문맥 (context)
[청구항 1]
서셉터에 로딩된 웨이퍼를 안착하여 고정시킬 수 있는 클램핑 수단을 갖는 반도체 제조 장치에 있어서,
상기 클램핑 수단은;
클램프 링과;
상기 클램프 링에 수직으로 설치되고, 상/하로 이동되는 샤프트와
상기 샤프트를 상,하로 구동시킬 수 있는 구동부와
외부로부터 공기의 유입을 차단하기 위해 상기 샤프트에 연결되는 그리고 수축 및 이완을 반복하는 벨로우즈 및
상기 벨로우즈에 설치되어 상기 샤프트의 이동을 가이드해주는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 클램핑 수단
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 구동부는 벨로우즈 내측 상단에 고정된 샤프트에 의해 서로 연결되고 공기압에 의한 샤프트의 업 다운으로 벨로우즈를 팽창 및 수축시키기 위한리프트실린더로이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 클램핑 수단.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 벨로우즈는챔버의외부설치되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 클램핑 수단.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 벨로우즈는 주름관과;상기 주름관의 양단에 각각 설치되는 상부판과 하부판 및;상기 하부판에 설치되는 그리고 상기 구동부의 브라켓에 연결되는 고정축을 구비하되;상기 상부판은 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해고정되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 클램핑 수단.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 고정축은 상기 브라켓에 고정하기 위한 핀홀을 갖되;상기 핀홀은 길이방향으로 형성된장공으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 클램핑 수단.
[청구항 6]
제 4 항에 있어서,상기 가이드 수단은 상기 벨로우즈의 상부판에 설치되어 상기 상부판을 통과하는샤프트의좌우유동방지하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 클램핑 수단.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 가이드 수단은 센터에 상기 샤프트가 지나갈 수 있는 관통공이 형성된원형플레이트로이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 가이드 수단nan은베어링더포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 클램핑 수단.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 가이드 수단은세라믹 재질로이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,반도체 제조 장비가건식에칭장비인것을특징으로 하는반도체 제조 장비의 클램핑 수단.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조 장치의 클램핑 수단에서 벨로우즈의 구성 요소와 상부판이 고정되는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation반도체 제조 장치의 클램핑 수단 내 벨로우즈의 구성 요소와 상부판의 고정 방식을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4를 통해 벨로우즈의 구성 요소(주름관, 상부판, 하부판, 고정축)와 상부판의 고정 방식(다수의 고정 볼트)을 확인한다.
- 상기 벨로우즈는 주름관과;상기 주름관의 양단에 각각 설치되는 상부판과 하부판 및;상기 하부판에 설치되는 그리고 상기 구동부의 브라켓에 연결되는 고정축을 구비하되;상기 상부판은 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해고정되는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection벨로우즈의 구성 요소인 '주름관, 상부판, 하부판, 고정축'과 상부판의 고정 방식인 '챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해 고정' 구절을 선택한다.
- 상기 벨로우즈는 주름관과;상기 주름관의 양단에 각각 설치되는 상부판과 하부판 및;상기 하부판에 설치되는 그리고 상기 구동부의 브라켓에 연결되는 고정축을 구비하되;상기 상부판은 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해고정되는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration벨로우즈는 주름관, 상부판, 하부판, 고정축으로 구성되며, 이 중 상부판은 챔버 외부 저면에 다수의 고정 볼트를 사용하여 고정됨을 결합한다.
- 상기 벨로우즈는 주름관과;상기 주름관의 양단에 각각 설치되는 상부판과 하부판 및;상기 하부판에 설치되는 그리고 상기 구동부의 브라켓에 연결되는 고정축을 구비하되;상기 상부판은 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해고정되는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 벨로우즈의 구성 요소 리스트와 상부판의 고정 방식을 정리한다.
- 상기 벨로우즈는 주름관과;상기 주름관의 양단에 각각 설치되는 상부판과 하부판 및;상기 하부판에 설치되는 그리고 상기 구동부의 브라켓에 연결되는 고정축을 구비하되;상기 상부판은 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해고정되는것을특징으로 하는
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
- 상기 벨로우즈는 주름관과;상기 주름관의 양단에 각각 설치되는 상부판과 하부판 및;상기 하부판에 설치되는 그리고 상기 구동부의 브라켓에 연결되는 고정축을 구비하되;상기 상부판은 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해고정되는것을특징으로 하는
최종 답변 (final_answer)
- 벨로우즈의 구성 요소: 주름관, 상부판, 하부판, 고정축
- 상부판의 고정 방식: 챔버의 외부 저면에 다수의 고정 볼트에 의해 고정
핵심 해석 (core_interpretation)
벨로우즈의 구조적 구성 요소(주름관, 상/하부판, 고정축)를 정의하고, 상부판을 챔버 외부 저면에 고정 볼트로 체결하여 기밀 및 가이드를 유지하는 기술적 구성을 나타냄.