기판지지장치 및 이 장치를 구비한 노광장치 document_id 1020010012639

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 복수의 지지부상의 상기 기판을 상기 베이스 부재측에 흡인하는 흡착 (吸着)기구형성한것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 베이스 부재상에 상기 복수의 지지부를 둘러싸도록 형성되어 링형으로 닫힌 돌출부, 및상기 돌출부 내측의 기체를 흡인하는흡착기구형성한것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 복수의 지지부는 1 변의 길이가 a[m] 인 정삼각형의 격자형으로 배치되며,상기 기판을 상기 베이스 부재측에 흡인할 때의 단위길이당의 흡인력을 p[n/m], 상기 기판을 흡인할 때의 허용변형량을 δmax[m], 상기 기판의 영률을 e[pa], 상기 기판의 두께를 t[m] 로 했을 때, 상기 정삼각형의 길이 (a) 및 상기 흡인력 (p) 이, pㆍa4 ≤18ㆍeㆍt3ㆍδmax의조건만족하도록한것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 기판은 직경이 약 300 ㎜ 의 반도체 기판이고,상기정삼각형의1변의길이로한것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 부재는 상기 기판의 탑재면 중 상기 기판과의 접촉면과 다른 일부를 제외하고 그 표면에코팅실시되어있는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 부재에 접속되며, 상기 기판을 상기 복수의 지지부상에 탑재할 때의 흡인력에 비교하여 상기 기판의 탑재후의 흡인력을 약하게 설정하는흡착기구더구비하는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 베이스 부재 및 상기 복수의 지지부는저팽창율의비도전성재료형성되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 베이스 부재는 상기 표면의 코팅층과 다른, 저열팽창또한비도전성재료형성되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 12] 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 기판을 상기 복수의 지지부상에 탑재할 때의 흡착력에 비교하여 상기 기판의 탑재후의 흡착력을 약하게 설정하는흡착기구더구비하는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 13] 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 기판과의 사이의 기체를 흡인하는 흡착기구를 더 구비하고,상기 흡착기구는 상기 기판을 상기 복수의 지지부상으로부터 떼낼 때, 상기 기판과의 사이에 기체를 공급하는기체공급부포함하는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 기판의 탑재시에 비교하여 적어도 상기 기판의 가공시에상기기체의흡인력설정하는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 홀더에 접속되며, 상기 제 2 물체와 상기 제 2 볼록부로 둘러싸인 공간내의 기체를 흡인하는흡착기구더구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 홀더에 접속되며, 상기 제 2 물체와 상기 제 2 볼록부로 둘러싸인 공간내의 기체를 흡인하는흡착기구더구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 22] 제 19 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 흡착기구는 상기 제 2 물체를 상기 홀더에 탑재할 때의 흡인력을, 상기 제 2 물체의 노광동작시에 있어서의흡인력하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 24] 제 19 항 또는 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 흡착기구는 상기 제 2 물체를 상기 홀더로부터 떼낼 때, 상기 제 2 물체와의 사이에 기체를 공급하는기체공급부포함하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 25] 제 19 항, 제 21 항 또는 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 제 1 볼록부는 대략 정삼각형의 격자형으로 배치되고,상기 정삼각형의 1 변의 길이를 a[m], 상기 제 2 물체에 대한 단위길이당의 흡인력을 p[n/m], 상기 제 2 물체의 허용변형량을 δmax[m], 상기 제 2 물체의 영률을 e[pa], 상기 제 2 물체의 두께를 t[m] 로 했을 때, 상기 길이 a및상기흡인력만족하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 26] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 2 볼록부는 그 상단면에, 상기 평면과 선단부가 각각 실질적으로 일치하고, 또한 상기 제 1 볼록부에 비교하여 높이가 낮은복수의볼록부가형성되어있는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 27] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀더는 상기 제 2 물체의 탑재면 중 상기 제 2 물체와의 접촉면과 다른 일부를 제외하고 그 표면에코팅실시되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 28] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 노광 빔의 조사에 의해 상기 제 1 물체로부터 발생하는 빔으로 상기 제 2 물체를 주사노광하기 위해, 상기 노광 빔에 대하여 상기 제 1 및 제 2 물체를 각각 상대이동하는스테이지시스템더구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,상기 복수의 제 1 볼록부는 상기 주사노광시에 상기 제 2 물체가 이동되는 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향과 저변이 평행한이등변삼각형의격자형배치되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 이등변 삼각형은 그 높이가 상기 제 1 방향과 평행하고, 또한 상기 저변보다도 긴 것특징으로 하는노광장치. [청구항 31] 제 28 항에 있어서,상기 복수의 제 1 볼록부는 상기 주사노광시에 상기 제 2 물체가 이동되는 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향과 