문맥 (context)
[청구항 1]
교류 또는 펄스상의 고전압을 전극셀의 일측 전극에 인가하고 타측전극은 접지한 고전압발생용 인버터로 되는 고전압발생수단과
서로 마주보는 전면에 절연체를 부착하고 이 사이에 상하가 개방된 플라즈마발생공간을 형성하는 전극판을 구비한 전극셀을 적어도 2개이상 복수개 결합한 플라즈마세정헤드부와
균일한 유속과 압력으로 플라즈마세정헤드부 각각의 전극셀의 양 전극사이에 형성되는 플라즈마발생공간 사이로 질소가스를 동시에 공급하는 이퀄라이저와
피가공물을 플라즈마세정헤드부를 구성하는 전극셀의 플라즈마발생공간 하부의 플라즈마 배출구측으로 연속하여 이동시키기 위한 이송수단 및
이퀄라이저에 질소가스를 공급하는 질소가스공급수단을 결합하여서 됨을 특징으로 하는 대기압플라즈마 세정장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,이송수단은 이송밸트를 형성한 고정이송대와 가동이송대를 구비하여 피가공물의 폭에 따라 이송밸트와 피가공물안내용가이드레일의폭조절하여줄수특징으로 하는대기압플라즈마 세정장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,플라즈마세정헤드부 전극쎌의 서로 대치되는 전극은 알루미나와 같은 절연체로 절연되고 후면은 테프론차폐층으로 코팅되는 전극을 구비하여 오존 발생을 억제할 수 있게 한 전극더 포함하는대기압플라즈마 세정장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,플라즈마세정헤드부 전극쎌의 외측에는 공기에 의한냉각수단구비한것을더 포함하는대기압 플라스마세정장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,고정이송대와 가동이송대에 설치된 이송밸트의 상부 또는 상,하부에 플라즈마세정헤드부를 구비하여 피가공물을 단면 또는 양면을 동시에모두플라즈마세정하게하는것을더 포함하는대기압 플라스마세정장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,이퀄라이저는 질소가스 배출구측에 미세한 다공성의 부직포 또는 미세다공판으로 되는균등감압필터포함하는것을특징으로 하는대기압 플라스마세정장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,플라즈마세정헤드의 외부케이스의 후방에 전극쎌 주변의 공기와 발생오존을 흡입배출하는오존흡인배출수단더포함함을특징으로 하는대기압 플라스마세정장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,고전압발생수단에서 발생하는 전압은 2000~6000v내의 전압을 지니고, 전극쎌의 절연판사이에 형성되는 플라즈마발생통로의 폭은 0.2~ 0.8mm 범위내의 폭특징으로 하는대기압 플라스마세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
대기압 플라즈마 세정장치에서 오존 발생을 억제하기 위해 전극셀의 전극이 갖추어야 하는 구조적 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation대기압 플라즈마 세정장치에서 오존 발생을 억제하기 위한 전극의 구조적 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 오존 발생 억제와 관련된 전극의 구성 요소 및 구조를 확인한다.
- 플라즈마세정헤드부 전극쎌의 서로 대치되는 전극은 알루미나와 같은 절연체로 절연되고 후면은 테프론차폐층으로 코팅되는 전극을 구비하여 오존 발생을 억제할 수 있게 한 전극
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3근거 선택
evidence_selection오존 발생 억제 기능과 직접 연결된 전극의 구조적 특징인 '알루미나와 같은 절연체로 절연' 및 '후면은 테프론차폐층으로 코팅' 구절을 선택한다.
- 서로 대치되는 전극은 알루미나와 같은 절연체로 절연되고 후면은 테프론차폐층으로 코팅되는 전극을 구비하여 오존 발생을 억제
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4논리 통합
logical_integration전극의 대치되는 면은 알루미나 절연체로 절연되어 있고, 전극의 후면은 테프론차폐층으로 코팅된 구조가 오존 발생을 억제하는 핵심 특징임을 통합한다.
- 서로 대치되는 전극은 알루미나와 같은 절연체로 절연되고 후면은 테프론차폐층으로 코팅되는 전극을 구비하여 오존 발생을 억제
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 전극의 절연 구조와 후면 코팅 구조를 정리한다.
- 서로 대치되는 전극은 알루미나와 같은 절연체로 절연되고 후면은 테프론차폐층으로 코팅되는 전극
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
서로 대치되는 전극은 알루미나와 같은 절연체로 절연되고 후면은 테프론차폐층으로 코팅되는 전극을 구비함
핵심 해석 (core_interpretation)
전극의 대치되는 면을 알루미나 절연체로 처리하고 후면을 테프론차폐층으로 코팅함으로써 플라즈마 공정 중 발생하는 오존을 억제하는 기술이다.