가공 특허 1020017002381

출원번호: 1020017002381
분류: 전기(H섹션)

문맥 (context)

[청구항 1] ic표본에 전기적 테스트 신호를 적용하는 프로브 스테이션 시스템에 있어서 상기 시스템은 표본에 전도성 터미널을 노출하는 표본의 표면 관찰용으로 스캐닝 전자 현미경을 위치설정하는 플래폼 수단과 스캐닝 전자 현미경에 대하여 표본을 지지하는 스테이지 수단과 스캐닝 전자 현미경으로부터 표본의 화상 식별 전도로 표시를 포착하는 이미징 수단(imaging means)과 표본의 표면에 위치가능한 전기적 테스트 신호 전송을 위해 화상을 포착하는 상기 수단으로 복수 프로브를 원격 제어하는 프로브 제어수단과 표본을 수용하는 내부 엔클로저를 가진 챔버에서 진공을 발생하는 진공 챔버수단; 및 챔버에 피드스루(feedthrough)를 경유하여 복수 프로브를 원격 제어하는 수단으로 화상을 포착하는 수단으로부터 전기적 신호를 커플 접속하는 피드스루 수단을 포함하며 상기 이미징 수단은 스캐닝 전자 현미경으로 관찰되는 표본의 표면의 전도성 통로 표시로부터 전도성 터미널을 식별하는데 포착 화상을 사용하는 표본에 터미널에 전기적 테스트 신호를 적용하는 복수 프로브를 원격 제어하는 프로브 제어수단과 통신하는 것을 특징으로 하는 시스템 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 스테이지 수단은 이미징 수단으로 뷰 작업을 용이하게 하는 복수 프로브의 상승 및 하강 동작을 허용하는 플래튼과 관련하여커플접속되는것을특징으로 하는시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 화상 포착용 이미징 수단nan은제1컴퓨터포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,제2컴퓨터를 포함하며, 복수 프로브를 원격제어하는 프로브 제어수단은 제2컴퓨터에 의해 원격 제어되는동력식조작기포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 5] 제3항에 있어서,복수 프로브를 원격 제어하는 프로브 제어수단은 제1컴퓨터에 의해 원격 제어되는동력식조작기포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 표본은 ic웨이퍼구비하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 7] ic표본에서 전기적 테스트 신호를 포착하는 프로브 스테이션 시스템에 있어서 상기 시스템은 표본에 전도성 터미널을 노출하는 표본의 표면 관찰용으로 배치된 스캐닝 전자 현미경과 스캐닝 전자 현미경에 대하여 표본을 지지하는 캐리어와 스캐닝 전자 현미경으로부터 표본의 표면의 화상 식별 전도로 표시(image identifying conductive path indicia)를 포착하는 컴퓨터와 상기 컴퓨터에 의해 원격 제어되는 동력식 조작기와 동력식 조작기로 표본의 표면에 위치가능한 전기적 테스트 신호를 전송하는 복수 프로브와 스캐닝 전자 현미경, 캐리어, 동력식 조작기 및 진공에서 상기 표본을 분석하는 복수 프로브를 수용하는 내부 엔클로저를 가진 진공 챔버; 및 복수 프로브와 동력식 조작기에 컴퓨터로부터 전기적 신호를 커플 접속하는 상기 진공실에 피드스루를 포함하며 상기 컴퓨터는 스캐닝 전자 현미경으로 관찰되는 표본의 표면의 전도로 표시로부터 전도성 터미널을 식별하도록 상기 컴퓨터로 포착되는 화상을 사용하는 표본에 터미널을 경유하여 전기적 테스트 신호를 적용 수용하기 위해 복수 프로브를 위치설정하기 위해 동력식 조작기와 통신하는 것을 특징으로 하는 시스템 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 캐리어는 웨이퍼 표본을 지지하는 차폐된 ic처크포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 캐리어는서멀처크포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 컴퓨터는 pc(personal computer)를포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 11] 제7항에 있어서,캐리어에 커플 접속되는 동력식 플래폼을 포함하며, 플래폼은 디바이스와 프로브 뷰 작업(viewing)을 위해캐리어의변환식팁과틸트이동제공하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 12] 제7항에 있어서,상기 컴퓨터는 스캐닝 전자 현미경과 상관된화상프로세서포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 13] 제7항에 있어서,상기 컴퓨터는 일반적인목적인것을특징으로 하는시스템. [청구항 14] 제7항에 있어서,상기 복수 프로브를 원격 제어하는 수단은 상기 pc에의해 원격 제어되는동력식조작기포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 복수 프로브를 원격 제어하는 수단은복합성동력식조작기포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 16] 제7항에 있어서,상기 복수 프로브는 표본에 전기적 테스트 신호를 적용하는고정 위치프로브카드포함하는것을특징으로 하는시스템.

