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화학 기상 증착에 의해 증착된 옥사이드/유기 폴리머 다층박막 document_id 1020007011837

출원번호
1020007011837
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,옥사이드 막의 형성 단계가 다음 단계들을 포함하는 방법:(a) 옥사이드 막의 전구체를 기화시키고;(b) 옥사이드 막의 상기 기화된 전구체를 분리하고;(c) 옥사이드 막의 상기 분리기화된전구체를 기판의 표면 위에 증착시켜 옥사이드 폴리머를 형성한다. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,유기 폴리머 막의 형성 단계가 다음 단계들을 추가로 포함하는 방법:(a) 유기 폴리머 막의 전구체를 기화시키고;(b) 유기 폴리머 막의 상기 기화된 전구체를 분리하고;(c) 유기 폴리머 막의 상기 분리기화된전구체를 기판의 표면 위에 증착시켜 유기 폴리머를 형성한다. [청구항 25] 제 3 항에 있어서,폴리(클로로-p-크실릴렌)(ppxc), 폴리(디클로로-p-크실릴렌)(ppxdc) 및 폴리(테트라플루오로-p-크실릴렌), 폴리(디메톡시-p-크실릴렌), 폴리(술포-p-크실릴렌), 폴리(요오도-p-크실릴렌), 폴리(α,α,α',α', 테트라플루오로-p-크실릴렌)(af-4), 폴리(트리플루오로-p-크실릴렌), 폴리(디플루오로-p-크실릴렌) 및 폴리(플루오로-p-크실릴렌)으로 구성되는 군선택되는유기 폴리머. [청구항 26] 제 3 항에 있어서,폴리이미드를포함하는유기 폴리머. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,부가로 n-페닐말레이미드포함하는유기 폴리머. [청구항 28] 제 3 항에 있어서,유기 코폴리머를포함하는유기 폴리머. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,폴리(말레이미드/파릴렌) 코폴리머, 폴리 아세나프탈렌/파릴렌 코폴리머, 디비닐벤젠/파릴렌 코폴리머, 퍼(per)플루오로옥틸메타크릴레이트(pfoma)/파릴렌 코폴리머, 4-비닐 비페닐/파릴렌 코폴리머, 9-비닐안트라센/파릴렌 코폴리머, 말레익 안히드라이드/파릴렌 코폴리머, n-비닐 피롤리돈/파릴렌 코폴리머, 4-비닐피리딘/파릴렌 코폴리머, 스티렌/파릴렌 코폴리머, 벅민스터풀러렌(buckminsterfullerene)/파릴렌 코폴리머 및 트리히드로퍼플루오로운데실메타크릴레이트/파릴렌 코폴리머로 구성되는 군선택되는유기 코폴리머. [청구항 30] 제 3항에 있어서 가교-결합하는 유기 코폴리머포함하는유기 폴리머. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,테트라비닐, 1,3,5,7,테트라메틸시클로테트라실록산/파릴렌, 1,3,5,트리비닐, 1,3,5,트리메틸시클로트리실록산/파릴렌, 테트라비닐실란/파릴렌/파릴렌 및 1,1,3,3,테트라비닐디메틸디실록산/파릴렌으로 구성되는 군으로부터 선택되는 가교결합하는유기 코폴리머. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,비닐 트리에톡시실란/파릴렌, 비닐 트리아세톡시실란/파릴렌 및 비닐 트리-t-부톡시실란으로 구성되는 군으로부터 선택되는, 공유적결합하는옥사이드-유기 폴리머막. [청구항 50] 제 49 항에 있어서,구성되는 군으로부터 선택되는 옥사이드포함하는옥사이드 박막. [청구항 51] 제 49 항에 있어서,상기 옥사이드 막이dadbs 및 teos에서 선택되는 전구체포함하는옥사이드 박막. [청구항 52] 제 49 항에 있어서,테트라아세톡시실란, 테트라메톡시실란(tmos), 테트라알릴록시실란, 테트라-n-부톡시실란, 테트라키스(에톡시에톡시)실란, 테트라키스(2-에틸헥속시)실란, 테트라키스(2-메톡시크릴록시에톡시)실란, 테트라키스(메톡시에톡시에톡시)실란, 테트라키스(메톡시에톡시)실란, 테트라키스(메톡시프로폭시)실란 및 테트라-n-프로폭시실란으로 구성되는 군으로부터 선택되는 전구체포함하는옥사이드 박막. [청구항 53] 제 49 항에 있어서,알루미늄(iii)n-부톡사이드, 이트륨 이소프로폭사이드, 티타늄-디-n-부톡사이드(비스-2, 4-펜탄디오네이트), 지르코늄 이소프로폭사이드, 탄탈륨(v)n-부톡사이드, 니오븀(v)n-부톡사이드 및 아연 n-부톡사이드로 구성되는 군선택되는전구체로 만들어진 옥사이드 박막. [청구항 54] 제 49 항에 있어서,측정한 누출 전류2 이하인막. [청구항 57] 제 49 항에 있어서. 상기 옥사이드 막이 약 1.433보다 큰 평균 굴절율갖는막. [청구항 58] 제 49 항에 있어서,부가로 파장 330nm에서 측정한 흡광 계수가 약 5.41 x 10-3보다 큰 수치갖는막. [청구항 59] 제 49 항에 있어서. 약 3.8 미만의 유전 상수갖는막.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기 폴리머 막을 형성하는 단계에서 전구체를 기화시키고 분리한 후, 기판 표면 위에 증착하여 최종적으로 형성되는 물질은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    유기 폴리머 막 형성 단계에서 전구체의 기화, 분리, 증착 과정을 거쳐 최종적으로 형성되는 물질이 무엇인지 확인해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 유기 폴리머 막의 형성 단계를 (a) 전구체 기화, (b) 전구체 분리, (c) 기판 표면 위에 증착으로 정의한다.

    • 유기 폴리머 막의 형성 단계가 다음 단계들을 추가로 포함하는 방법:(a) 유기 폴리머 막의 전구체를 기화시키고;(b) 유기 폴리머 막의 상기 기화된 전구체를 분리하고;(c) 유기 폴리머 막의 상기 분리기화된전구체를 기판의 표면 위에 증착시켜 유기 폴리머를 형성한다.
  3. 3근거 선택evidence_selection

    전구체를 기판 표면에 증착하여 형성되는 물질을 명시한 구절을 선택한다.

    • 유기 폴리머 막의 상기 분리기화된전구체를 기판의 표면 위에 증착시켜 유기 폴리머를 형성한다
  4. 4논리 통합logical_integration

    질문에서 제시한 '기화시키고 분리한 후 기판 표면 위에 증착'하는 과정은 청구항 3의 (a), (b), (c) 단계와 일치하며, 그 결과물은 유기 폴리머이다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    따라서 해당 공정을 통해 최종적으로 형성되는 물질은 유기 폴리머이다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 답변인 '유기 폴리머'를 최종 답변으로 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
유기 폴리머
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 유기 폴리머 막을 형성하는 방법론을 다루며, 전구체의 기화 및 분리 과정을 거쳐 기판 위에 유기 폴리머를 증착하는 절차를 포함한다.