문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 로더부는 다수개의 매거진이 탑재된 이송 벨트, 상기 이송 벨트의 양단부에 배치된 풀리, 상기 일측 풀리에 연결되어 동력을 제공하는 구동모터, 상기 메거진을 컨베이어의 작업 영역으로 이송하는 그리퍼, 상기 그리퍼를 x축 방향 및 y축 방향으로 이송하는 x, y 축 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 디스펜싱부는 상기 로더부와 연결된 컨베이어,상기 컨베이어의 선단부에 설치되어 상기 로더부의 매거진으로부터 보트를 인출하여 컨베이어로 옮기는 그리퍼, 상기 컨베이어의 하부에 설치되며 디스펜싱 작업을 수행하도록 보트 위의 패키지를 고정하는 백업 유닛, 상기 백업 유닛에 의해 고정된 패키지 위로 에폭시를 도포하는 디스펜싱 헤드, 상기 디스펜싱 헤드를 이송하는 x, y 로봇, 상기 백업 유닛의 하부에 설치되어 백업 유닛을 구동하는 리니어 모터를 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 컨베이어의 선단부에이온발생기설치된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 5]
제 3 항에 있어서,상기 디스펜싱 헤드는 x,y 로봇에 설치되어 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라, 상기 시시디 카메라의 일측에 설치되며 디스펜싱 작업을 위해 상승된 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브,상기 레이져 프로브의 일측에 설치되며 패키지 위로 유브이 에폭시를 도포하는 헤드 유닛을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 6]
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 글래스 본딩부는 상기 디스펜싱부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 하부에 설치되며 글래스 본딩 작업을 수행하도록 보트 위의 패키지를 고정하는 백업 유닛, 상기 컨베이어의 전방에 설치되어 글래스 트래이를 자동으로 교환해주는 글래스 트래이 로더 및 언로더, 상기 글래스 트래이 로더로부터 공급된 글래스를 픽업하는 픽업 유닛, 상기 픽업 유닛으로부터 이송된 글래스를 정렬하는 센터링 디바이스, 상기 센터링 디바이스를 통해 정렬된 글래스를 픽업하여 패키기 위에 안착시켜 접합하는 본딩 유닛, 상기 픽업 유닛 및 본딩 유닛을 이송시키는 y 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 글래스 트래이 로더 및 언로더는 다수개의 글래스 트래이가 적재된 매거진, 상기 매거진으로부터 글래스 트래이를 인출하여 가이드 레일로 옮기는 그리퍼, 상기 가이드 레일의 하부에 설치되며 글래스 픽업 작업을 수행하도록 글래스 트래이를 고정하는 백업 유닛, 상기 백업 유닛을 x축 방향으로 스텝 이동시키는 x축 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 글래스 본딩부는 상기 글래스가 접합된 패키지의 둘레에 배치되어 글래스를 누른 상태에서 자외선을 조사하는 간이유브이큐어부더포함된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 9]
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유브이 큐어부는 상기 글래스 본딩부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 둘레에 배치된 유브이 큐어 프레임, 상기 유브이 큐어 프레임의 일측에 설치된 자외선 조사부, 상기 컨베이어의 일측 단부에 설치되어 유브이 큐어 프레임 내로 이송된 보트를 정지시키는 스토퍼, 상기 스토퍼의 하부에 설치되어 자외선 조사시간 동안 보트를 컨베이어의 벨트 위로 이동시키는 백업 유닛을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 10]
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,큐어부는 상기 유브이 큐어부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 둘레에 배치된 큐어 오븐, 상기 큐어 오븐의 내부에 설치된 가열부, 상기 큐어 오븐 내부로 이송된 보트를 차례로 수직 배치하는 매거진 업, 다운 로봇, 상기 큐어 오븐의 일측에 형성된 후드 덕트를 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
[청구항 11]
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 언로더부는 상기 핫 큐어부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 상부에 설치되어 보트로부터 글래스 접착이 완료된 패키지를 픽업하여 트래이에 탑재하는 패키지 픽업 유닛, 상기 패키지가 픽업되고 난 빈 보트를 매거진에 적재하는 보트 픽업 유닛, 상기 패키지 픽업 유닛 및 보트 픽업 유닛을 이송시키는 x,y 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 패키지 제조장비의 디스펜싱부 구성 요소 중, 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라와 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브는 각각 어떤 구성품에 설치되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation디스펜싱부의 구성 요소 중 시시디 카메라와 레이져 프로브가 각각 어떤 구성품에 설치되어 있는지 찾아내는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5를 통해 시시디 카메라와 레이져 프로브에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 디스펜싱 헤드는 x,y 로봇에 설치되어 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라, 상기 시시디 카메라의 일측에 설치되며 디스펜싱 작업을 위해 상승된 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브
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3근거 선택
evidence_selection시시디 카메라가 설치된 위치와 레이져 프로브가 설치된 위치를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 디스펜싱 헤드는 x,y 로봇에 설치되어 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라, 상기 시시디 카메라의 일측에 설치되며 디스펜싱 작업을 위해 상승된 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브
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4논리 통합
logical_integration문맥상 시시디 카메라는 디스펜싱 헤드에 설치되어 있으며, 레이져 프로브는 시시디 카메라의 일측에 설치되어 있다.
- 상기 디스펜싱 헤드는 x,y 로봇에 설치되어 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라, 상기 시시디 카메라의 일측에 설치되며 디스펜싱 작업을 위해 상승된 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브
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5결론 도출
conclusion_formulation시시디 카메라는 디스펜싱 헤드에 설치되어 있고, 레이져 프로브는 시시디 카메라의 일측에 설치되어 있다는 결론을 도출한다.
- 상기 디스펜싱 헤드는 x,y 로봇에 설치되어 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라, 상기 시시디 카메라의 일측에 설치되며 디스펜싱 작업을 위해 상승된 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 디스펜싱 헤드는 x,y 로봇에 설치되어 패키지의 위치를 확인하는 시시디 카메라, 상기 시시디 카메라의 일측에 설치되며 디스펜싱 작업을 위해 상승된 패키지의 높이를 체크하는 레이져 프로브
최종 답변 (final_answer)
시시디 카메라는 디스펜싱 헤드에 설치되어 있고, 레이져 프로브는 시시디 카메라의 일측에 설치되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
디스펜싱 헤드에 패키지 위치 확인용 시시디 카메라와 높이 체크용 레이져 프로브를 배치하여 정밀한 디스펜싱 작업을 수행하는 구성에 관한 것이다.