문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 제 1 처리유니트군 및 제 2 처리유니트군에서 행하는 처리의 내용동일한기판처리장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기제 1 및 제 2 처리유니트군은반송수단을사이대칭되어설치되어 있는기판처리장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 제 1 처리유니트군 및 제 2 처리유니트군에서 실시하는 처리의 내용상이한기판처리장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 반송수단은, 수평방향으로 뻗친 수평반송로와, 이 수평반송로를 따라 이동하여 각 처리유니트와의 사이에서 기판을 주고받는 수평반송기구갖추는기판처리장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 반송수단은, 수직방향으로 뻗친 수직반송로와, 이 수직반송로를 따라 이동하여 각 처리유니트와의 사이에서 기판을 주고받는 수직반송기구갖추는기판처리장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,기판을 수납할 수 있는 기판수납용기를 재치하는 수납용기 재치부를 갖추고 기판의 반입반출을 행하는 반입반출부더 구비하는기판처리장치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 제 1 처리유니트군 및 제 2 처리유니트군에서 행하는 처리의 내용동일한기판처리장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 선택수단은, 상기 제 1 처리유니트군 및 제 2 처리유니트군 중에서 기판의 반송이 가능한 쪽을 검출하고, 이 검출결과에 의거하여 반송가능한 처리유니트군으로 기판을 반입송하도록 상기 반송수단제어하는기판처리장치.
[청구항 11]
청구항 8에 있어서,상기 제 1 처리유니트군 및 제 2 처리유니트군에서 행하는 처리의 내용상이한기판처리장치.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 선택수단은, 기판이 상기 제 1 처리유니트군 및 제 2 처리유니트군의 어느 쪽에서 처리를 행하는 가를 판별하고, 그 결과에 의거하여, 판별된 처리유니트군에 기판을 반입하도록 상기 반송수단제어하는기판처리장치.
[청구항 13]
청구항 8에 있어서,기판을 수납가능한 기판수납용기를 재치하는 수납용기 재치부를 갖추고 기판의 반입반출을 행하는 반입반출부더 구비하는기판처리장치.
[청구항 15]
청구항 14에 있어서,상기 수평처리블럭은, 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리유니트를 갖추고, 상기 수직처리블럭은, 기판에 열적처리(熱的)를 행하는 복수의 열적처리유니트갖추는기판처리장치.
[청구항 16]
청구항 14에 있어서,상기 수평처리블럭은 복수로 설치되어, 이들에 대응하는 수평방향반송장치가 이동하는 반송로는 직선상(直線狀배치되어 있는기판처리장치.
[청구항 17]
청구항 14에 있어서,상기 기판처리장치는, 기판에 대하여 레지스트 도포 및 노광 후의 현상을 행하는 기판처리장치이고, 상기 수평처리블럭은, 기판에 대하여 레지스트를 도포하는 레지스트액 도포처리유니트 및/또는 현상처리를 행하는 현상처리유니트갖추는기판처리장치.
[청구항 18]
청구항 17에 있어서,상기 수평처리블럭은, 기판을 세정하는 세정처리유니트더 갖추는기판처리장치.
[청구항 19]
청구항 17 또는 청구항 18에 있어서,기판에 레지스트액을 도포한 후에 노광처리를 행하는 노광장치와의 사이에서 기판을 주고받는인터페이스부를더 구비하는기판처리장치.
[청구항 20]
청구항 14에 있어서,기판을 수납할 수 있는 기판수납용기를 재치하는 수납용기 재치부를 갖추고 기판의 반입반출을 행하는 반입반출부를 더 구비하는 것을 특징하는기판처리장치.
[청구항 23]
청구항 22에 있어서,회전계 유니트에 의해 구성되는 회전계 프로세스부와 열처리계 유니트에 의해 구성되는 열처리계 프로세스부를 갖추고, 상기 회전계 프로세스부와 상기 열처리계 프로세스부는 반송로를 매개로 하여 직렬적로 접속됨의해서로 구분되어 있는기판처리장치.
