웨이퍼 클리닝장치 document_id 1020010042954

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 회전수단은,상기 챔버를 상부로부터 내부로 관통하여 상기 웨이퍼장착수단과 연결되고 축방향으로 중공이 형성된 중공회전축을 구비한모터인것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 회전수단은,모터와;상기 챔버를 상부로부터 내부로 관통하여 상기 웨이퍼장착수단과 연결되고 축방향으로 중공이 형성된 중공회전축과;상기 모터의 회전력을 상기 중공회전축으로 전달하는 동력전달부를 포함하여구성되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 4] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 웨이퍼장착수단은,상기 중공회전축에 연결되는 중심부와;상기 중심부로부터 방사상으로 연장되는 다수개의 아암과;상기 아암의 끝단부를 원형으로 연결하는 원주부와;상기 원주부에 설치되어 상기 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 홀더를 포함하여구성되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 5] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 약액분사수단은,상기 중공회전축의 중공에 삽입되어 설치되는 약액공급관과;상기 약액공급관과 연결되어 상기 웨이퍼의 상면을 향해 약액을 공급하는 하나 이상의 노즐을 포함하여구성되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 약액분사수단은 상기 챔버에 설치되어 상기 웨이퍼의 상면을 향해 약액을 분사하는하나이상노즐로이루어지는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 약액공급관은 축방향으로 통구가 형성되고,상기 청정공기분사수단은 상기 약액공급관에 형성된 상기 통구를 통하여 상기 웨이퍼의 상면에 수직으로청정공기분사하는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 청정공기분사수단은 상기 챔버의 일측면에 형성된 통구를 통하여 상기 웨이퍼의 상면과 나란하게상기청정공기분사하는것을특징으로 하는웨이퍼클리닝장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 메가소닉발진수단을 재치하고 상,하로 승강시키는승강수단더욱포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 매질액공급수단은,상기 웨이퍼의 하면을 향하여 다수의 통공이 형성된 상판과;상기 상판의 가장자리로부터 일체로 연장되어, 상기 상판과 상기 메가소닉발진수단과의 사이에 내부공간이 형성되도록 상기 메가소닉발진수단의 상면에 장착되고, 일측에 상기 내부공간내로 매질액을 공급하는 매질액공급구가 형성된 장착부를 포함하여 구성되어,상기 매질액공급구를 통하여 상기 내부공간으로 유입된 매질액이 상기 통공을 통해 상기 웨이퍼의 하면을 향해분출되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 장착부의 타측에 상기 내부공간내로 공급된 매질액을 외부로 배출하는매질액배출구더형성되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 매질액배출구에는유량조절밸브더욱설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼로부터 튀기는 약액으로부터 상기 챔버를 보호하고 상기 웨이퍼의 상면에 오염물의 유입을 방지하기 위해 상기 챔버와 상기 웨이퍼장착수단 사이에 상기 웨이퍼장착수단의 상부로부터 측면을 감싸면서 설치되는보호컵더욱구비되는것을특징으로 하는웨이퍼클리닝장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 챔버에는 상기 챔버의 상부로부터 상기 챔버의 내부로 관통된 승강축을 구비한 보호컵승강수단이 장착되고, 상기 보호컵의 일측이 상기 승강축에 연결되어승강되는것을특징으로 하는웨이퍼클리닝장치. [청구항 15] 제 1 항 또는 제 8 항에 있어서,상기 배출수단은,상기 챔버의 하부에 형성되어 약액을 배출하는 제 1 배출구와;상기 챔버의 측면에 형성되어 공기를 배출하는제2배출구구성되는것을특징으로 하는웨이퍼 클리닝장치.