CSP 필름과 리드 프레임 겸용 사용 가능한 컴팩트한다이본더 document_id 1020010003317

[청구항 1] 외부로부터 인위적으로 공급되는 반도체 소자의 웨이퍼를 순차적으로 이송공급하는 웨이퍼 공급부 상기 웨이퍼 공급부를 통하여 순차적으로 공급되는 상기 웨이퍼를 회전하는 중에 일정한 위치까지 이송되도록 하는 웨이퍼링 테이블 상기 웨이퍼링 테이블의 일정한 위치에 이송된 반도체 소자의 상기 웨이퍼를 하나씩 파지하여 다이본딩의 작업 위치까지 이송공급하는 다이 이송부 csp 필름이 담긴 매가진을 차례로 공급하는 매가진 로더 상기 매가진 로더에서 공급되는 상기 csp 필름을 가진 매가진을 수용하거나 리드 프레임이 적층된 스토커를 수용할 수 있도록 구조를 갖는 드로워 상기 드로워에 있는 상기 csp필름 혹은 상기 리드 프레임을 진공 패드로 하나씩 파지하여 이동 레일로 옮기는 이송부 상기 이송부의 진공 패드에 의해 옮겨진 상기 csp 필름 혹은 상기 리드 프레임을 이동 레일에 얹혀지도록 한 채 밀편을 이용하여 전방으로 이동시키는 이동 레일부 상기 이동 레일부의 이동 레일에서 전방으로 옮겨지는 상기 리드 프레임을 예열기의 매가진을 상하로 이동시키면서 여러 층으로 공급받아 예열하면서 코팅을 완료시키고, 상기 csp 필름은 예열없이 통과시키는 예열부 상기 예열부에서 통과된 상기 csp 필름만 검사하여 양품과 불량을 카메라로 분별하는 분별기 상기 예열부에서 코팅이 완료된 하나씩의 상기 리드 프레임 혹은 csp 필름을 이송레일을 통하여 전달받으면서 다이 이송부에 의해 하나씩 이송되는 상기 다이와 정확하게 부착하는 본딩 작업부 및, 상기 본딩 작업부에서 반도체 소자의 다이가 부착된 상기 리드 프레임 혹은 csp 필름이 이송되면 내부의 매가진을 상하로 이동시키면서 적재하는 스토카로 구성된 것을 특징으로 하는 csp 필름과 리드 프레임 겸용 사용가능한 컴팩트한 다이본더 [청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 웨이퍼링 테이블은그 하부에 x축과 y축으로 작동되는 xy작동기가 장착되고, y축 구동기가 상기이송레일과 상기 본딩작업부가 설치된 보조 테이블로 진입하면, 상기 웨이퍼링 테이블이 이송 레일의 하부까지 진입 가능한 것을 특징으로 하는 csp 필름과 리드 프레임 겸용 사용가능한컴팩트한 다이본더.