연마체, 연마장치, 연마장치의 조정방법, 연마막 두께또는 연마종점의 측정방법, 및 반도체 디바이스의 제조방법 document_id 1020017008191

[청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 창판은 적층된 2장의 투명재료판으로 이루어지고, 이 투명재료판 중 상기 연마대상물측 투명재료판의 압축탄성률은, 상기 연마대상물측의 반대측 투명재료판의 압축탄성률보다 작은값설정되는것을특징으로 하는연마체. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 투명재료들 중 상기 연마대상물측 투명재료의 압축탄성률e 는, 2.9 ×107 pa ≤e ≤1.47 ×109 pa 이며,연마체의압축탄성률거의동일한것을특징으로 하는연마체. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 개구부를 복수개 가지며, 상기 패임량이 상기 개구부마다 다르게 됨으로써, 상기 패임량이단계적변화하는것을특징으로 하는연마체. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 패임량이 동일한 개구부 내의 2개 이상의 부분에서 다르게 됨으로써, 상기 패임량이단계적변화하는것을특징으로 하는연마체. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 창판은 평행 평판 형상의 투명판이며, 상기 창판이 상기 연마체의 표면에 대해 비스듬히 설치되어 있어 상기 패임량이연속적변화하는것을특징으로 하는연마체. [청구항 10] 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면nan과의간격의최소값인것을특징으로 하는연마체. [청구항 11] 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면nan과의간격의최소값인것을특징으로 하는연마체. [청구항 12] 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격 g(하나의 개구부 내, 또는 서로 다른 개구부들 사이에서 간격 g 가 다른 경우는 그 최대값)가, 0 ㎛ < g ≤(연마체의 두께의 90%) 이며, 상기 창판의 두께(하나의 개구부 내, 또는 서로 다른 개구부들 사이에서 두께가 다른 경우는 그 최소값) t 는, t ≥(연마체의두께인것을특징으로 하는연마체. [청구항 13] 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 창판의 적어도 연마대상물측 표면이하드코팅되는것을특징으로 하는연마체. [청구항 14] 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 창판들의 측정광에 대한투과율이상인것을특징으로 하는연마체. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,투광기로부터 상기 창판과 상기 개구부를 통과하여, 연마대상물에 측정광을 조사하고, 연마대상물에서 반사되어, 다시 상기 개구부와 상기 창판을 통과하여 리턴된 광을 수광기로 수광하는 기능을 갖는 연마장치에 있어서, 연마작업중에 수광되는 광의 강도가 투광되는광의강도이상인것을특징으로 하는연마장치. [청구항 18] 제 16 항에 있어서,상기 창판이, 상기 연마체의 연마특성과 동등한 연마특성을 갖는수지인것을특징으로 하는연마장치. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 검지하는 장치, 상기 연마체의 마모상태를 검지하는 장치, 또는 상기 양방을 검지하는장치더갖는것을특징으로 하는연마장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 제어하는제어장치더갖는것을특징으로 하는연마장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,연마조건, 연마시간, 드레싱 조건 및 드레싱 시간으로부터 상기 연마체의 마모량을 예측하고, 상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 제어하는기능갖는것을특징으로 하는연마장치. [청구항 25] 제 23 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격이 일정해지도록 상기 이동장치를 제어하는기능갖는것을특징으로 하는연마장치. [청구항 26] 제 23 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 상기 정반의 회전에 동기하여 제어하는기능갖는것을특징으로 하는연마장치.