문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 압전 센서는 다수의 압전 센서이며, 상기 신호 측정 회로는 상기 압전 센서를 거쳐서 연결된 하나 이상의 피크 검출기 회로와 상기 피크 검출기 회로에 연결된 비교기 회로포함하는장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 장치는 또한 상기 반도체 척으로 상기 반도체 웨이퍼의 척킹의 강도를 검출하기 위한 것이며, 상기 신호 측정 회로는 상기 전기의 량을 검출하고 상기 전기가 미리 결정된 량과 적어도 동일하면, 상기 신호 측정 회로는 상기 반도체 척으로 상기 반도체 웨이퍼의 척킹의 강도를 표시하는 신호제공하는장치.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,상기 압전 센서는 하나 이상의 압전 센서를 포함하며, 상기 신호 측정 회로는 하나 이상의 피크 검출기 회로와 비교기 회로를 포함하며, 상기 피크 검출기 회로는 상기 압전 센서와 상기 비교기 회로에 연결되며, 상기 피크 검출기 회로는 상기 전기를 수용하기 위한 것이며, 상기 전기가 적어도 미리결정된 량과 같으면 상기 피크 검출기 회로는 상기 비교기 회로로 보내는 신호를 생성하고 상기 비교기 회로는 상기 반도체 척으로 상기 반도체 웨이퍼의 척킹의 강도를 표시하는 신호생성하는장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 장치는 상기 반도체 웨이퍼가 상기 지지면상에 중심맞추어져 있는 가를 검출하기 위한 것이며, 상기 지지면은 외원주부를 포함하며, 상기 압전 센서는 상기 외원주부 둘레에 동일한 거리로 위치설정된 다수의 압전 센서를 포함하며, 상기 신호 측정 회로는 상기 압전 센서 모두가 전기를 생성하고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있는 것을 표시한 제 1신호를 생성하며, 상기 압전 요소 모두가 전혀 전기를 생성하지 않고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있지 않는 것을 표시한 제 2신호생성하는장치.
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 신호 측정 회로는 상기 압전 센서와 동일한 수의 다수의 피크 검출기 회로와 상기 피크 검출기 회로에 연결된 비교기 회로를 포함하며, 상기 피크 검출기 회로 각각은 상기 압전센서중하나통해서연결되어 있는장치.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 장치는 또한 상기 반도체 척으로 상기 반도체 웨이퍼의 척킹의 강도를 검출하기 위한 것이며, 상기 신호 측정 회로 각각은 상기 다수의 피크 검출기 회로에 의해서 수신된 전기가 미리결정한 량과 적어도 동일하면, 상기 신호 측정 회로에 신호를 제공하기 위한 것이며, 상기 비교기 회로는 상기 척으로 상기 반도체 웨이퍼의 척킹 강도를 표시하는 신호제공하는장치.
[청구항 8]
제 2항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼 척의 상기 지지면에는 상기 지지면으로부터 외향으로 연장하는 다수의 패드를 포함하는 웨이퍼 지지마스크가 제공되며, 상기 하나 이상의 압전 센서는 하나 이상의 상기 패드교체하는장치.
[청구항 9]
제 5항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼 척의 상기 지지면에는 상기 지지면으로부터 외향으로 연장하는 다수의 패드를 포함하는 웨이퍼 지지마스크가 제공되며, 상기 패드중 미리결정된 것들은 상기 지지면의 외원주부 둘레에 동일한 거리로 위치설정되어 있으며, 상기 다수의 압전 센서는상기패드중미리결정된것교체하는장치.
[청구항 10]
제 1항에 있어서,상기 압전 센서는 상기 척에 대향해 눌려질 때 압전식으로 전기를 생성하는 다층 요소포함하는장치.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,상기 다층 요소는 두 층 이상의 티타늄으로된 층과 상기 티타늄으로된 상기 층들 사이의 이산화아연으로된 층을 포함하며, 상기 티타늄으로된 상기 층중 하나는 상기 지지면부착되어 있는장치,
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 압전 센서는 두 층 티타늄으로된 층과 상기 티타늄으로된 상기 층들 사이의 이산화아연으로된 층을 포함하며, 상기 신호 측정 회로는 하나 이상의 피크 검출기 회로와 상기 피크 검출기 회로에 연결된 비교기 회로포함하는장치.
[청구항 15]
제 14항에 있어서,상기 압전 센서 각각은 티타늄으로된 층들과 상기 티타늄으로된 상기 층들 사이의 이산화아연으로된 층을 포함하며, 상기 신호 측정 회로는 상기 압전 센서의 수와 동일한 수의 다수의 피크 검출기 회로와 상기 피크 검출기 회로에 연결된 비교기 회로를 포함하며, 상기 피크 검출기 회로는제각기상기압전센서거쳐서연결되어 있는장치.
[청구항 21]
척킹 장치로서,
지지면과,
상기 지지면상에 있는 복합 구조물을 포함하며,
상기 복합 구조물은 상기 지지면으로부터 외향으로 연장하며,
상기 복합 구조물은 압축될 때 이들의 압축을 표시하는 판독 가능한 신호를 생성하고 그러므로 척킹되어질 어떠한 대상물도 받아들이는 압축 특성을 가지는 척킹 장치
[청구항 22]
제 1항에 있어서,상기 센서는 상기 지지면과일체형인장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 웨이퍼가 척상의 지지면에 중심맞추어져 있는지 여부를 검출할 때, 제1신호와 제2신호는 각각 어떠한 상태를 표시하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation반도체 웨이퍼의 중심 맞춤 여부를 검출할 때 제1신호와 제2신호가 각각 의미하는 상태를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 제1신호와 제2신호의 생성 조건 및 표시 상태에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 신호 측정 회로는 상기 압전 센서 모두가 전기를 생성하고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있는 것을 표시한 제 1신호를 생성하며, 상기 압전 요소 모두가 전혀 전기를 생성하지 않고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있지 않는 것을 표시한 제 2신호생성하는장치.
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3근거 선택
evidence_selection제1신호는 '압전 센서 모두가 전기를 생성하고 웨이퍼가 중심에 있음'을, 제2신호는 '압전 요소 모두가 전기를 생성하지 않고 웨이퍼가 중심에 있지 않음'을 나타내는 구절을 선택한다.
- 상기 압전 요소 모두가 전혀 전기를 생성하지 않고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있지 않는 것을 표시한 제 2신호
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4논리 통합
logical_integration제1신호는 모든 압전 센서의 전기 생성과 웨이퍼의 중심 정렬 상태를 결합하여 나타내며, 제2신호는 전기 미생성과 웨이퍼의 비중심 정렬 상태를 결합하여 나타낸다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 제1신호와 제2신호의 상태를 각각 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제1신호는 상기 압전 센서 모두가 전기를 생성하고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있는 상태를 표시하며, 제2신호는 상기 압전 요소 모두가 전혀 전기를 생성하지 않고 있고 상기 반도체 웨이퍼가 상기 척상에 중심맞추어 있지 않은 상태를 표시한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
압전 센서의 전기 생성 여부를 통해 반도체 웨이퍼가 척상의 지지면에 중심에 위치하는지 또는 중심에서 벗어났는지를 판별하는 기술이다.