실란계 나노 다공성 실리카 박막 및 그 제조방법 document_id 1020017002582

[청구항 2] 제1항에 있어서,기능성 전구체는 모노-, 디-, 및 트리-기능성 알콕시실란, 모노-, 디- 및 트리-기능성할로실란및이들의결합선택됨을특징으로 하는유전체 피막 [청구항 3] 제1항에 있어서,기능성 전구체는 식 an-sihm(식1)을 갖는 알콕시 실란이며, 상기 각 a는 독립적으로 알콕시(o-r)이며, r-은 알킬 및 아릴로 구성되는 그룹에서 독립적으로 선택된 유기분획이며, n은 1~3의 상수이며, m은 1~3의 상수이며, m과 n 의 합특징으로 하는유전체 피막 [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 테트라 기능성 전구체는 식 a4-si(식2)를 갖는 알콕시 실란이며, 여기서 a는 독립적으로 알콕시(o-r)이며, r은 알킬과 아릴분획으로 구성되는 그룹에서 독립적으로 선택되는 유기 분획특징으로 하는유전체 피막 [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 반응 혼합물은 나아가 물 및 유기 용제를 포함하여구성됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 테트라 기능성 전구체는 테트라메톡시실란, 테트라에톡시실란, 테트라 아세톡시실란, 테트라클로로실란 및 이들의 결합으로 구성되는그룹선택됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 7] 제1항에 있어서,기능성 전구체는 메톡시실란, 에톡시 실란, 디메톡시실란, 디에톡시실란, 트리메톡시실란, 트리에톡시실란, 디클로로 실란, 트리클로로실란 및 이들의 결합으로 구성되는그룹선택됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 테트라 기능성 전구체는 수소 실세스퀴옥산화합물교체됨을특징으로 하는유전체피막. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 반응은 약 0~120℃온도수행됨을특징으로 하는유전체 피막 [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 반응 혼합물을 냉각시키는 단계 및 상기 반응 혼합물을 알콜로서 희석화 시키는 단계를 포함함으로써 상기 나노공극성 피막전구체의 회수를 용이하게 하는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막 [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 피막을 상기 피막에 소수성을 부여하는데 효과적인 표면 개질제로 처리하는 단계를 포함하여제조됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 표면 개질제는 케톤 용제를 포함하는 용액내에서 적용되는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 표면 개질제용액은 메틸트리아세톡시실란, 3-펜타논 및 그 결합물로 구성되는 그룹에서 선택된 성분을 포함하는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 형성된 나노공극성 유전체 피막을 실리콘계 중합체 전구체로 이루어진 최소하나의 부가적인 층으로 코팅하는 단계를 추가로 포함하는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 실리콘계 중합체 전구체는 산소플라스마 저항성 실록산, 저유기함량실록산 및 고유기함량 실록산으로 구성되는 그룹에서 선택되는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막 [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 형성된 나노공극성 유전체피막을 실리콘계 중합체 전구체를 포함하는 최소하나의 부가적인 층으로 코팅시키는 부가단계를 포함하는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 회수된 나노공극성 피막 전구체는 스핀침착, 딥(dip)-코팅, 스프레이 침착 및 이들의 결합으로 구성되는 그룹에서 선택된 방법으로 기판상에 퇴적(침착)되는방법제조됨을특징으로 하는유전체피막. [청구항 18] 제1항에 있어서,잔류 반응물이나 용제를 제거하기 위하여 상기 코팅된 기판을 가열하는 단계를 포함하는방법제조됨을특징으로 하는유전체 피막. [청구항 21] 제20항에 있어서,기능성 전구체는 모노-, 디- 및 트리-기능성 알콕시실란, 모노-, 디-, 및 트리-기능성 할로실란과 그 결합으로 구성되는그룹선택됨을특징으로 하는방법 [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 피막은 fourier 변환 적외선 분광기로 측정시 2150cm-1 에서 si-h 결합흡수특징으로 하는유전체 피막.