문맥 (context)
[청구항 11]
제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 방법을 수행하는 교류 플라즈마 제어 장치로서,
상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고,
상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되는, 진공 플라즈마 처리 챔버 내의 제조공정품을 처리하는 교류 플라즈마 제어 장치
[청구항 17]
제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 방법을 수행하는 교류 플라즈마 제어 장치로서,
상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고,
상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되고,
상기 여기 리액턴스는 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 처리 챔버 내의 제조공정품을 처리하는 교류 플라즈마 제어 장치
[청구항 18]
제 4 항의 방법을 수행하는 교류 플라즈마 제어 장치로서,
상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고,
상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되고,
상기 연산하는 단계는 연산을 위한 수단에 의해 수행되는, 진공 플라즈마 처리 챔버 내의 제조공정품을 처리하는 교류 플라즈마 제어 장치
[청구항 19]
제 4 항의 방법을 수행하는 교류 플라즈마 제어 장치로서,
상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고,
상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되고,
상기 연산하는 단계는 연산을 위한 수단에 의해 수행되고,
상기 여기 리액턴스는 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 처리 챔버 내의 제조공정품을 처리하는 교류 플라즈마 제어 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 17 및 청구항 19에 기재된 교류 플라즈마 제어 장치에서, 측정하는 단계와 제어하는 단계를 수행하는 각각의 수단은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 17 및 19에 기재된 교류 플라즈마 제어 장치에서 '측정하는 단계'와 '제어하는 단계'를 수행하는 각각의 수단을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 17과 청구항 19의 내용을 각각 확인하여 측정 및 제어 수단에 대한 기술을 추출한다.
- 상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고, 상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되고
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3근거 선택
evidence_selection두 청구항 모두에서 측정 단계는 '센서들'에 의해, 제어 단계는 '제어를 위한 수단'에 의해 수행된다는 공통된 구절을 선택한다.
- 상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고, 상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되고
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4논리 통합
logical_integration청구항 17과 19의 구성 요소가 동일하므로, 두 청구항에 공통적으로 적용되는 수단을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation측정하는 단계의 수단은 센서들이며, 제어하는 단계의 수단은 제어를 위한 수단임을 도출한다.
- 상기 측정하는 단계들은 센서들에 의해 수행되고, 상기 제어하는 단계들은 제어를 위한 수단에 의해 수행되고
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 측정하는 단계의 수단과 제어하는 단계의 수단을 리스트 형식으로 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
측정하는 단계의 수단은 센서들이고, 제어하는 단계의 수단은 제어를 위한 수단이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
교류 플라즈마 제어 장치에서 센서를 통해 상태를 측정하고, 제어를 위한 별도의 수단을 통해 제어를 수행하는 구성 요소를 정의하고 있다.