문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,대칭축을 가로지르는 교정 자기장의 성분은, 대칭축을 따라 상기 초점렌즈 장치에 의해 제공된 자기장의 대칭축에 평행한 성분의 1차 도함수에 비례하는 장 세기 분포를 대칭축을 따라갖는것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 초점렌즈 장치(15, 17)는 대칭축(35)을 향하는 2개의 축방향으로 이격된 자극 단부(35)를 구비하고, 축편이장치(25)는 각각의 상기 자극 단부(35)에 결합되며 상기 자극 단부와 상기 대칭축 사이에 배치되는 축편이코일구비하는것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,적어도 하나의 축편이코일(31, 33) 각각이각각의상기자극 단부결합된것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 5]
제 3 항에 있어서,상기 축편이코일(31, 33)이 상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 1 세트(53)중하나이상의링주위에감기는것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,대칭축에 대해 동심을 이루어 배치되고, 실질적으로 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성된 제 2 세트(49)가 상기 축편이코일(31, 33)이 주위에 감긴 상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 1 세트(53)의 링들(55)의반경반향의바깥쪽설치된것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 1 세트의 복수의 링(55, 51) 중 적어도 하나의 링 주위에 감긴 복수의 도전체 권선을 갖는적어도하나의무비점수차코일더구비하는것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 무비점수차 코일(37)과 상기 대칭축 사이에동적집속코일제공된것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 1 세트(53)의 복수의 링(55)의 반경방향의 안쪽에 배치되는동적집속코일설치된것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 빔편이장치(25)는, 대칭면에 대해 대칭으로 놓이고 그 각각이 자기 편향장을 제공하는 2개의 편향부구비하는편향장치.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,복수의 도전체 권선을 구비하고, 상기 대칭축(19)에 대해 동심을 이루어 배치되며 도전성을 갖지 않고 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 적어도 하나의 링(61) 주위에 감긴 편향코일(41)에 의해 상기 자기 편향장이발생되는편향장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 대칭축(19)에 대해 동심을 이루어 배치된 축방향으로 이격된 복수의 링(61)으로 구성된 제 3 세트(59)가 설치되고, 상기 링들은 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조되고, 상기 편향코일(41)의 도전성 권선은 상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 3 세트(59)의 복수의 링(61) 중 적어도 하나의 링주위에 감기는편향장치.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,자기장 차폐부가 상기 편향코일(41)이 그 주위에 감기는 상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 3 세트(59)의 링들(61)의 반경방향의 바깥쪽에 설치되고, 상기 자기장 차폐부는 도전성을 갖지 않고 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료포함하는편향장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 자기장 차폐부는, 상기 대칭축(19)에 대해 동심을 이루어 배치되고 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 제 4 링 세트(65)의 축방향으로 연속적인 원통체 또는 복수의 축방향으로 이격된 링구비하는편향장치.
[청구항 16]
제 10 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,상기제 1 또는 제 2 초점렌즈(5, 7)는 청구항 1 내지 7 중 어느 한 항에 따른 자기렌즈 장치구비한편향장치.
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,상기 빔정형개구는 상기 자기렌즈쌍의 제 1 평면에 놓이고, 상기 마스크는 상기 자기렌즈쌍의제 2 평면에 놓이는투사 시스템.
[청구항 20]
제 18 항에 있어서,상기 마스크는 상기 자기렌즈쌍의 제 1 평면에 놓이고, 상기 기판은 상기 자기렌즈쌍의제 2 평면에 놓인투사 시스템.
[청구항 25]
제 6 항에 있어서,상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 2 세트의 복수의 링(55, 51) 중 적어도 하나의 링 주위에 감긴 복수의 도전체 권선을 갖는적어도하나의무비점수차코일더구비하는것을특징으로 하는자기렌즈 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
자기렌즈 장치에서 축편이코일(31, 33)이 감겨 있는 제 1 세트(53)의 링들(55)의 반경 방향 바깥쪽에는 어떠한 구성이 설치되며, 해당 구성의 재료적 특성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation자기렌즈 장치에서 축편이코일(31, 33)이 감긴 제 1 세트(53)의 링들(55)의 반경 방향 바깥쪽에 설치된 구성과 그 재료적 특성을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 제 1 세트(53)의 링들(55)의 반경 방향 바깥쪽에 설치된 구성인 '제 2 세트(49)'를 확인하고, 그 재료적 특성을 추출한다.
- 제 2 세트(49)가 상기 축편이코일(31, 33)이 주위에 감긴 상기 축방향으로 이격된 복수의 링으로 구성된 제 1 세트(53)의 링들(55)의반경반향의바깥쪽설치된것을특징으로 하는자기렌즈 장치
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3근거 선택
evidence_selection제 2 세트(49)의 구성과 재료적 특성을 명시한 구절을 선택한다.
- 실질적으로 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성된 제 2 세트(49)
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4논리 통합
logical_integration제 2 세트(49)는 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성되며, 재료적 특성은 실질적으로 도전성을 갖지 않고 10보다 큰 자기 투자율을 갖는다는 점을 결합한다.
- 실질적으로 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성된 제 2 세트(49)
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 제 2 세트(49)가 설치되며, 이는 실질적으로 도전성을 갖지 않고 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성됨을 도출한다.
- 실질적으로 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성된 제 2 세트(49)
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 실질적으로 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성된 제 2 세트(49)
최종 답변 (final_answer)
제 2 세트(49)가 설치되며, 해당 구성은 실질적으로 도전성을 갖지 않으며 10보다 큰 자기 투자율을 갖는 재료로 제조된 축방향으로 이격된 복수의 링(51)으로 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
자기렌즈 장치에서 축편이코일 외부의 제 2 세트(49)는 비도전성 및 고자기 투자율 재료를 사용하여 자기장의 특성을 제어하는 역할을 한다.