양면 동시 세정이 가능한 매엽식 웨이퍼 세정장치 document_id 1020010064318

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 세척챔버(17)는 웨이퍼(10)를 지지하기 위한 그립퍼(33)의 하부에 웨이퍼지지대(37)가 형성되면서 척구동모터(21)의 회전력을 웨이퍼(10)에 전달시키는 상,하부 웨이퍼척(23)(24)이 형성되고, 세정용 약액 및 순수를 분사시키기 위한 상,하부 분사노즐(38)(48)이 웨이퍼(10)의 상하부에 형성되며, 사용된 약액이 배액 및 배기될 수 있도록 상기 상,하부 웨이퍼척(23)(24)의 주변에 약액배액컵(27)이 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 상,하부 웨이퍼척(23)(24)은 상하부로 분리되고 분리된 상기 상,하부 웨이퍼척(23)(24)의 단부에 서로 대응되는 영구자석(25)이 부착되며, 분리된 상기 상,하부 웨이퍼척(23)(24) 사이의 공간에 하부노즐플레이트(51)가 형성되고, 하부 웨이퍼척(24)은 척구동모터(21)와 연결된 회전축(22)에 연결되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 하부노즐플레이트(51)는 상,하부 웨이퍼척(23)(24)을 이격시키면서 세정작업에 사용된 약액이 하부 웨이퍼척(24)과 회전축(22) 및 척구동모터(21)에 침투되지 않도록 하는 모터부씰링(52)과 연결형성되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 5] 제 2항에 있어서,상기 그립퍼(33)는 웨이퍼(10)와의 접촉면에서 세정작업시 약액이 흘러내릴 수 있도록 그립퍼홈(63)이 형성되고, 그립퍼(33)의 단부에는 그립퍼추(35)가 달린 그립퍼핀(34)이 형성되어 외부의 구동없이 상,하부 웨이퍼척(23)(24)의 회전력에 따른 원심력에 의해 웨이퍼(10)를 고정시키는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 6] 제 2항에 있어서,상기 하부 분사노즐(48)은 상,하부 웨이퍼척(23)(24) 사이의 공간 및 상부 웨이퍼척(23)의 중심부에 형성된 상부척통공(26)을 통해 하부노즐약액공급관(49)으로부터 웨이퍼(10)의 하부까지 연결되며, 상,하부 웨이퍼척(23)(24)과 분리되어 상기 상,하부 웨이퍼척(23) (24)의 회전운동시 하부 분사노즐(48)이 고정된 위치에서 약액이 분사되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 7] 제 2항에 있어서,상기 하부 분사노즐(48)은 웨이퍼(10)의 하부에서 중심부로 분사되는 내하부 약액분사구(50a)와, 웨이퍼(10)의 중심부와 외부의 사이에 분사되는 외하부 약액분사구(50b)가 형성되며, 필요시 내하부 약액분사구(50a)와 외하부 약액분사구(50b) 사이에 또 하나의 중하부 약액분사구(50c)를 형성하는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 8] 제 2항에 있어서,상기 상부 분사노즐(38)은 수평이동할 수 있도록 상부노즐모터가이드(40)에 연결된 상부노즐암(39)에 연결되어 구동력이 전달된 상기 상부노즐모터가이드(40)를 따라 웨이퍼(10)의 중심부와 웨이퍼(10) 외부의 디스펜스컵(41) 사이를 수평이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 9] 제 2항에 있어서,상기 상부 분사노즐(38)은 상부노즐약액관(43)과 질소가스관(46)이 상기 상부 분사노즐(38)의 내부로 연결되고, 상기 상부 분사노즐(38)의 내부에는 상부노즐약액관(43)과 상부노즐약액분사구(44) 사이에 상부노즐트랩(61)이 형성되며, 상기 상부노즐약액분사구(44)의 단부가 띠형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 10] 제 2항에 있어서,상기 상부 분사노즐(38)은 상부노즐건조가스관(45)이 상기 상부 분사노즐(38)의 외부 중심선을 따라 위치고정되고 상부노즐순수관(47)이 상부노즐약액분사구(44)의 길이방향을 따라 순수관가이드(42)에 의해 수평이동하는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 11] 제 2항에 있어서,상기 약액배액컵(27)은 약액이 배액되도록 경사진 복수의 약액배액구(29)와 상기 약액배액컵(27) 내부에 유입된 약액이 배액되는 별도의 약액배액관(30) 및 기화된 약액이 배출되는 약액배기관(31)이 구성되어 둘 이상 다단 적재형태의 일체구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 12] 제 2항에 있어서,상기 약액배액컵(27)은 수직이동할 수 있도록 컵모터가이드(28)에 연결되어 구동력이 전달된 컵모터가이드(28)를 따라 상기 약액배액컵(27)이 수직이동함으로서 약액의 종류에 따라 해당 약액배액컵(27)의 위치가 제어되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 13] 제 11항에 있어서,상기 약액배액구(29)는 약액이 재생 및 재사용되도록 배출경로가 형성되는 약액배액구(29a)(29b)(29c)와 폐기용 약액의 배출경로가 형성되는 약액배액구(29d)(29e)로 구분되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 14] 제 1항에 있어서,상기 베이크스테이지(18)는 웨이퍼입출부(15)의 상하부에 다수 형성되고, 로딩된 웨이퍼(10)가 플레이트서포터(57) 내측에 장착된 베이크플레이트(53) 위에 정확히 안착되도록 웨이퍼가이드(55)가 경사지게 형성되며, 상기 베이크플레이트(53) 상부중앙에 플레이트배기관(58)이 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 베이크스테이지(18)는 플레이트서포터(57)가 아래로 내려가면 베이크플레이트(53)와 플레이트배기관(58) 사이에 공간을 만들어 웨이퍼(10)가 공작부로봇(16)에 의해 반송되고, 플레이트서포터(57)가 위로 올라가면 플레이트서포터(57)와 플레이트배기관(58)이 맞닿아 베이크스테이지(18) 내부가 밀폐되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 세정가능한매엽식 웨이퍼 세정장치.