[청구항 24]
청구항 22에 있어서,상기 회전계 유니트는, 기판에 도포액을 도포하여 박막을 형성하는 박막형성유니트와, 회로 패턴에 대응하여 노광된 상기 박막을 현상하는 현상처리유니트를 적어도 포함하고, 상기 열처리계 유니트는, 현상처리전 및 현상처리후에 각각 기판에 대하여 베이크 처리를 행하는 복수의 베이크 처리유니트포함하는기판처리장치.
[청구항 25]
청구항 24에 있어서,상기 복수의 베이크 유니트가,상기박막현성유니트와상기현상처리유니트사이집중되어설치되어 있는기판처리장치.
[청구항 26]
청구항 22에 있어서,상기 회전계 유니트는, 기판의 세정처리를 행하는 세정처리장치와, 기판에 도포액을 도포하여 박막을 형성하는 박막형성유니트와, 회로 패턴에 대응하여 노광된 상기 박막을 현상하는 현상처리유니트를 적어도 포함하고, 또 상기 열처리계 유니트는, 세정처리 후 및 현상처리 전후에 각각 기판에 대하여 베이크 처리를 행하는 복수의 베이크 처리유니트와, 기판에 대하여 냉각처리를 행하는 냉각처리유니트와, 기판에 대하여 어드히젼처리를 행하는 어드히젼유니트적어도 포함하는기판처리장치.
[청구항 27]
청구항 22에 있어서,회전계유니트반송로한측설치되어 있는기판처리장치.
[청구항 28]
청구항 22에 있어서,상기 소정 부분에는 상기 복수의 열계 처리유니트블럭의 각 유니트에 대한 기판의 출입을 행하는 서브아암기구배치되어 있는기판처리장치.
[청구항 30]
청구항 29에 있어서,상기 소정 부분에는 상기 복수의 열계 처리유니트블럭의 각 유니트에 대한 기판의 출입을 행하는 서브아암기구배치되어 있는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 24에 기재된 회전계 유니트와 열처리계 유니트의 구성을 각각 설명하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 24를 근거로 회전계 유니트와 열처리계 유니트의 구성을 각각 추출하여 설명해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 24에서 회전계 유니트의 구성 요소와 열처리계 유니트의 구성 요소를 확인한다.
- 상기 회전계 유니트는, 기판에 도포액을 도포하여 박막을 형성하는 박막형성유니트와, 회로 패턴에 대응하여 노광된 상기 박막을 현상하는 현상처리유니트를 적어도 포함하고, 상기 열처리계 유니트는, 현상처리전 및 현상처리후에 각각 기판에 대하여 베이크 처리를 행하는 복수의 베이크 처리유니트포함하는
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3근거 선택
evidence_selection회전계 유니트 구성인 '박막형성유니트'와 '현상처리유니트', 그리고 열처리계 유니트 구성인 '복수의 베이크 처리유니트'를 선택한다.
- 상기 회전계 유니트는, 기판에 도포액을 도포하여 박막을 형성하는 박막형성유니트와, 회로 패턴에 대응하여 노광된 상기 박막을 현상하는 현상처리유니트를 적어도 포함하고, 상기 열처리계 유니트는, 현상처리전 및 현상처리후에 각각 기판에 대하여 베이크 처리를 행하는 복수의 베이크 처리유니트포함하는
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 각 유니트의 구성을 분류하여 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation회전계 유니트는 박막형성유니트와 현상처리유니트를 포함하며, 열처리계 유니트는 복수의 베이크 처리유니트를 포함한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 회전계 유니트: 기판에 도포액을 도포하여 박막을 형성하는 박막형성유니트 및 회로 패턴에 대응하여 노광된 박막을 현상하는 현상처리유니트
- 열처리계 유니트: 현상처리 전 및 현상처리 후에 각각 기판에 대하여 베이크 처리를 행하는 복수의 베이크 처리유니트
핵심 해석 (core_interpretation)
본 청구항은 기판의 박막 형성 및 현상 공정을 담당하는 회전계 유니트와, 공정 전후의 베이크 처리를 담당하는 열처리계 유니트의 구성을 정의하고 있다.