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플라즈마처리장치 및 그 메인티넌스방법 document_id 1020017011655

출원번호
1020017011655
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 내부에 처리실이 형성된 진공용기와 상기 처리실 내에 플라즈마 를 발생시키기 위한 플라즈마발생장치와 상기 처리실 내에서 처리되는 시료를 유지하는 전극을 가지는 플라즈마처리장치에 있어서, 상기 진공용기의 상부벽을 개폐 가능부분으로 하고, 그 개폐 가능부분에 비금속 취성부재를 포함하는 상기 플라즈마발생장치를 구성하는 부품의 적어도 하나를 배치하고, 상기 처리실의 위쪽의 면을 구성하는 상부벽의 적어도 일부를 개략 수평인 축의 주위로 회전시켜 상기 개폐 가능부분이 처리실 내부측을 위쪽을 향한 상태로 안정되게 유지 가능하게 하고, 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 상기 개폐 가능부분의 개방시에 상기부품을 유지한 채, 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되도록 한 것을 특징으로 하는 플라즈마처리장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 개폐 가능부분을 메인티넌스작업용영역방향개방하도록한것을특징으로 하는플라즈마처리장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 개폐 가능부분에 설치된 상기 부품에의 전력공급부를 가지고, 상기 전력공급부는 상기 개폐 가능부분에 대하여 착탈 가능하게 접속되어결합과분리가능하게한것을특징으로 하는플라즈마처리장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 개폐 가능부분에의 전력공급부를 상기 개폐 가능부분으로부터 분리하였을 때에, 상기 전력공급부의 핫측 단자가 어스접속되고, 또 전력공급부와 상기 개폐 가능부분과의 접속이 결합되었을 때에만 전력공급부로부터의 전력공급이가능구성한것을특징으로 하는플라즈마처리장치. [청구항 5] 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개폐 가능부분에 상기 플라즈마발생장치의 안테나를 배치하고, 상기 처리실의 주위에 자장형성수단을 배치하고, 상기 안테나는석영제의바깥둘레링과실리콘제판가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치. [청구항 6] 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플라즈마발생장치가 평행평판형 플라즈마처리장치이고, 상기 개폐 가능부분에상기플라즈마발생장치의상부 전극및가스공급수단설치한것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마처리장치의 개폐 가능부분이 개방될 때, 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 유지해야 하는 각도 범위와 그 상태의 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    플라즈마처리장치의 개폐 가능부분이 개방될 때 유지되는 각도 범위와 그 상태의 특징을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 개폐 가능부분의 회전 방식, 유지 상태, 그리고 개방 시의 각도에 관한 정보를 확인한다.

    • 상기 개폐 가능부분이 처리실 내부측을 위쪽을 향한 상태로 안정되게 유지 가능하게 하고, 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 상기 개폐 가능부분의 개방시에 상기부품을 유지한 채, 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되도록
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 각도 범위(30도 이내)와 상태 특징(위쪽을 향한 상태, 부품을 유지한 채)을 포함하는 구절을 선택한다.

    • 상기 개폐 가능부분이 처리실 내부측을 위쪽을 향한 상태로 안정되게 유지 가능하게 하고, 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 상기 개폐 가능부분의 개방시에 상기부품을 유지한 채, 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되도록
  4. 4논리 통합logical_integration

    개방 시 개폐 가능부분은 부품을 유지한 상태에서 수평면으로부터 30도 이내의 각도를 유지하며, 이는 처리실 내부측이 위쪽을 향하도록 하는 것이다.

    • 상기 개폐 가능부분이 처리실 내부측을 위쪽을 향한 상태로 안정되게 유지 가능하게 하고, 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 상기 개폐 가능부분의 개방시에 상기부품을 유지한 채, 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되도록
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    각도 범위는 수평면으로부터 30도 이내이며, 상태 특징은 상기 부품을 유지한 채 처리실 내부측이 위쪽을 향한 상태로 유지되는 것이다.

    • 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 상기 개폐 가능부분의 개방시에 상기부품을 유지한 채, 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되도록
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측이 상기 개폐 가능부분의 개방시에 상기부품을 유지한 채, 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되도록
최종 답변 (final_answer)
상기 개폐 가능부분의 처리실 내부측은 상기 부품을 유지한 채 수평면으로부터 30도 이내의 각도로 유지되며, 처리실 내부측이 위쪽을 향한 상태로 유지된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마발생장치 부품이 장착된 개폐 가능부분을 개방할 때, 부품을 유지하면서도 수평면 기준 30도 이내의 낮은 각도로 위를 향하게 유지하여 안정성을 확보하는 기술이다.