기판처리장치 및 기판도금장치 document_id 1020010029033

[청구항 1] 기판카세트를 얹어 놓고 기판의 로드·언로드를 행하는 로드·언로드부와, 기판의 처리를 행하는 기판처리유닛과, 상기 로드·언로드부와 상기 기판처리유닛과의 사이에서 기판의 수수를 행하는 반송로봇을 동일 설비내에 가지고, 상기 로드·언로드부에 기판카세트가 얹어 놓여진 것을 검지하여 상기 반송 로봇이 기판카세트로부터 기판을 인출하기 쉬운 위치에 상기 기판카세트가 위치하 도록 수평회전하는 회전테이블장치를 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 로드·언로드부는 서로 병렬한 위치에 2개 설치되고, 이들의 각 로드·언로드부에 설치한 회전테이블은 어느 쪽의 로드·언로드부에 얹어 놓여진 기판카세트로부터라도 상기 반송로봇이 기판을 인출하기수평회전하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 기판처리유닛은 기판처리부와 도금액 트레이를 가지고, 기판에 도금처리를 실시하는도금유닛인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 기판카세트를 얹어 놓고 기판의 로드·언로드를 행하는 로드·언로드부와, 기판의 처리를 행하는 기판처리유닛과, 상기 로드·언로드부와 상기 기판처리유닛과의 사이에서 기판의 수수를 행하는 반송로봇을 동일 설비내에 가지고, 상기 기판처리유닛은 상기 설비의 한쪽의 측벽을 향하여 한 면에 복수개 병렬로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 기판처리유닛은 기판처리부와 도금액 트레이를 가지고, 기판에 도금처리를 실시하는도금유닛인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 기판카세트를 얹어 놓고 기판의 로드·언로드를 행하는 로드·언로드부와, 기판의 처리를 행하는 기판처리유닛과, 상기 로드·언로드부와 상기 기판처리유닛과의 사이에서 기판의 수수를 행하는 반송로봇을 가지는 기판처리설비를 2개 구비하고, 상기 각 설비는 이 설비의 한쪽의 측벽을 향하여 한 면에 병렬 설치된 복수의 기판처리유닛을 가지고, 상기 측벽에 대향하는 다른쪽의 측벽에서 서로 등을 맞대어 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 기판처리유닛은 기판처리부와 도금액 트레이를 가지고, 기판에 도금처리를 실시하는도금유닛인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에서 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 기판유지부는 회전 자유로운 기판스테이지와, 이 기판스테이지의 둘레 가장자리부에 세워 설치한 지지아암을 구비하고, 상기 지지아암으로 기판을 지지하였을 때에 상기 기판의 노치 또는 오리프라부에 대강 대면하는 지지아암에 대향하는 위치에 설치된 지지아암에는 기판을 안쪽을 향하여 가압하도록 회동하 가압포올이 이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 가압포올이 설치된 지지아암 이외의 지지아암에는 기판의 둘레 가장자리부를 끼워 유지하도록 회동하는고정포올설치되어있는것을특징으로하는기판도금장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 가압포올 및 고정포올은 이들을 폐쇄하는 방향으로 가세하는 가세부와, 상기 가세부의 가세력에 저항하여 상기 각 포올을 개방하는 방향으로 회동시키는 상하이동 자유로운 개방핀을 가지고, 이들 개방핀을 개방부재의 상하이동에 따라 상하이동하도록 구성되고, 상기 개방핀과 상기 개방부재와의 사이에 동작의 타이밍을 조정하는조정기구구비되어있는것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 조정기구는 상기 개방핀의 하단부에 위치조정 자유롭게 설치되는 큰 지름부재와, 상기 개방부재의 상기 개방핀에 대향하는 위치에 설치되는 상기 개방핀의 외경보다 크고, 큰 지름부재의 외경보다 작은내경오목부로이루어지는것을특징으로하는기판도금장치. [청구항 12] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에서 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 시일재는 링형상이고, 횡단면에 있어서 서서히 두께가 얇아져 안쪽으로 연장 돌출하는 안쪽 연장 돌출부와, 이 안쪽 연장 돌출부에 연속하여 더욱 두께가 얇아져 아래쪽으로 굴곡하여 연장되는 아래쪽 수직하강부를 가지는 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 시일부재의 하면에는 프레임체를 거쳐 안쪽을 향하여 돌출하는 다수의 돌기편을 가지는 복수로 분할된 캐소드전극을 설치되고, 이 캐소드전극의 각 돌기편은 상기 시일재의 아래쪽 수직하강부의 바깥쪽에 위치하고, 상기 아래쪽 수직하강부를 따라 아래쪽으로 대략 직각으로 굴곡하여 연장되어하단있는것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 14] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에서 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 애노드를 유지하는 이동 자유로운 전극헤드와, 이 전극헤드의 둘레 가장자리부를 