칩소터 장치 document_id 1020010029836

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 적재판 정렬 유니트는, 상기 적재판을 정위치에 위치하도록 지지하는 위치정렬용 지그와; 상기 적재판을 상기 지그 상의 정위치에 고정되도록 밀어주는 고정부재를 포함하여구성되는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 위치정렬용 지그는 적재판의 두측면을 접촉지지하는 "ㄱ" 자 형상의 지그로 구성되고, 상기 고정부재는 상기 "ㄱ" 자 형상의 지그에 접촉지지된 적재판의 두측면이 상기 "ㄱ" 자 형상의 지그에 끼이는 방향으로 적재판의 나머지 두측면에 힘을 가하여 위치를 고정하는 고정편을 구비한 고정실린더를 포함하여구성되는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 적재판 로더 유니트는, 상기 빈 적재판을 수직방향으로 적재할 수 있도록 상기 빈 적재판의 측면을 지지하는 제1가이드 기둥과; 상기 제1가이드 기둥의 하부에 승강운동을 하도록 설치되며, 승강시 상기 제1가이드 기둥에서 하측으로 자유낙하하는 맨 아래에 위치한 빈 적재판을 재치하고, 하강하면서 상기 제1이송 유니트로 상기 빈 적재판을 전달하는 제1받침판과; 상기 제1가이드 기둥의 하부 양측면에 대향하게 설치되고, 상기 제1가이드 기둥의 내부로 진퇴운동을 하면서, 진출시 맨 아래의 빈 적재판을 지지하고, 퇴거시 맨 아래의 빈 적재판을 상기 제1받침판에 재치되도록 자유낙하 시키는 제1적재판 스토퍼와; 상기 제1적재판 스토퍼 보다 상부의 상기 제1가이드 기둥에 대향하게 설치되고, 상기 제1가이드 기둥의 양측면에서 상기 제1가이드 기둥의 내부로 진퇴운동을 하면서, 상기 제1적재판 스토퍼가 퇴거하여 맨 아래의 빈 적재판을 상기 제1받침판으로 자유낙하시 진출하여 맨 아래에서 2번째 빈 적재판을 양측에서 수평으로 힘을 가하여 고정하고, 상기 제1적재판 스토퍼가 진출시 퇴거하여 상기 맨 아래에서 2번째 빈 적재판이 자유낙하되어 상기 제1적재판 스토퍼에 의해 지지되도록 하는 적재판 측면 스토퍼를 포함하여구성되는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제1이송 유니트는, 상기 제1가이드 기둥의 하부에 수평방향으로 설치되고 상기 제1받침판이 그 사이를 통과할 수 있는 2개의 제1이송벨트를 포함하여 구성되어, 상기 제1받침판이 상기 2개의 이송벨트 사이를 통과하면서 하강할 때, 상기 제1받침판에 재치된 빈 적재판은 그 하부면이 상기 이송벨트에 올려지는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기제1적재판 스토퍼는, 상기 빈 적재판을 지지하는 상부면이 끝단으로 갈수록 뾰쪽하도록 하방으로 경사지게 구성되어, 상기 제1받침판에 상기 빈 적재판을 자유낙하시키기 위해 상기 제1가이드 기둥에서 퇴거시 상기 빈 적재판이 경사진 상부면을 따라 하방으로 소정거리 이동한 후 상기 받침판에 자유낙하하여재치되도록하는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 적재판 언로더 유니트는, 상기 칩의 수납이 완료된 적재판을 그의 내부에서 수직방향으로 적재할 수 있도록 상기 적재판의 측면을 지지하는 제2가이드 기둥; 상기 제2가이드 기둥의 하부에서 승강운동을 하며 상기 제2이송 유니트에 의해 이동되어온 적재판을 재치하여 상기 제2가이드 기둥내부로 밀어올리는 제2받침판과; 상기 제2가이드 기둥의 대향하는 양측면에 설치되고, 상기 제2가이드 기둥의 내부로 진퇴운동을 하면서, 상기 제2받침판이 상승시 퇴거하여 지지하고 있던 상기 제2가이드 기둥 내부에 적재된 적재판을 상기 제2받침판에 재치된 적재판 위에 올리고, 상기 제2받침판이 하강시 상기 제2받침판에 재치된 맨아래의 적재판 하부로 진출하여 상기 제2가이드 기둥 내부에서 적재된 적재판을 지지하는 제2적재판 스토퍼를 포함하여구성되는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 적재판 언로더 유니트는, 상기 제2이송 유니트에 의해 상기 제2가이드 기둥의 하부로 이동되어온 적재판을 일측면의 양단부를 밀고, 상기 적재판의 일측면에 대향하는 타측면의 중심부를 밀어 상기 적재판의 위치를 정렬하는적재판위치정렬부더욱구비하는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 적재판 언로더 유니트는, 복수개의 상기 제2가이드 기둥과 상기 제2가이드 기둥을 이동시키는 볼스크류 구동기를 더욱 구비하여, 하나의 제2가이드 기둥에 적재판의 적재가 완료되면 볼스크류 구동기를 구동하여 적재판이 적재되지 않은제2가이드기둥을작업위치이동시키는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 제2이송 유니트는, 상기 제2가이드 기둥의 하부까지 수평방향으로 설치되고 상기 제2받침판이 그 사이를 통과할 수 있는 2개의 제2이송벨트를 포함하여 구성되어, 상기 제2받침판은 상기 이송벨트 사이를 통과하며 승강하면서, 상기 제2이송벨트에 재치된 적재판을상기제2가이드기둥의내부올리는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 11] 제7항에 있어서,상기제2적재판 스토퍼는, 상기 적재판을 지지하는 상부면이 끝단으로 갈수록 뾰쪽하도록 하방으로 경사지게 구성되어, 상기 제2가이드 기둥 내부에 적재된 적재판을 상기 제2받침판에 재치된 적재판 위에 올리기 위해 상기 제2가이드 기둥에서 퇴거시 상기 적재판이 경사진 상부면을 따라 하방으로 소정거리 이동한 후 상기 제2받침판에 재치된 적재판 위에 자유낙하하여 올려하는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 칩소터 장치는 상기 적재판이 통과되도록 하면서 상기 적재판의 상부로 소정의 내부공간을 형성하도록 상기 제1이송 유니트 상에 설치되는 챔버와; 상기 챔버에 부착되고 상기 챔버의 내부의 공기를 빨아들이는 진공흡착부와; 상기 챔버의 내부에 설치되고 상기 적재판의 상부로 공기를 분사하는 공기분사기와; 상기 공기분사기를 상기 적재판의 상부에서 수평방향으로 왕복 이동시키는 왕복이동기를 포함하여 구성되는적재판청소유니트더욱구비하는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 칩소터 장치는, 상기 제2이송 유니트에 상기 적재판이 통과되도록 하면서 상기 적재판의 양측방에서 상부로 서로 대향하게 설치된 프레임과; 상기 프레임의 내측에 상기 프레임을 따라 상하로 이동 가능하게 설치되는 센서지지대와; 상기 센서지지대의 내측에 상기 적재판을 사이에 두고 서로 대향하도록 설치되는 센서를 포함하여 구성되는칩적재불량검출유니트더욱구비하는것을특징으로 하는칩소터 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 칩소터 장치는, 웨이퍼에서 픽업한 불량칩을 수납하는 적재판을 재치하는불량칩적재판재치유니트더욱구비하는것을특징으로 하는칩소터 장치.