장치더 구비하는기판반송장치. [청구항 41] 제 39 항에 있어서,상기 반출아암 및 반입아암은, 상기 오목부 또는 노치에 삽입가능한 형상으로 이루어진 돌기부를 가지며, 상기 돌기부 상측에 상기 기판을 상기 제 1 방향과는 다른 제 2 방향으로부터 출입가능한공간형성되어있는것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 42] 제 31 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 오목부 또는 노치는, 상기 기판접촉면과 다른 위치에 형성된 소정 방향으로 연장되는 제 1 오목부와, 그 제 1 오목부에 연통하며 상기 기판접촉면에 형성된 제 2 오목부를 포함하고, 상기 제 1 오목부와 상기 제 2 오목부에 의거하여, 상기 반출아암을 안내하는 측면에서 보아 l자형상의경로형성된것을특징으로 하는기판반송장치. [청구항 43] 스테이지상의 기판에 소정의 패턴을 전사하는 노광장치로서, 제 31 항, 제 35 항, 제 39 항, 제 42 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 반송장치를 상기 스테이지상의 기판 교환장치로서 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치 [청구항 44] 스테이지상의 기판에 소정의 패턴을 전사하는 노광장치로서, 제 40 항에 기재된 기판 반송장치를 상기 스테이지상의 기판 교환장치로서 구비하고, 상기 기판상의 위치검출마크를 검출하는 마크검출계를 더 구비하고, 상기 제 2 제어장치는, 상기 연산장치에서 산출된 기판의 2 차원 방향의 위치 어긋남을 상기 반입아암의 위치조정, 상기 스테이지의 위치조정 및 상기 마크검출계에 의한 위치검출마크의 검출결과의 보정 중 어느 하나로 보정하는 것을 특징으로 하는 노광장치 [청구항 45] 제 43 항에 있어서,상기 계측장치에 의한 상기 기판의 외형 계측, 상기 연산장치에 의한 상기 기판의 위치 어긋남 산출 및 상기 제 2 제어장치에 의한 상기 기판의 회전보정이, 상기 기판으로의 상기 마스크 패턴의 전사가 종료될 때까지의 사이에 상기 기판상의 동작과 동시 병행적으로 행해지는것을특징으로 하는노광장치.