지시문 (instruction)

본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.

질문 (question)

프로브 스테이션 시스템에서 이미징 수단이 포착한 화상을 활용하여 전도성 터미널을 식별한 후, 이를 통해 수행되는 프로브 제어수단의 역할은 무엇인가?

추론 과정 (compact_reasoning)

1과제 해석task_interpretation

이미징 수단이 포착한 화상을 통해 전도성 터미널을 식별한 후, 프로브 제어수단이 수행하는 구체적인 역할을 파악해야 한다.
2정보 추출information_extraction

청구항 1에서 이미징 수단은 전도성 터미널을 식별하는 데 화상을 사용하며, 프로브 제어수단은 복수 프로브를 원격 제어한다고 명시되어 있다.
- 이미징 수단은 스캐닝 전자 현미경으로 관찰되는 표본의 표면의 전도성 통로 표시로부터 전도성 터미널을 식별하는데 포착 화상을 사용하는 표본에 터미널에 전기적 테스트 신호를 적용하는 복수 프로브를 원격 제어하는 프로브 제어수단과 통신하는 것을 특징으로 하는 시스템
- 상기 컴퓨터는 스캐닝 전자 현미경으로 관찰되는 표본의 표면의 전도로 표시로부터 전도성 터미널을 식별하도록 상기 컴퓨터로 포착되는 화상을 사용하는 표본에 터미널을 경유하여 전기적 테스트 신호를 적용 수용하기 위해 복수 프로브를 위치설정하기 위해 동력식 조작기와 통신하는 것을 특징으로 하는 시스템
3근거 선택evidence_selection

청구항 7에서 프로브 제어수단(컴퓨터 및 동력식 조작기)의 역할을 더 구체적으로 설명하는 구절을 선택한다.
- 상기 컴퓨터는 스캐닝 전자 현미경으로 관찰되는 표본의 표면의 전도로 표시로부터 전도성 터미널을 식별하도록 상기 컴퓨터로 포착되는 화상을 사용하는 표본에 터미널을 경유하여 전기적 테스트 신호를 적용 수용하기 위해 복수 프로브를 위치설정하기 위해 동력식 조작기와 통신하는 것을 특징으로 하는 시스템
4논리 통합logical_integration

이미징 수단이 터미널을 식별하면, 프로브 제어수단은 해당 터미널을 통해 전기적 테스트 신호를 적용할 수 있도록 복수 프로브를 적절한 위치로 설정(positioning)하는 역할을 수행한다.
- 터미널을 경유하여 전기적 테스트 신호를 적용 수용하기 위해 복수 프로브를 위치설정하기 위해
5결론 도출conclusion_formulation

프로브 제어수단의 역할은 식별된 전도성 터미널에 전기적 테스트 신호를 적용할 수 있도록 복수 프로브를 위치시키는 것이다.
6답변 생성answer_generation

질문에 대해 프로브 제어수단이 수행하는 역할을 요약하여 답변을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)

이미징 수단이 식별한 전도성 터미널을 통해 전기적 테스트 신호를 적용할 수 있도록, 복수 프로브를 해당 터미널의 위치로 설정(positioning)하는 역할을 수행한다.

핵심 해석 (core_interpretation)

본 발명은 이미징 수단으로 식별된 표본의 전도성 터미널 위치 정보를 바탕으로, 프로브 제어수단이 복수 프로브를 정밀하게 위치시켜 전기적 테스트 신호를 정확히 적용할 수 있게 하는 시스템에 관한 것이다.