진공장치 및 반송장치 document_id 1020020011062

[청구항 1] 피가공물에 대해 프로세스 처리를 행하는 프로세스실과, 상기 프로세스실에 게이트밸브를 통해 연결되고, 내부에 반송장치를 수납하는 반송실을 갖는 진공장치에 있어서, 상기 반송장치는, 선단부에 피가공물용 핸드(work-piece holder hand)를 구비하고, 길이방향으로 연장한 연장상태에서, 선단부가 프로세스실 내부까지 연장하고, 수납상태에서 반송장치 내에 수납되는 테이프와, 이 테이프를 길이방향으로 이송하는 이송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 테이프가만곡단면의탄성재료테이프인것을특징으로 하는진공장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 이송수단이구동풀리인것을특징으로 하는진공장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,테이프가 좌우 대칭으로 한 쌍 설치되고, 이 한 쌍의 테이프의 양 선단부에 하나의 피가공물용핸드구비된것을특징으로 하는진공장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,반송실의 하방에 테이프 수납통이 설치되고, 이 케이스 내에 상기 테이프의 후단측이 수납되도록있는것을특징으로 하는진공장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 이송수단이,상기 테이프의 후단측에 부착된 종동마그네트와,상기 테이프 수납통의 외부에, 테이프 수납통을 따라 이동가능하게 설치된 원동마그네트를 갖고,원동마그네트의 이동에 종동마그네트가 추종하는 것에 의해,테이프이송하도록하는것을특징으로 하는진공장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 피가공물용 핸드가, 반송장치의 베이스에 부착된선형가이드부의선단부재부착되어있는것을특징으로 하는진공장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 선형가이드부가, 베이스와 선단부재 사이에복수개의슬라이드부갖는것을특징으로 하는진공장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 반송장치에, 상기 피가공물용 핸드가 복수 개 구비되고, 이 복수 개의 피가공물용 핸드가상하매설되어있는것을특징으로 하는진공장치. [청구항 10] 선단부에 피가공물용 핸드를 구비한 테이프와, 이 테이프를 길이방향으로 슬라이드 이송하는 이송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 테이프가,만곡단면의탄성재료테이프인것을특징으로 하는반송장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 이송수단이,구동풀리인것을특징으로 하는반송장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,테이프가 좌우 대칭으로 한 쌍 설치되고, 이 한 쌍의 테이프의 양 선단부에 하나의 피가공물용핸드구비된것을특징으로 하는반송장치. [청구항 14] 제10항에 있어서,상하방향으로 연장하도록 테이프 수납통이 설치되고, 이 케이스 내에 상기 테이프의 후단측이 수납되도록있는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 이송수단에, 상기 테이프의 후단측에 부착된 종동마그네트와,상기 테이프 수납통의 외부에, 테이프 수납통을 따라 이동가능하게 설치된 원동마그네트를 갖고,원동마그네트의 이동에 종동마그네트가 추종하는 것에 의해,테이프이송하도록하는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 16] 제10항에 있어서,상기 피가공물용 핸드가 베이스에 부착된선형가이드부의선단부재부착되어있는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 선형가이드부가 베이스와 선단부재 사이에복수개의슬라이드부갖는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 18] 제10항에 있어서,상기 반송장치에 상기 피가공물용 핸드가 복수 개 구비되고, 이 복수 개의 피가공물용 핸드가상하매설되어있는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 19] 피가공물에 대해 프로세스 처리를 행하는 프로세스실과, 상기 프로세스실에 게이트밸브를 통해 연결되고, 내부에 반송장치를 수납하는 반송실을 갖는 진공장치에 있어서, 상기 반송장치는, 선단부에 피가공물용 핸드를 구비하고, 길이방향으로 연장한 연장상태에서, 선단부가 프로세스실까지 연장하고, 수납상태에서 반송장치 내에 수납되는 선형가 이드와, 상기 선형가이드의 선단부에 선단측이 부착되고, 이 이동에 의해 선형가이드를 신축시키는 테이프와, 반송실의 하방에 설치되고, 상기 테이프의 후단측을 수납하는 테이프 수납통과, 상기 테이프의 후단측에 부착된 종동마그네트, 및 상기 테이프 수납통의 외측에, 테이프 수납통을 따라 이동가능하게 설치된 원동마그네트를 갖고, 원동마그네트의 이동에 종동마그네트가 추종하는 것에 의해, 테이프를 길이방향으로 이송하는 이송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공장치 [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 반송장치에 상기 피가공물용 핸드가 복수 개 구비되고, 이 복수 개의 피가공물용 핸드가상하매설되어있는것을특징으로 하는진공장치.