마란고니 효과를 증대시키기 위한 건조 장비 및 건조 방법 document_id 1020010078159

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 복수개의 배기구들은 실질적으로 서로 마주보도록 배치된 적어도 한쌍의배기구들포함하는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 액체 유동 시스템은 상기 기체 분배기와 함께 액체의 유동 및 배출을 제어하여 마란고니건조원리달성하는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 액체 유동 시스템은 상기 액체 저장조 내의 액체의 수위 및 배출을 조절하는 액체 수위 제어기를 포함하되, 상기 액체 수위 제어기는 상기 액체를 상기 액체 저장조로부터 지속적으로 배출시키거나 상기 액체를 상기 액체 저장조 내로 지속적으로 공급하는수단갖는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 액체를 지속적으로 배출시키는 상기 수단은 상기 액체 저장조의 배출구와 접속된 유연성 배관을 포함하되, 상기 액체 저장조 내의 액체의 수위는 상기 유연성배관의일부분조절되는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 액체 유동 시스템은 상기 액체 저장조 내부로 액체를 유입시킴과 아울러 상기 액체의 유동을 완충시키는액체유동완충기포함하는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 액체 유동 완충기는 상기 액체 저장조의 상부에 배치되되, 상기 액체 유동 완충기는 상기 액체 유동 완충기의 위로 부터 상기 액체를 공급받는 형태 및 크기를 갖고 상기 액체 유동 완충기의 하부에 설치된 슬릿을 통하여상기액체배출시키는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,상기 액체 유동 완충기는 상기 액체 저장조의 상부에 배치되되, 상기 액체 유동 완충기는 상기 액체 유동 완충기의 위로 부터 상기 액체를 공급받는 형태 및 크기를 가질뿐만 아니라 상기 액체를 일시적으로 보유하고상기액체를상기액체유동완충기의상부배출시키는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 9] 제 6 항에 있어서,상기 챔버는 상기 액체 저장조로부터 넘쳐흐르는 액체가 저장되는 외부 액조를 포함하되, 상기 액체 저장조는 상기 액체 저장조의 바닥에 액체를 유입시키는개구부갖는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 기체 분배기는 내부 배관 및 동축 외부 배관을 포함하되, 상기 내부 배관은 개방된 일 단, 밀폐된 타 단, 및 길이 방향의 축을 따라 균일하게 이격되도록 정렬되어 상기 개방된 일 단을 통하여 유입된 기체를 상기 외부 배관으로 통과시키는 복수개의 홀들을 가지며, 상기 외부 배관은 제1 및 제2 세트의 홀들을 갖되, 상기 제1 및 제2 세트의 홀들은 각각 제1 길이 방향의 축 및 제2 길이 방향의 축을 따라 정렬되어 상기 내부 배관으로부터 통과된기체배출시키는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기제1 및 제2 길이방향의 축들은 상기 내부 배관의 중심을 지나는수직축서로대칭인것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 기체 분배기 하부에 배치된 가이드를 더 포함하되, 상기 가이드는 상기 챔버의 폭보다 작은 폭을 갖고, 상기 가이드 및 상기 챔버의 측벽들 사이의 채널을 통하여 상기 기체 분배기로부터 배출된기체통과시키는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 가이드는 하부면을 포함하되, 상기 기체 분배기를 가로지르는 방향과 평행한 방향으로 절단된 상기 가이드의 단면도로부터 보여질 때 상기 하부면의 중심부는 상기 하부면의 가장자리보다 낮은 것특징으로 하는건조 장비. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 가이드의 하부면은 두개의 경사진 면들을 갖되, 상기 두개의 경사진 면들은 상기 가이드의 하부면의중심점서로만나는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 가이드의 하부면은 두개의 경사진 면들 및 상기 두개의 경사진 면들 사이에 위치하는 평평한 바닥을 포함하되, 상기 두개의 경사진 면들은 각각 상기 평평한 바닥의 양가장자리들만나는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 가이드의 하부면은 둥근 형태를 갖되, 그 중심부가 그 가장자리보다 낮은 것특징으로 하는건조 장비. [청구항 17] 제 1 항에 있어서,상기 기체 분배기에 공급되는 기체를 발생시키는 기체 생성기를 더 포함하되, 상기 기체 생성기는 팽창 탱크 및 상기 팽창 탱크 내에 설치된다공성필터갖는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,상기 기체 분배기에 공급되는 기체를 발생시키는 기체 생성기를 더 포함하되, 상기 기체 생성기는 운송가스 배관 및 상기 운송가스 배관의 배출구에 접속된 노즐을 갖고 상기 노즐은 전체에 걸쳐서 일정한직경갖는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 19] 제 1 항에 있어서,상기 챔버는 상기 액체 저장조의 상부에 설치되는 뚜껑, 및 상기 뚜껑 및 상기 액체 저장조를 연결시키는후드포함하는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 후드는 적어도 15㎝의높이갖는것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 21] 제 1 항에 있어서,상기 액체 저장조 내에 상기 기판을 지지하는 복수개의 바(bar)들을 더 포함하되, 상기 복수개의 바들은 상기 액체 저장조 내의 기판 및 상기 복수개의 바들을 선택적으로 들어올리거나 낮추는제어기접속된것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 22] 제 1 항에 있어서,상기 액체는 탈이온수 또는 전해수(electrolysis-ionized water)이고, 상기 기체는 에틸글리콜(ethylglycol), 일 프로파놀(1-propanol), 이 프로파놀(2-propanol), 테트라 하이드로 퓨레인(tetrahydrofurane), 사 하이드록시 사 메틸 이 펜타몬(4-hydroxy-4-methyl-2-pentamone), 일 부타놀(1-butanol), 이 부타놀(2-butanol), 메타놀(methanol), 에타놀(ethanol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 아세톤(acetone), n-프로필 알코올(n-propyl alcohol)또는다이메틸에테르인것을특징으로 하는건조 장비. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,상기 가이드의 하부면은 두개의 경사진 면들을 갖되, 상기 두개의 경사진 면들은 상기 가이드의 하부면의중심점서로만나는것을특징으로 하는건조 장비.