스토퍼면에 접촉시켜 상기 애노드와 기판 사이의 위치결정을 행하는 위치조절 가능한 스토퍼를 가지는 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 고정스토퍼는 상기 기판유지부의 주위를 둘러싸는 위치에 세워 설치한 스토퍼봉에 고정된 너트에 나사결합하는 볼트를 가지고, 이볼트의머리부상면스토퍼면으로한것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 16] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 애노드를 유지하는 이동 자유로운 전극헤드와, 이 전극헤드의 도달 가능범위에 설치된 도금액 트레이를 가지고, 적어도 상기 전극헤드와 도금액 트레이의 접액부분을 습윤성이 나쁜 재료로 구성한 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 도금액 트레이내에더미캐소드를착탈자유설치한것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 18] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 기판유지부로 유지된 기판 상면의 상기 시일재로 둘러싸인 영역에 남은 도금액을 기판을 회전시키면서 상기 기판 둘레 가장자리부의 상기 시일재에 근접한 위치에서 흡인하여 회수하는 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 19] 피도금을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에서 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 기판유지부로 유지된 기판 상면의 상기 시일재로 둘러싸인 영역에 상기 기판을 회전시키면서 린스를 위한 순수를 공급하여 상기 시일재를 세정하고, 기판 상면으로부터 상기 시일재가 떨어진 후에 세정용의 순수를 공급하여 상기 시일재를 다시 세정하는 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 20] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에서 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 상기 시일된 공간에 소정량의 도금액을 1회의 푸시로 공급하는 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 21] 피도금면을 위쪽을 향하여 기판을 유지하는 기판유지부와 이 기판유지부로 유지한 기판에 근접한 위쪽위치에 대치하여 설치되는 애노드를 가지고, 상기 기판 과 애노드 사이의 시일재로 시일된 공간에 도금액을 채워 전해도금을 실시하는 도금장치로서, 복수단계의 처리공정을 준비하여 그 각 처리공정의 사용과 미사용을 임의로 설정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 기판도금장치 [청구항 22] 기판을 유지하는 기판유지부와, 상기 기판유지부로 유지한 기판의 피처리면에 제 1 단의 기판처리를 행하는 제 1 기판처리헤드와, 상기 기판유지부로 유지한 기판의 피처리면에 제 2 단의 기판처리를 행하는 제 2 기판처리헤드를 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처치 및 상기 제 2 단의 기판처리는모두도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 24] 제 23항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처치 또는 상기 제 2 단의 도금처리의 한쪽은 전해도금처리이고, 다른쪽은 무전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 25] 제 23항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처치 및 제 2 단의 도금처리는 도금액이 다른 전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 26] 기판을 유지하는 기판유지부와, 이 기판유지부로 유지한 기판의 피처리면에 제 1 단의 기판처리를 행하는 기판처리헤드를 가지는 제 1 단 기판처리용 기판처리장치와, 기판을 유지하는 기판유지부와, 이 기판유지부로 유지한 기판의 피처리면에 제 2 단의 기판처리를 행하는 기판처리헤드를 가지는 제 2 단 기판처리용 기판처리장치를 구비하고, 이들의 기판처리장치를 하나의 장치내에 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 27] 제 26항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처치 및 상기 제 2 단의 기판처리는모두도금처리인것을특징으로 하는기판처 리장치. [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처치 또는 상기 제 2 단의 도금처리의 한쪽은 전해도금처리이고, 다른쪽은 무전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 29] 제 27항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처치 및 상기 제 2 단의 도금처리는 도금액이 다른 전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치.