문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 웨이퍼 프로버 각도 정렬 기구에 있어서,
상기 프로버 각도정렬 기구를 구동시키는 구동모터 (100)
상기 구동모터에 직접 연결되어 회전력을 전달하는 리드스크류 (400)
상기 리드스크류와 나사결합되어 직선운동을 하는 리드블록 (520)
상기 리드블록의 직선운동을 유도하는 리드블록 가이드 (125)
상기 리드블록이 상기 리드블록가이드를 따라 직선운동을 할 수 있도록 상기 리드블록가이드와 접합된 상기 리드블록을 하우징하고, 일측면이 상기 리드스크류가 관통되어 상기 리드블록과 나사결합될 수 있도록 개방되어 있는 하우징 (120)
상기 리드블록과 일단이 연결되어 있는 체결부 (600); 및
상기 리드블록의 직선운동에 따라 미세한 회전운동을 하도록 상기 체결부의 타단과 연결된 회전테이블 (300) 을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버 각도 정렬 기구
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 리드블록은 상기 리드스크류와 직접 나사결합을 하는 리드너트;상기 리드블록의 직선운동 방향에 평행하게 설치되어 압력을 조정하는 압축유지용 너트 및 압축스프링;상기 리드너트에 일체로 결합된 텐션레버 및 텐션볼 플런져포함하는것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 프로버 각도 정렬 기구.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 체결부는 상기 리드블록의 직선운동 방향과 수직으로 배치되어 상기 리드블록과 상기 회전테이블을 결합시켜 주는 로커아암; 상기 리드블록 방향의 상기 로커아암 끝부분에 결합되는 상기 로커아암축;상기 로커아암축의 상부에 고정되도록 설치되는 텐션베어링; 및상기 로커아암의 하부에 상기 텐션베어링이 설치된 상기 로커아암축과 고정되도록 설치되는 가이드베어링을 포함하고,상기 체결부의 상기 가이드베어링이상기리드블록연결되어있는것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 프로버 각도 정렬 기구.
지시문 (instruction)
본문에서 필요한 정보를 찾아 질문에 답변하라.
질문 (question)
반도체 웨이퍼 프로버 각도 정렬 기구에서 리드블록의 직선운동이 회전테이블의 미세한 회전운동으로 변환되는 과정에 관여하는 구성 요소들의 연결 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리드블록의 직선운동이 회전테이블의 미세 회전운동으로 변환되는 과정에서 관여하는 구성 요소들의 연결 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 리드블록, 체결부, 회전테이블 간의 연결 관계를 추출한다.
- 상기 리드블록과 일단이 연결되어 있는 체결부 (600); 및 상기 리드블록의 직선운동에 따라 미세한 회전운동을 하도록 상기 체결부의 타단과 연결된 회전테이블 (300)
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3근거 선택
evidence_selection운동 변환의 핵심 경로인 '리드블록 -> 체결부 -> 회전테이블'에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 리드블록과 일단이 연결되어 있는 체결부 (600); 및 상기 리드블록의 직선운동에 따라 미세한 회전운동을 하도록 상기 체결부의 타단과 연결된 회전테이블 (300)
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4논리 통합
logical_integration리드블록의 일단이 체결부와 연결되어 있고, 체결부의 타단이 회전테이블과 연결되어 있어 리드블록의 직선운동이 체결부를 거쳐 회전테이블의 회전운동으로 전달됨을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation리드블록의 직선운동은 일단이 연결된 체결부를 통해, 체결부의 타단과 연결된 회전테이블로 전달되어 미세한 회전운동으로 변환된다.
- 상기 리드블록과 일단이 연결되어 있는 체결부 (600); 및 상기 리드블록의 직선운동에 따라 미세한 회전운동을 하도록 상기 체결부의 타단과 연결된 회전테이블 (300)
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6답변 생성
answer_generation추출된 연결 관계를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
리드블록의 직선운동은 일단이 연결된 체결부(600)를 통해 전달되며, 체결부의 타단과 연결된 회전테이블(300)이 리드블록의 직선운동에 따라 미세한 회전운동을 수행함으로써 운동 변환이 이루어진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
리드블록의 직선운동을 체결부를 매개로 회전테이블의 미세 회전운동으로 변환하는 기구적 연결 구조를 나타낸다.