문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치에 있어서,
쳄버와,
상기 쳄버를 진공으로 형성시킬 수 있도록 펌핑동작을 수행하는 진공펌프와,
제1 펌프라인의 백스트림을 차단하기 위한 제1볼과,
상기 제1펌프라인 상에 형성되어 상기 진공펌프의 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 제1볼이 이동 밀착될 때 상기 제1펌프라인을 차단하는 제1 볼브라킷과,
상기 제1 펌프라인 상에 형성되고, 다수의 통공이 형성되어 상기 진공펌프의 펌핑동작 시 상기 제1볼을 수납하기위한 제2볼브라킷을 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,제2 펌프라인의 백스트림을 차단하기 위한 제2볼과, 상기 제2펌프라인 상에 형성되어 상기 진공펌프의 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 상기 제2볼이 밀착될 때 상기 제2펌프라인을 차단하는 제3 볼브라킷과, 상기 제2 펌프라인 상에 형성되고, 다수의 통공이 형성되어 상기 진공펌프의 펌핑동작 시 상기 제2볼을 수납하기위한 제4볼브라킷더포함함을특징으로 하는반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기제3 및 제4 볼브라킷은,상기 진공펌프의 펌핑동작 시 상기 제1 및 제2볼을 수납하기 위한 볼수납부와, 상기 제1 및 제2 펌프라인의 진공압력을 통과시키는 망사구조를 갖는 다수의 통공과, 상기 볼수납부를 고정시키기 위한지지대포함함을특징으로 하는반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치.
[청구항 4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기제3 및 제4 볼브라킷은,상기 진공펌프의 펌핑동작 시 상기 제1 및 제2볼을 수납하기 위한 볼수납부와, 상기 제1 및 제2 펌프라인의 진공압력을 통과시키는 다수의 통공과, 상기 볼수납부를 고정시키기 위한지지대포함함을특징으로 하는반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치.
[청구항 5]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기제3 및 제4 볼브라킷은,망사구조갖는것을특징으로 하는반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치.
[청구항 6]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기제3 및 제4 볼브라킷은,일자형망구조갖는것을특징으로 하는반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조장치의 파티클 백스트림 방지장치에서 진공펌프의 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 제1볼이 이동하여 제1펌프라인을 차단하게 하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation진공펌프 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 제1볼이 이동하여 제1펌프라인을 차단하게 하는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제1펌프라인, 제1볼, 그리고 제1볼브라킷에 관한 설명을 추출한다.
- 상기 제1펌프라인 상에 형성되어 상기 진공펌프의 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 제1볼이 이동 밀착될 때 상기 제1펌프라인을 차단하는 제1 볼브라킷
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '제1볼이 이동하여 제1펌프라인을 차단하게 하는 구성요소'와 직접 대응하는 구절을 선택한다.
- 상기 진공펌프의 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 제1볼이 이동 밀착될 때 상기 제1펌프라인을 차단하는 제1 볼브라킷
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4논리 통합
logical_integration제1볼이 이동하여 밀착됨으로써 제1펌프라인을 차단하는 주체는 제1 볼브라킷임을 확인한다.
- 상기 제1펌프라인 상에 형성되어 상기 진공펌프의 전원오프 시 백스트림 압력에 의해 제1볼이 이동 밀착될 때 상기 제1펌프라인을 차단하는 제1 볼브라킷
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 제1 볼브라킷을 도출한다.
- 제1 볼브라킷
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변을 최종 형식에 맞춰 작성한다.
- 제1 볼브라킷
최종 답변 (final_answer)
제1 볼브라킷
핵심 해석 (core_interpretation)
진공펌프 정지 시 발생하는 백스트림 압력을 이용하여 제1볼을 이동시켜 제1펌프라인을 물리적으로 차단하는 제1 볼브라킷의 기능을 정의하고 있다.