문맥 (context)
[청구항 1]
적어도 하나의 반도체 기판을 애싱(ashing) 공정 처리할 수 있는 반응챔버
상기 반응챔버에 인접하여 외부와 격리될 수 있는 독립된 소정 공간을 형성하고, 복수의 반도체 기판을 담은 캐리어를 로딩하는 로딩부를 갖는 복수의 로드락 챔버가 마련된 로딩 챔버
상기 반응챔버와 인접하여 상기 로딩 챔버 내에 설치되어 상기 로딩부에 로딩된 캐리어와 상기 반응챔버 사이에 상기 반도체 기판이 이동하기 전에 임시로 보관될 수 있도록 복수의 슬롯을 가진 적어도 하나의 엘리베이터
상기 로딩 챔버와 상기 반응챔버 사이에 설치되어 상기 로딩챔버에 보관된 상기 캐리어와 상기 반응챔버 사이에 상기 반도체 기판을 상기 엘리베이터를 경유하여 이송시키는 기판 이송장치; 및
상기 반도체 기판의 이송을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 애싱 공정용 반도체 제조장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 반응챔버는 플라즈마를 발생시켜애싱공정진행하는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 반응챔버 내에는 상기 복수의 반도체 기판을 올려놓을 수 있는 포켓을 가진 판상의기판지지대포함하는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 로드락 챔버는 일측에 상기 캐리어를 로딩할 수 있도록 개폐 가능한로드락 챔버도어갖는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 엘리베이터와 상기 반응챔버 사이에는 상호 공간을 격리할 수 있도록 개폐 가능한슬릿도어포함하는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 슬릿도어는 반도체 기판이 이송될 때 연동하여개방되는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 기판 이송장치는, 상기 포켓과 엘리베이터 사이에서 상기 반도체 기판을 이송시키는 제1기판 이송용 로봇과, 상기 엘리베이터와 상기 로딩챔버의 상기 캐리어 사이에서 상기 반도체 기판을 이송하는제2기판이송용로봇포함하는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기제1 및 제2기판 이송용 로봇은,일측은 기판을 집어 올릴 수 있는 기판 픽업부가 마련되어 있고 타측은 회동축에 연결되어 있으며 상기 회동축을 중심으로 신장이 가능한 가동아암; 및상기 가동아암의 화동축과 연결되어 상기 가동아암을 작동시키는 아암구동기포함하는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 기판 픽업부는판상의집게판인것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 아암구동기는 상기 회동축을 회동시키고 상기 가동아암을 신장시킬 수 있는회동모터포함하고있는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 아암구동기는 상기 회동축을 상기 기판 지지대의 판면에 대해서 수직 상하로 승강시키는리프터더포함하고있는것을특징으로 하는애싱 공정용 반도체 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
애싱 공정용 반도체 제조장치에서 기판 이송장치를 구성하는 제1기판 이송용 로봇과 제2기판 이송용 로봇은 각각 어느 구간 사이에서 반도체 기판을 이송하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation애싱 공정용 반도체 제조장치 내 제1기판 이송용 로봇과 제2기판 이송용 로봇이 각각 어느 구간 사이에서 기판을 이송하는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 제1기판 이송용 로봇과 제2기판 이송용 로봇의 이송 구간에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 포켓과 엘리베이터 사이에서 상기 반도체 기판을 이송시키는 제1기판 이송용 로봇과, 상기 엘리베이터와 상기 로딩챔버의 상기 캐리어 사이에서 상기 반도체 기판을 이송하는제2기판이송용로봇
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3근거 선택
evidence_selection제1기판 이송용 로봇의 구간인 '포켓과 엘리베이터 사이'와 제2기판 이송용 로봇의 구간인 '엘리베이터와 상기 로딩챔버의 상기 캐리어 사이'를 선택한다.
- 상기 포켓과 엘리베이터 사이에서 상기 반도체 기판을 이송시키는 제1기판 이송용 로봇과, 상기 엘리베이터와 상기 로딩챔버의 상기 캐리어 사이에서 상기 반도체 기판을 이송하는제2기판이송용로봇
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 제1로봇은 포켓-엘리베이터 사이, 제2로봇은 엘리베이터-캐리어 사이에서 이송함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 각 로봇의 이송 구간을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
제1기판 이송용 로봇은 상기 포켓과 엘리베이터 사이에서, 제2기판 이송용 로봇은 상기 엘리베이터와 상기 로딩챔버의 상기 캐리어 사이에서 반도체 기판을 이송한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 로딩 챔버의 캐리어와 반응 챔버의 포켓 사이를 엘리베이터를 매개로 하여, 제1 및 제2 기판 이송용 로봇이 단계적으로 기판을 이송하는 반도체 제조장치에 관한 것이다.