ＥＬ막 형성장치 document_id 1020020012263

[청구항 1] 기판(10)에 el막을 형성하는 형성공정을 수행하며, 일측에 유입구(201)가 형성되고 타측에 유출구(202)가 형성된 공정챔버(200)와 기판(10)이 개별적으로 수납되는 복수개의 제1수납홈(111)(112)(113)(114)(115)을 가지며 승하강 동작되는 제1카세트(110)와, 그 제1카세트(110)에서 기판(10)을 추출하여 상기 공정챔버(200)로 이송시키기 위한 추출장치(120)와, 상기 유입구(201)를 개폐하기 위한 제1개폐장치(130)를 가지는 기판공급챔버(100)와 상기 기판(10)이 개별적으로 수납될 수 있는 복수개의 제2수납홈(311)(312)(313)(314)(315)을 가지며 승하강 동작되는 제2카세트(310)와, 상기 공정챔버(200)로부터 유입된 기판(10)을 상기 제2수납홈으로 각각 인입하기 위한 인입장치(320)와, 상기 유출구(202)를 개폐하기 위한 제2개폐장치(330)가 설치된 기판저장챔버(300)와 상기 기판공급챔버(100)에 소정의 진공을 형성하기 위한 제1진공형성장치(105)와 상기 공정챔버(200)에 소정의 진공을 형성하기 위한 제2진공형성장치(205)와 상기 기판저장챔버(300)에 소정의 진공을 형성하기 위한 제3진공형성장치(305) 를 포함하고, 상기 공정챔버(200)는, 상기 유입구(201)로부터 유입되는 기판(10)이 임시 보관되는 기판로딩실(210)과, 상기 기판로딩실(210)로부터 이송되는 기판(10) 상의 이물질을 제거하는 전처리실(220)과, 상기 전처리실(220)로부터 이송되는 기판(10)에 el막을 형성하는 el막 형성실(230)(240)(250)과, 상기 el막 형성실로부터 이송된 기판(10)이 상기 유출구(202)로 유출되기전까지 임시 보관되는 기판언로딩실(260)과, 상기 기판언로딩실(260)에서 안착된 상기 기판을 전처리실, el막 형성실(230)(240)(250), 기판언로딩실(260)로 순차적으로 이송하기 위한 수평이송장치(270)를 포함하며 상기 기판로딩실(210)에는 상기 추출장치(120)로부터 기판(10)을 추출하여 그 기판로딩실(210)로 이송된 안착플레이트(271)에 안착시키는 제1하부승강장치(211)가 설치되고 상기 기판언로딩실(260)에는 그 기판언로딩실(260)로 이송된 안착플레이트(275)에 안착된 기판(10)을 상기 인입장치(320)에 공급하기 위한 제2하부승강장치(311)가 설치된 것을 특징으로 하는 el막 형성장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 추출/인입장치(120/320)는, 상기 기판(10)이 안착되는 추출/인입홀더(121/321)와, 추출/인입홀더(121/321)를 제1/2카세트(110/310)와 유입구/유출구(201/202) 사이에서 수평 왕복 이송시키기 위한이송부포함하는것을특징으로 하는el막 형성장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 수평이송장치(270)는, 상기 유입구(201)와 상기 유출구(202) 사이를 왕복 이송하기 위한 가이드브라켓(276)과, 상기 가이드브라켓(276)에 설치되는 복수개의 안착플레이트(271)(272)(273)(274)(275)와, 상기 가이드브라켓(276)을 왕복 이송시키는이송부포함하는것을특징으로 하는el막 형성장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기el막 형성실은, r(red)에 대응하는 el막을 형성하기 위한 제1el막 형성실(230)과, g(green)에 대응하는 el막을 형성하기 위한 제2el막 형성실(240)과, b(blue)에 대응하는 el막을 형성하기 위한 제3el막 형성실(250)을 포함하며, 기타 추가 공정이 연속적으로 이루어질 경우에는막형성실을연속적수있는것을특징으로 하는el막 형성장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기제1,2,3el막 형성실은, r, g, b 각각에 대응되는 el막을 형성하기 위한 소스가 수납되는 소스판(235)(245)(255)과, 그 소스판을 가열시키기 위한 가열부(236)(246)(256)와, 상기 소스판으로부터 발생되는 증기가 기판으로 향하는 것을 선택적으로 차폐하기 위한 셔터(237)(247)(257)와, 증기가 기판의 가장자리로 증착되는 것을 방지하기 위한실드포함하는것을특징으로 하는el막 형성장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 가열부(236)는, 다수개의 램프히터(236a)와 그 램프히터(236a)의 상부에 채용되는 석영유리(236b)로 구성되며, 상기 램프히터(236a) 사이의 간격은 일정하여 상기 소스판(235)전체가열시키는것을특징으로 하는el막 형성장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기제1,2,3el막 형성실(230)(240)(250)의 상부에는 기판을 측정하여 그 기판의 위치를 정열 하는 얼라인신호를 발생하는비젼장치더포함하는것을특징으로 하는el막 형성장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 공정챔버(200)와, 기판공급챔버(100)와, 기판저장챔버(300)는 리니어식으로일체화된것을특징으로 하는el 박막형성장치.