2 변이 평행한평행사변형의격자형배치되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 32] 제 28 항에 있어서,상기 복수의 제 1 볼록부는 상기 주사노광시에 상기 제 2 물체가 이동되는 제 1 방향에 관한 폭이, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향에 관한 폭보다도 넓은마름모꼴의격자형배치되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 33] 제 1 항에 있어서,상기 복수의 지지부는 삼각형의 격자형으로 배치되는 그 2개의 지지부의 간격 (a) 이 상기 기판의 허용변형량 (δmax), 영률 (e) 및 두께 (t) 에 따라결정되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 34] 제 33 항에 있어서,상기 기판과의 사이의 기체를 흡인하는 흡착기구를 더 구비하고, 상기 간격 (a) 은 상기 흡착기구에 의한 상기 기판의 흡인력 (p) 을 고려하여결정되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 35] 제 1 항에 있어서,상기 기판과의 사이의 기체를 흡인하는 흡착기구를 더 구비하고, 상기 흡착기구에 의한 상기 기판의 흡인력 (p) 은, 상기 복수의 지지부의, 삼각형의 격자형으로 배치되는 그 2개의 지지부의 간격 (a), 상기 기판의 허용변형량 (δmax), 영률 (e) 및 두께 (t) 에 따라결정되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 36] 제 33 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 직경이 약 300㎜ 인 원형상이고, 상기 간격 (a) 은 1∼3㎜ 정도로 정해지는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 37] 제 1 항 내지 제 5 항, 제 8 항 내지 제 11 항, 제 14 항, 제 15 항, 제 33 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 부재 상에서 상기 복수의 지지부를 둘러싸는 돌출부와, 상기 기판과 상기 돌출부로 둘러싸이는 공간 내의 기체를 흡인하는 흡착기구가 형성되고, 상기 돌출부는 그 높이가 상기 복수의 지지부와 실질적으로 동등하게설정되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 38] 제 1 항 내지 제 5 항, 제 8 항 내지 제 11 항, 제 14 항, 제 15 항, 제 33 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 부재 상에서 상기 복수의 지지부를 둘러싸는 돌출부와, 상기 기판과 상기 돌출부로 둘러싸이는 공간 내의 기체를 흡인하는 흡착기구가 형성되고, 상기 돌출부는 그 높이가상기복수의지지부설정되는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 39] 제 1 항 내지 제 5 항, 제 8 항 내지 제 11 항, 제 14 항, 제 15 항, 제 33 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 부재 상에서 상기 복수의 지지부를 둘러싸는 돌출부와, 상기 기판과 상기 돌출부로 둘러싸이는 공간 내의 기체를 흡인하는 흡착기구가 형성되고, 상기 돌출부는 그 상단면에 상기 복수의 지지부의 선단부와 실질적으로 동일평면에 각각 선단부가 위치하는복수의지지부갖는것을특징으로 하는기판지지장치. [청구항 40] 제 18 항에 있어서,상기 복수의 제 1 볼록부는 삼각형의 격자형으로 배치되는 그 2개의 제 1 볼록부의 간격 (a) 이 상기 제 2 물체의 허용변형량 (δmax), 영률 (e) 및 두께 (t) 에 따라결정되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 41] 제 40 항에 있어서,상기 제 2 물체와 상기제 2 볼록부로 둘러싸인 공간 내의 기체를 흡인하는 흡착기구를 더 구비하고, 상기 간격 (a) 은 상기 흡착기구에 의한 상기 제 2 물체의 흡인력 (p) 을 고려하여결정되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 42] 제 18 항에 있어서,상기 제 2 물체와 상기제 2 볼록부로 둘러싸인 공간 내의 기체를 흡인하는 흡착기구를 더 구비하고, 상기 흡착기구에 의한 상기 제 2 물체의 흡인력 (p) 은, 상기 복수의 제 1 볼록부의, 삼각형의 격자형으로 배치되는 그 2개의 제 1 볼록부의 간격 (a), 상기 제 2 물체의 허용변형량 (δmax), 영률 (e) 및 두께 (t) 에 따라결정되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 43] 제 40 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 물체는 직경이 약 300㎜ 인 원형 기판이고, 상기 간격 (a) 은 1∼3㎜ 정도로 정해지는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 44] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항, 제 40 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 2 볼록부는 그 높이가 상기 복수의 제 1 볼록부와 실질적으로 동등하게설정되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 45] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항, 제 40 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 2 볼록부는 그 높이가 상기 복수의 제 1볼록부설정되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 46] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항, 제 40 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 2 볼록부는 그 상단면에 상기 복수의 제 1 볼록부의 선단부와 실질적으로 동일평면에 각각 선단부가 위치하는복수의볼록부갖는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 47] 제 18 항 내지 제 21 항, 제 23 항, 제 40 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀더는 그 표면에 실시되는 코팅층과 다른, 저열팽창또한비도전성재료형성되는것을특징으로 하는노광장치.