반도체 장치의 제조를 위한 이송 장치 document_id 1020010027571

[청구항 1] 반도체 장치 제조를 위한 가공 장치에 구비되어 웨이퍼가 출입되는 출입챔버의 앞쪽면에 돌출되도록 설치되는 캐리어 스테이지 상기 캐리어 스테이지의 상면에 일정거리 이격되고, 평행하게 설치되어 웨이퍼를 수용하는 캐리어가 상기 캐리어 스테이지에 놓여질 때 상기 캐리어를 지지하는 롤러 가이드 상기 롤러 가이드의 일측 단부와 타측 단부에 설치되고, 상기 설치에 의해 상기 롤러 가이드를 상기 캐리어 스테이지에 지지시키는 지지대; 및 상기 롤러 가이드 사이의 상기 캐리어 스테이지 상에 구비되고, 상기 캐리어의 안착 상태를 감지하기 위한 센싱수단을 구비하고, 상기 롤러 가이드는 상기 캐리어의 하부 중앙부에 사각 바(bar) 형태로 돌출되는 돌출부의 폭에 상당하는 간격으로 평행하게 설치되어 상기 캐리어가 상기 웨이퍼 스테이지 상에 안착될 때 상기 캐리어의 돌출부와 상기 롤러 가이드의 외주면이 접촉하여 캐리어의 하중에 의해 회전하는 롤러 가이드의 외주면을 따라 상기 캐리어가 안착되는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조를 위한 이송장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 롤러 가이드는 원주 형상의 본체부와 상기 본체부의 양측단부에 설치단을 구비하고, 상기 설치단은 단면적이 상기 본체부의 단면적보다 작게 형성되어 상기 롤러 가이드의 축방향으로 연장되고, 상기 설치단부가 상기 지지대에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 지지대는 베어링을 더 구비하고, 상기 베어링을 통해 상기 롤러 가이드가 상기 지지대에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 롤러 가이드는 원통형의 롤러와 상기 원통형의 롤러를 관통하여 양측방향으로 돌출되도록 설치되는 회전축을 포함하고, 상기 회전축의 양측단부가 상기 지지대에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 원통형의 롤러는 양측단부의 내부에 베어링을 구비하고, 상기 베어링을 통해 회전축과 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 회전축은 상기 원통형의 롤러와 지지대를 관통하여 지지대로부터 돌출되도록 설치되고, 이탈 방지를 위해 양측단부에 멈춤링이 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 센싱수단은 상기 캐리어 스테이지 상면에 설치되는 상기 두 개의 롤러 가이드 사이의 중앙부에서 상기 캐리어 스테이지를 관통하여 상·하부로 돌출되어 설치되고, 상부에 상기 캐리어의 돌출부와 접촉하는 원형의 머리부, 상기 머리부의 상면보다 작은 단면적을 가지는 본체 및 상기 캐리어 스테이지의 하부로 돌출되는 부분의 측면을 관통하는 홀을 구비하는 연결부재;상기 연결부재의 본체가 내부로 삽입되어 상기 연결부재와 함께 상기 캐리어 스테이지에 설치되고, 상기 연결부재에 복원력을 제공하는 코일 스프링;상기 연결부재의 하부의 측면을 관통하는 홀에 삽입되어 설치되고, 상기 캐리어 스테이지로부터 상기 연결부재의 이탈을 방지하는 핀;상기 연결부재의 하단부와 접촉하여 상기 캐리어의 하중에 의해 눌림으로써 상기 캐리어의 안착상태를 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 캐리어 스테이지는 상기 센싱수단의 연결부재를 설치하기 위한 홀을 구비하고, 상기 홀은 상기 롤러 가이드가 설치되는 캐리어 스테이지의 상면에서 하면으로 관통하면서 2단으로 천공된 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 센싱수단은 광센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 센싱수단은 근접센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조위한이송장치.