이온주입장치의 정전척 document_id 1020010077810

[청구항 1] 공정이 이루어지는 동안 웨이퍼를 고정하기 위한 이온 주입 장치의 정전척에 있어서 베이스(base); 상기 베이스 상에 설치되는 그리고 공정을 위한 웨이퍼가 파지되는 플래튼(platen); 및 상기 플래튼을 상기 베이스에 기계적으로 고정하기 위한 체결 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 정전척 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 체결 수단은 상기 플래튼의 가장자리부에 걸쳐지는 부분을 갖는 고정 부재와, 상기 고정 부재와 상기 베이스를 고정하는체결용볼트로이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 플래튼은복수개조합으로이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 고정 부재가 걸쳐지는 상기 플래튼의 상기 가장자리부는 계단식으로 이루어진걸림턱갖는것을특징으로 하는정전척. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 플래튼은 복수 개의 조합으로 이루어지고,상기 체결 수단의 상기 고정 부재는 상기 복수 개의 플래튼들 전체의 상기 걸림턱들에 일괄적으로 걸쳐질 수 있도록링형상으로이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 6] 제 4항에 있어서,상기 플래튼은 복수 개의 조합으로 이루어지고,상기 체결 수단은 상기 복수 개의 플래튼들 각각에적어도하나설치되어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 플래튼은 복수 개의 조합으로 이루어지고,상기 체결 수단은 상기 플래튼들의 가장자리부 전체에 걸쳐지는 링 형상의 제 1고정 부재와, 상기 플래튼들 사이사이에 위치하는 그리고 상기 플래튼들 각각의 측부에 걸쳐지는 제 2고정 부재 및 상기 제 1고정 부재와 상기 제 2고정 부재를 상기 베이스와 고정하기 위한 복수 개의 체결용 볼트들로 이루어지되,상기 제 1고정 부재와 상기 제 2고정 부재는일체형성되어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 플래튼들 각각의 가장자리부와 양 측부들은 상기 제 1고정 부재와 상기 제 2고정 부재가 걸쳐지는 계단식으로 이루어진걸림턱가지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 플래튼은세라믹 절연층;상기 세라믹 절연층 상에 위치하는 전극; 및상기 전극 상에 형성되는세라믹유전층이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 10] 제 1항에 있어서,상기 플래튼과 접하는 상기 베이스와 상기 고정 부재의 면들에절연층더포함하는것을특징으로 하는정전척. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 절연층은 수지 재질로코팅처리되어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 12] 제 1항에 있어서,상기 베이스와 상기 고정 부재는알루미늄으로이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 13] 제 1항에 있어서,상기 플래튼이 상기 베이스 상의 정확한 위치에 놓일 수 있도록 하는정렬수단더포함하는것을특징으로 하는정전척. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 플래튼은 복수 개의 조합으로 이루어지고,상기 정렬 수단은 상기 플래튼들 각각에 대한 정렬이 이루어질 수 있도록복수개로이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 15] 제 13항에 있어서,상기 정렬 수단은 상기 베이스에 형성되는 적어도 하나의 키(key)들; 및상기 플래튼에 형성되는 그리고 상기 키가 끼워지는키홈이루어지는것을특징으로 하는정전척. [청구항 16] 제 13항에 있어서,상기 정렬 수단은 상기 플래튼에 형성되는 적어도 하나의 키(key)들; 및상기 베이스에 형성되는 그리고 상기 키가 끼워지는키홈이루어지는것을특징으로 하는정전척.