문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 간섭계시스템은 장치위에 배치된복수의간섭계시스템포함하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,스테이지의 경사량은 상기 복수의 간섭계시스템의 측정결과를 사용하여측정되는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 간섭계시스템은 투영광학계의 위쪽의 장치에 배치된복수의간섭계시스템포함하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 간섭계시스템에서의 상기 간섭계는 중첩되는 측정가능한 영역을 가지고, 또한 측정가능한 영역이 서로 중첩되는 영역에 스테이지가 위치하는 경우에, 상기 간섭계에 의한측정절환되는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 장치는 상기 간섭계시스템에 의한 위치 및 변위의 측정결과에 의거하여 위치 및 변위를 보정하는 제어수단을 부가하여 포함하고, 또한 상기 복수의 간섭계의 측정값이 상기 제어수단에 동기하여송수신되는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,간섭계는 스테이지와 이 스테이지를 따르는 가동부중의 적어도 하나에 탑재되고, 스테이지는 간섭계를 지지하는 가동부의 스트로크방향으로 긴 z측정을 위해 연장된 미러를 가지고, 또한 z측정을 위해 연장된 미러는 x측정미러 또는 y측정미러의상부면사용하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,상기 간섭계시스템은, 간섭계에 의해 방출된 측정광을, 측정기준으로서 기능하는 렌즈배럴지지체에 부착된 복수의 미러 또는 프리즘을 통하여 z측정미러하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,상기 간섭계시스템으로부터의 측정광은 z측정미러의 반사면위에대략수직입사되는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 10]
제 1항에 있어서,간섭계는, 2개의 측정빔 및 2개의 기준빔을 포함하는 4개의 빔전체를 방출하고, 4개의 빔은 대략 동일한 간격으로십자형상의위치관계형성하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,측정미러의 바로 앞에 배치된 미러 또는 프리즘은, 측정광을 z측정미러에 반사하고 또한 기준광을 입사광로로 되돌아가게 반사하는적어도2개의반사면가진것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 간섭계는 y스테이지 또는 x스테이지위탑재되는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 14]
제 12항에 있어서,상기 간섭계는 x 또는 y방향으로 탑재되고, 노광장치는 x 또는 y방향에서 z방향으로 빔을 반사하는 반사면을 가진 광학소자를 부가하여 포함하고, 또한 상기 간섭계는 x 또는 y방향에 평행한 빔을 광학소자를 향해서방출하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 15]
제 12항에 있어서,상기z미러로 빔을 유도하는 미러 또는 프리즘은 y스테이지 또는 x스테이지에 의해 z방향으로 방출된 빔을 x 또는 y방향으로 반사하는 제 1미러 또는 프리즘, 및 제 1미러 또는 프리즘에 의해 반사된 빔을 z방향으로 반사하고 상기 z미러에 빔을 조사하는제2미러또는프리즘가지는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 16]
제 15항에 있어서,제 1미러 또는 프리즘 및 제 2미러 또는 프리즘은 x 또는 y방향연장되는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 17]
제 15항에 있어서,제 2미러 또는 프리즘은 제 1미러 또는 프리즘에 의해 반사된 빔의 기준광성분을 제 1미러 또는 프리즘에 반사하는반사면가지는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 18]
제 1항에 있어서,스테이지의 중심부가 노광중심근처가 되도록 제어되는 경우에, 상기 간섭계시스템에서 복수의 간섭계는 중첩되는측정가능영역가지는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 24]
제 1항에 있어서,네트워크를 접속하는 인터페이스와; 네트워크를 통하여 노광장치의 보수정보를 통신하는 네트워크소프트웨어를 실행하는 컴퓨터와; 상기 컴퓨터에 의해 실행된 네트워크소프트웨어에 의해 통신된 노광장치의 보수정보를 표시하는 디스플레이와 를 부가하여포함하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 25]
제 24항에 있어서,네트워크소프트웨어는, 노광장치가 설치된 공장외부의 외부네트워크에 접속되고 노광장치의 벤더나 유저에 의해 제공된 보수데이터베이스를 액세스하는 유저인터페이스를 상기 디스플레이에 제공하고, 외부네트워크를 통해서 데이터베이스로부터 정보를 얻을 수하는것을특징으로 하는노광장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
노광장치에서 스테이지가 복수의 간섭계가 가진 측정 가능한 영역의 중첩 영역에 위치할 경우, 간섭계는 어떻게 동작하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation노광장치에서 스테이지가 복수 간섭계의 측정 가능 영역 중첩 영역에 위치할 때 간섭계의 동작 방식을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 간섭계의 측정 가능 영역이 중첩되는 영역에 스테이지가 위치하는 경우에 대한 동작 조건이 명시되어 있다.
- 측정가능한 영역이 서로 중첩되는 영역에 스테이지가 위치하는 경우에, 상기 간섭계에 의한측정절환되는것을특징으로 하는노광장치
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3근거 선택
evidence_selection질문과 직접적으로 대응하는 '측정가능한 영역이 서로 중첩되는 영역에 스테이지가 위치하는 경우'와 '상기 간섭계에 의한측정절환되는것' 구절을 선택한다.
- 측정가능한 영역이 서로 중첩되는 영역에 스테이지가 위치하는 경우에, 상기 간섭계에 의한측정절환되는것
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4논리 통합
logical_integration스테이지가 중첩 영역에 위치하면 간섭계의 동작이 '측정 절환'된다는 인과관계를 도출한다.
- 측정가능한 영역이 서로 중첩되는 영역에 스테이지가 위치하는 경우에, 상기 간섭계에 의한측정절환되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 간섭계가 측정 절환된다는 결론을 도출한다.
- 상기 간섭계에 의한측정절환되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 생성한다.
- 상기 간섭계에 의한측정절환되는것
최종 답변 (final_answer)
스테이지가 측정 가능한 영역이 중첩되는 영역에 위치하면, 간섭계에 의한 측정이 절환된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
복수의 간섭계가 측정 영역을 중첩하여 배치된 노광장치에서, 스테이지가 해당 중첩 영역에 진입할 경우 간섭계의 측정 기능을 절환함으로써 연속적인 측정을 가능하게 하는 기술이다.