문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 카메라는 반경방향으로 연장되는 흑백 또는 칼라 라인 ccd를 구비한라인카메라인것을특징으로 하는연마 패드의 결함 검출 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 패드 구동장치는 상기 패드의 대체로 중심을 중심축선으로 하여 회전시키는 턴테이블을 구비하며,상기 라인 카메라의 상기 라인 ccd의 길이방향이 상기 패드의 반경방향과 일치하도록배치되는것을특징으로 하는연마 패드의 결함 검출 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 패드의 표면을 향한조명장치더구비하는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 카메라와 패드 사이에 설치되는 조명장치를 더 포함하되, 상기 조명 장치는 상기 패드의 반경방향으로 연장되는 슬롯이 구비된 지지체와, 상기 슬롯의 주위에 상기 슬롯을 따라 연장되며 상기 패드를 향하여 설치된발광장치구비한것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 지지체에는 상기 슬롯의 주위로 반원형의 단면을 갖는 홈이 형성되고, 상기 발광장치는 상기 홈의 표면의 적어도 길이방향 일부분을 덮도록 원호단면을 갖는 길다란 백색광원의 led어레이포함하는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기 지지체에는 상기 슬롯의 주위로 반원형의 단면을 갖는 홈이 형성되고, 상기 발광장치는 상기 홈 표면의 적어도 길이방향 일부분을 따라 슬롯에 인접하여 설치되며 대체로 좁은 폭을 갖는 길다란 led어레이포함하는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 이미지 데이터 처리 유니트는 이미지데이터 획득 장치에서 얻은 어느 하나의 포인트에 대한 이미지데이터로부터 얻은 빛의 정량적인 특성값들 중 하나 또는 둘 이상의 값을 구하고, 상기 획득된 정량적인 특성값 중 어느 하나 또는 둘 이상의 조합으로부터 얻어지는 레벨 값이 패드의 정상 표면으로부터 얻어지는 레벨 값과 사전 설정된 양 이상의 차이가 나타날 때, 그 차이가 나타나는위치를결함인식하는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 이미지데이터 처리 유니트는 패드 상의 어느 하나의 포인트의 데이터를 처리함에 있어서, 상기 포인트의 인접한 위치에 있는 포인트들에 대한 상기 레벨 값의 평균값을 구하고, 상기 하나의 포인트에 대한 레벨 값에서상기평균레벨값빼는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 이미지데이터 처리 유니트에서 상기 평균값을 구하기 위하여 선정되는 인접한 위치에 있는 포인트들은 상기 어느 하나의 포인트(처리 대상이 되는 포인트)로부터 상기 패드가 이송방향을 따라 연장되는선상위치하는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 11]
제8항에 있어서,상기 이미지데이터 처리 유니트에서 처리되는이미지데이터의빛의정량적특성값값인것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 패드 구동장치는 상기 패드의 대체로 중심을 중심축선으로 하여 회전시키는 턴테이블을 구비하며, 상기 턴테이블의 사전 설정된 각도만큼의 회전에 상응하는 펄스 신호와 상기 이미지 데이터 획득장치의 트리거 신호를 동기화한연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 턴테이블은 회전 구동용 스텝모터를 구비하되, 상기 회전에 상응하는 펄스 신호는 상기 스텝모터의 스텝 펄스신호인연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 14]
제12항에 있어서,상기 턴테이블은 로터리엔코더 및 로터리엔코더에 연결된 엔코더디스트리뷰터를 구비하며, 상기 엔코더디스트리뷰터는 상기 이미지 데이터 획득장치와 연결되어상기펄스 신호전달되는것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
[청구항 21]
제1항에 있어서,상기 데이터 처리 유니트는 프로세서와 저장장치를 구비하여 상기 저장장치에는 상기 프로세서를 구동하기 위한프로그램저장된것을특징으로 하는연마패드의 결함 검출 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
연마 패드의 결함 검출 장치에서 이미지 데이터 처리 유니트가 특정 포인트의 결함을 인식하기 위해 수행하는 레벨 값 계산 절차는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation이미지 데이터 처리 유니트가 특정 포인트의 결함을 인식하기 위해 수행하는 레벨 값 계산 절차를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 9항과 10항에서 특정 포인트의 레벨 값을 계산하는 구체적인 방법이 언급되어 있다.
- 상기 포인트의 인접한 위치에 있는 포인트들에 대한 상기 레벨 값의 평균값을 구하고, 상기 하나의 포인트에 대한 레벨 값에서상기평균레벨값빼는것
-
3근거 선택
evidence_selection인접한 포인트들의 평균 레벨 값을 구한 뒤, 대상 포인트의 레벨 값에서 그 평균값을 빼는 절차를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 포인트의 인접한 위치에 있는 포인트들에 대한 상기 레벨 값의 평균값을 구하고, 상기 하나의 포인트에 대한 레벨 값에서상기평균레벨값빼는것
-
4논리 통합
logical_integration대상 포인트로부터 패드의 이송 방향을 따라 선상에 위치하는 인접 포인트들의 평균값을 산출하고, 이를 대상 포인트의 값에서 차감하는 과정으로 통합한다.
- 상기 어느 하나의 포인트(처리 대상이 되는 포인트)로부터 상기 패드가 이송방향을 따라 연장되는선상위치하는것
-
5결론 도출
conclusion_formulation레벨 값 계산 절차는 인접 포인트들의 평균 레벨 값을 구한 후, 대상 포인트의 레벨 값에서 해당 평균값을 빼는 방식이다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 절차를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
이미지 데이터 처리 유니트는 처리 대상이 되는 특정 포인트로부터 패드의 이송 방향을 따라 연장되는 선상에 위치하는 인접한 포인트들에 대하여 레벨 값의 평균값을 구한 후, 해당 특정 포인트의 레벨 값에서 그 평균레벨값을 빼는 절차를 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
연마 패드의 결함 검출을 위해 특정 포인트의 레벨 값과 이송 방향 선상의 인접 포인트들의 평균 레벨 값 간의 차이를 계산하여 결함을 판별하는 기술이다.