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식각저지막을 갖는 에스오아이 기판, 그 제조방법, 그위에 제작된 에스오아이 집적회로 및 그것을 사용하여에스오아이 집적회로를 제조하는 방법 document_id 1020010028008

출원번호
1020010028008
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 지지기판 및 상기 식각저지막 사이에 개재된완충산화막더포함하는것을특징으로 하는에스오아이 기판. [청구항 28] 제 26 항에 있어서,상기 식각저지막은 상기 매몰산화막에 대하여 식각선택비를 갖는물질막인것을특징으로 하는에스오아이 기판. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,상기 식각저지막은실리콘질화막인것을특징으로 하는에스오아이 기판. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 식각저지막은 상기 매몰산화막에 대하여 식각선택비를 갖는물질막인것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 식각저지막은실리콘질화막인것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 33] 제 30 항에 있어서,상기제1및제2도전형인것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 34] 제 33 항에 있어서,상기제1 및 제2 도전형의 픽업영역들, 상기 소자분리막, 상기 nmos 트랜지스터 및 상기 pmos 트랜지스터를 덮는 층간절연막; 및상기 층간절연막 상에 형성된 제1 및 제2 배선을 더 포함하되, 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,상기 층간절연막 상에 배치된 입력패드를 더 포함하되, 상기 입력패드는 상기 제2 배선, 상기 nmos 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 pmos트랜지스터의게이트 전극과전기적접속된것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 37] 제 36 항에 있어서,상기 식각저지막은 상기 매몰산화막에 대하여 식각선택비를 갖는물질막인것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 식각저지막은실리콘질화막인것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 39] 제 36 항에 있어서,상기제1및제2도전형인것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 40] 제 36 항에 있어서,상기제1 및 제2 예비홀들, 상기 소자분리막, 상기 nmos 트랜지스터 및 상기 pmos 트랜지스터를 덮는 층간절연막; 및상기 층간절연막 상에 형성된 제1 및 제2 배선을 더 포함하되, 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것을특징으로 하는에스오아이 집적회로. [청구항 41] 제 40 항에 있어서,상기 층간절연막 상에 배치된 입력패드를 더 포함하되, 상기 입력패드는 상기 제2 배선, 상기 nmos 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 pmos트랜지스터의게이트 전극과전기적접속된것을특징으로 하는에스오아이 집적회로.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
에스오아이 집적회로에서 제1 배선과 제2 배선은 각각 어떠한 영역과 전기적으로 접속되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    에스오아이 집적회로 내 제1 배선과 제2 배선이 각각 어떤 영역과 전기적으로 연결되는지 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 34 및 40에서 제1 배선과 제2 배선의 전기적 접속 관계에 대한 정보를 추출한다.

    • 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제1 배선은 제1 도전형의 픽업영역과, 제2 배선은 제2 도전형의 픽업영역과 접속된다는 구절을 선택한다.

    • 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 바탕으로 제1 배선은 제1 도전형 픽업영역에, 제2 배선은 제2 도전형 픽업영역에 각각 대응됨을 확인한다.

    • 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 직접적인 답변으로 제1 배선은 제1 도전형의 픽업영역과, 제2 배선은 제2 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속됨을 도출한다.

    • 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것
  6. 6답변 생성answer_generation

    확정된 답변 형식을 사용하여 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 제1 배선은 상기 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고 상기 제2 배선은상기제2도전형의픽업영역과전기적접속되는것
최종 답변 (final_answer)
제1 배선은 제1 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속되고, 제2 배선은 제2 도전형의 픽업영역과 전기적으로 접속된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
에스오아이 집적회로에서 제1 및 제2 배선이 각각 상이한 도전형을 갖는 픽업영역과 전기적으로 연결되어 회로를 구성하는 구조를 나타낸다.