가열장치 document_id 1020010021706

[청구항 1] 피가열물을 적치하는 적치판과, 이 적치판과 일체화되는 지지판과, 상기 적치판과 상기 지지판에 협지된 히터엘리먼트와, 상기 히터엘리먼트에 일단이 접속된 적어도 1쌍의 전극을 구비한 가열장치로서, 상기 적치판과 지지판이 함께 세라믹소결체로 이루어지며, 상기 적치판을 구성하는 세라믹소결체의 열전도율이 상기 지지판을 구성하는 세라믹소결체의 열전도율보다 높아진 것을 특징으로 하는 가열장치 [청구항 2] 피가열물을 적치하는 적치판과, 이 적치판과 일체화되는 지지판과, 상기 적치판과 상기 지지판에 협지된 히터엘리먼트와, 상기 히터엘리먼트에 일단이 접속되는 적어도 1쌍의 전극을 구비한 가열장치로서, 상기 적치판과 지지판이 함께 세라믹소결체로 이루어지며, 상기 히터엘리먼트가 상기 지지판과 상기 적치판 중 어느 하나 또는 양쪽의 접합면에 설치된 홈부에 장전되어 있으며 해당 히터엘리먼트의 적어도 하부에 배치된 단열재를 구비한 것을 특징으로 하는 가열장치 [청구항 3] 피가열물을 적치하는 적치판과, 이 적치판과 일체화되는 지지판과, 상기 적치판과 상기 지지판에 협지된 히터엘리먼트와, 상기 히터엘리먼트에 일단이 접속된 적어도 1쌍의 전극을 구비한 가열장치로서, 상기 적치판과 지지판이 함께 세라믹소결체로 이루어지며, 상기 적치판을 구성하는 세라믹소결체의 열전도율이 상기 지지판을 구성하는 세라믹소결체의 열전도율보다 높아져 상기 히터엘리먼트가 상기 지지판과 상기 적치판 중 어느 하나 또는 앙쪽의 접합면에 설치된 홈부에 장전되어 있으며 해당 히터엘리먼트의 적어도 하부에 배치된 단열재를 구비한 것을 특징으로 하는 가열장치 [청구항 4] 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 단열재가 질화알루미늄, 질화규소, 실리카질재료,알루미나등의세라믹금속으로이루어지는것을특징으로 하는가열장치. [청구항 5] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 세라믹소결체가y2o3를 조제로 한 질화알루미늄 소결체, 또는 y2o3를 조제로 한질화알루미늄기소결체인것을특징으로 하는가열장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 적치판의 세라믹소결체의y2o3 함유량이 상기 지지판의 세라믹소결체의 y2o3 함유량보다 많은 것특징으로 하는가열장치. [청구항 7] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지판과 적치판이 유리질 접합층에 의해접합일체화되어이루어진것특징으로 하는가열장치. [청구항 8] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 적치판이 상부판과 하부판으로 이루어지며, 이들 상부판과 하부판 사이에 협지된 전극판과, 해당 전극판에 접속된전극구비한것을특징으로 하는가열장치.