문맥 (context)
[청구항 1]
반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템에 있어서
케미컬이 수납되는 저장용기와
상기 저장용기 내부에 불활성 가스를 주입시키기 위한 가스 주입관과
상기 수납용기에 수납되어 있는 케미컬을 공정설비에 공급하기 위한 케미컬이송관과,
상기 가스 주입관과 상기 케미컬 이송관을 연결하는 퍼지관을 포함하여,
케미컬 공급이 장시간 중단된 경우 상기 저장용기로 주입되는 불활성 가스를 퍼지관을 통해 상기 케미컬 이송관으로 주입하여 케미컬 이송관을 퍼지하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 가스 주입관과 상기 퍼지관의 연결부에는 3-웨이퍼밸브설치되는것을특징으로 하는반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 케미컬이송관과 상기 퍼지관의 연결부에는 3-웨이퍼밸브설치되는것을특징으로 하는반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 불활성 가스는헬륨 가스인것을특징으로 하는반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 불활성 가스는질소가스인것을특징으로 하는반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 공정 설비는감광액도포설비인것을특징으로 하는반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체장치 제조용 케미컬 공급 시스템에서 케미컬 공급이 장시간 중단되었을 때, 케미컬 이송관을 퍼지하기 위해 불활성 가스가 이동하는 경로는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation케미컬 공급 중단 시 케미컬 이송관을 퍼지하기 위한 불활성 가스의 이동 경로를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction시스템 구성 요소인 가스 주입관, 케미컬 이송관, 퍼지관의 관계와 가스 주입 목적을 추출한다.
- 상기 가스 주입관과 상기 케미컬 이송관을 연결하는 퍼지관을 포함하여, 케미컬 공급이 장시간 중단된 경우 상기 저장용기로 주입되는 불활성 가스를 퍼지관을 통해 상기 케미컬 이송관으로 주입하여 케미컬 이송관을 퍼지하는 것
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3근거 선택
evidence_selection가스가 이동하는 경로를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 저장용기로 주입되는 불활성 가스를 퍼지관을 통해 상기 케미컬 이송관으로 주입
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4논리 통합
logical_integration가스 주입관을 통해 저장용기로 들어온 불활성 가스가 퍼지관을 거쳐 케미컬 이송관으로 전달되는 흐름을 연결한다.
- 상기 가스 주입관과 상기 케미컬 이송관을 연결하는 퍼지관
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5결론 도출
conclusion_formulation불활성 가스는 저장용기로 주입된 후, 퍼지관을 통해 케미컬 이송관으로 이동하여 퍼지를 수행한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 가스의 이동 경로를 정리하여 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
케미컬 공급이 장시간 중단되었을 때, 불활성 가스는 저장용기로 주입된 후 퍼지관을 통해 케미컬 이송관으로 이동하여 이송관을 퍼지한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 가스 주입관과 케미컬 이송관 사이에 퍼지관을 설치함으로써, 케미컬 공급 중단 시 불활성 가스를 이용해 케미컬 이송관을 효율적으로 퍼지할 수 있는 시스템에 관한 것이다.