문맥 (context)
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 기판 반입구는 상기 제 2 의 면에1개소설치되어있는것을특징으로 하는기판처리유니트.
[청구항 4]
청구항 2에 있어서,상기 기판 반입출구는 상기 제 1의 면에 2개소 설치되고 그 한쪽은 상기 프레임체내에 기판을 반입하기 위하여 이용되고, 다른쪽은 상기 프레임체내로부터 기판을 반출하기이용되는것을특징으로 하는기판처리유니트.
[청구항 5]
청구항 2 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 프레임체는 기판을 반송하기 위한 반송로측에 상기 기판반입출구가 대면하도록상기반송로의측쪽배치되는것을특징으로 하는기판처리유니트.
[청구항 6]
청구항 2 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리유니트는 기판에 레지스트를 도포하는 레지스트 도포처리 유니트, 또는 기판을 현상처리하는 현상처리 유니트, 또는 기판을 세정하는 세정유니트, 또는 기판을 가열 혹은 냉각처리하는열적처리유니트중하나인것을특징으로 하는기판처리유니트.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기제1의 처리장치 및 상기 제2의 처리장치의 어느 쪽에도 탑재가 가능한 처리유니트는, 세개 방향 내지 여섯개 방향 중 어느 하나로 기판의 반입반출 또는 반입 또는 반출을 위한개구갖추는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 10]
청구항 8 또는 9에 있어서,상기제1의 처리장치 및 상기 제2의 처리장치의 어느 쪽에도 탑재가 가능한 처리유니트는, 착탈이자유있는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 취출기구는, 하나의 처리유니트에 인접하여 설치된 기판보유유지기구와, 상기 처리라인에 대하여 상기 하나의 처리유니트 및 상기 기판보유유지기구를 선택적으로 절환시키는 절환기구를 갖추고, 상기 기판보유유지기구를 처리라인에 위치시켜 기판을 보유유지하고, 상기 절환기구에 의해 기판을 보유유지한기판보유유지기구를상기처리라인으로부터꺼내는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 13]
청구항 12에 있어서,상기 기판보유유지기구는, 기판을 수납하는 기판수납용기를 탑재할 수 있고, 이 기판수납용기에 처리라인의 기판을 차례로 수납할 수있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 15]
청구항 14에 있어서,상기 취출기구 및 취입기구는, 각각 인접하는 상기 처리유니트 사이에서 기판의 취출및취입행하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 16]
청구항 14에 있어서,상기 반송기구는, 기판을 보유유지하여 상기 처리라인을 따라 이동이 가능한이동스테이지갖추는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 17]
청구항 16에 있어서,상기 취출기구 및 취입기구는, 인접하는상기처리유니트사이설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 18]
청구항 16에 있어서,상기 취출기구 및 취입기구는,상기이동스테이지설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 19]
청구항 14에 있어서,상기 반송기구는, 기판을 보유유지하여 상기 처리라인을 따라 이동이 가능한 스테이지를 갖추고, 상기 취출기구 및 취입기구는상기이동스테이지설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 20]
청구항 19에 있어서,상기 취출기구 및 취입기구는, 각각 상기 처리유니트에서 기판을 취출 및 취입하거나, 또는 상기 처리유니트 사이에서 기판을 취출 및 취입하거나, 또는 상기 처리유니트에서 및 상기 처리유니트 사이에서 기판을 취출취입하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 21]
청구항 16 내지 청구항 20중 어느 한항에 있어서,상기 이동 스테이지는, 복수의 기판을 수납하는 기판수납용기를 탑재할 수 있고, 이 기판수납용기에 처리라인의 기판을 차례로 수납할 수있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 23]
청구항 22에 있어서,상기 반송기구는, 각 처리유니트 사이에 설치되어 각각 독립하여 구동이 가능한반송벨트갖추는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 24]
청구항 23에 있어서,상기 반송벨트는정역회전가능한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 25]
청구항 22에 있어서,상기 반송기구는, 상기 처리라인에 있는 기판을 파지(把持)하여, 상기 처리라인을 따라 이동이 가능한 척갖추는것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 취출기구는 절환기구를 통해 어떤 구성요소들을 처리라인에 대해 선택적으로 절환시키며, 이를 통해 기판을 어떻게 관리하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리장치의 취출기구가 절환기구를 통해 처리라인에 대해 어떤 구성요소를 선택적으로 절환시키는지, 그리고 이를 통해 기판을 어떻게 관리하는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 취출기구의 구성인 기판보유유지기구, 절환기구, 그리고 절환 대상인 처리유니트와 기판보유유지기구에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 취출기구는, 하나의 처리유니트에 인접하여 설치된 기판보유유지기구와, 상기 처리라인에 대하여 상기 하나의 처리유니트 및 상기 기판보유유지기구를 선택적으로 절환시키는 절환기구를 갖추고
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3근거 선택
evidence_selection절환 대상(처리유니트 및 기판보유유지기구)과 기판 관리 방식(기판보유유지기구를 처리라인에 위치시켜 기판을 보유유지하고, 절환기구에 의해 꺼냄)을 나타내는 구절을 선택한다.
- 상기 처리라인에 대하여 상기 하나의 처리유니트 및 상기 기판보유유지기구를 선택적으로 절환시키는 절환기구를 갖추고, 상기 기판보유유지기구를 처리라인에 위치시켜 기판을 보유유지하고, 상기 절환기구에 의해 기판을 보유유지한기판보유유지기구를상기처리라인으로부터꺼내는것을특징으로 하는기판처리장치.
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4논리 통합
logical_integration절환기구는 처리라인에 대해 '하나의 처리유니트'와 '기판보유유지기구'를 선택적으로 절환시키며, 이를 통해 기판보유유지기구를 처리라인에 위치시켜 기판을 보유유지하거나 처리라인으로부터 꺼내는 방식으로 기판을 관리함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변을 구성한다. 절환 대상은 하나의 처리유니트 및 기판보유유지기구이며, 기판은 기판보유유지기구를 처리라인에 위치시켜 보유유지하거나 절환기구를 통해 처리라인으로부터 꺼냄으로써 관리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
취출기구는 절환기구를 통해 처리라인에 대하여 하나의 처리유니트 및 기판보유유지기구를 선택적으로 절환시키며, 기판보유유지기구를 처리라인에 위치시켜 기판을 보유유지하거나, 절환기구에 의해 기판을 보유유지한 기판보유유지기구를 처리라인으로부터 꺼냄으로써 기판을 관리한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
절환기구를 이용하여 처리유니트와 기판보유유지기구를 처리라인에 선택적으로 배치함으로써, 기판을 처리라인 내에서 보유하거나 외부로 인출할 수 있는 기판 관리 메커니즘을 제공한다.