문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,훅형상의 표면 전극을더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 탄성 접촉 스트립에 결합된 로드더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,셉터 아래에 배치된 냉각 판; 및상기 냉각 판과 상기 서셉터 사이에 배치된 열 도전성 포일더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,셉터를 상기 페데스탈에 고정하도록 상기 서셉터에 둘러싸고 결합하는 클램프 링더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 페데스탈이 하우징을 더 포함하고, 상기 탄성 접촉 스트립이 상기 하우징 내배치된,음극 어셈블리.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 하우징이플라스틱인,음극 어셈블리.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,셉터 상에 배치된 다수의 웨이퍼 지지 패드더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 다수의 패드중 특정 패드를 전기 접속하는 상호접속 전극더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 접촉 어셈블리가 상기 접촉 판에 대향하여 배치된 다수의 자체 로딩 도전 접속부더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 접촉 어셈블리가 플런저 전극과, 상기 플런저 전극과 상기 접촉 판사이에 배치된 경사진 스프링포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 제 2 표면상에 배치된 하나 이상의 전극을 더 포함하며, 상기 패드중 특정 패드가 상기 전극상배치되어 있는,음극 어셈블리.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,셉터내에 내장된 하나 이상의 척 전극더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 페데스탈내에 배치된 접촉 어셈블리가 상기 접촉 스트립과 상기 접촉 판 사이에 도전 접속부제공하는,음극 어셈블리.
[청구항 16]
제 12 항에 있어서,셉터가 주변 플랜지를 가진 세라믹 바디를 포함하며, 상기 클램프 링이 상기 플랜지에 결합하는 다수의 내향 돌출 핑거더 포함하는,음극 어셈블리.
[청구항 18]
제 17 항에 있어서,셉터를 둘러싸고, 상기 서셉터를 상기 페데스탈에 고정하는 다수의 내향 돌출 핑거를 가진 클램프 링더 포함하는,반도체 웨이퍼 프로세싱 챔버.
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,셉터가 제 1 및 제 2 척킹 전극을 가진 정전척인,반도체 웨이퍼 프로세싱 챔버.
[청구항 20]
제 19 항에 있어서,상기 척킹 전극과 상기 상호접속 전극에 결합된 dc 전력 공급부; 및 상기 척킹 전극에 결합된 rf 전력 공급부더 포함하는,반도체 웨이퍼 프로세싱 챔버.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 웨이퍼 프로세싱 챔버에서 서셉터를 페데스탈에 고정하기 위해 사용되는 클램프 링의 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation반도체 웨이퍼 프로세싱 챔버에서 서셉터를 페데스탈에 고정하는 클램프 링의 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5번과 18번에서 클램프 링의 역할과 구성에 관한 정보를 추출한다.
- 셉터를 상기 페데스탈에 고정하도록 상기 서셉터에 둘러싸고 결합하는 클램프 링
- 셉터를 둘러싸고, 상기 서셉터를 상기 페데스탈에 고정하는 다수의 내향 돌출 핑거를 가진 클램프 링
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3근거 선택
evidence_selection클램프 링이 '다수의 내향 돌출 핑거'를 가진다는 구체적인 구성 요소를 포함하는 구절을 선택한다.
- 다수의 내향 돌출 핑거를 가진 클램프 링
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4논리 통합
logical_integration청구항 18번에 따르면 클램프 링은 서셉터를 페데스탈에 고정하는 역할을 하며, 그 구성 요소로 다수의 내향 돌출 핑거를 포함한다.
- 셉터를 둘러싸고, 상기 서셉터를 상기 페데스탈에 고정하는 다수의 내향 돌출 핑거를 가진 클램프 링
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5결론 도출
conclusion_formulation클램프 링의 구성 요소는 다수의 내향 돌출 핑거이다.
- 다수의 내향 돌출 핑거
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 다수의 내향 돌출 핑거
최종 답변 (final_answer)
다수의 내향 돌출 핑거
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 클램프 링에 다수의 내향 돌출 핑거를 구비함으로써 서셉터를 페데스탈에 안정적으로 고정하는 기술에 관한 것이다.