문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 회동부는,상기 마그네트부를 지지하는 비자성 회전판; 및상기 비자성 회전판의 중심부에 연결되어 상기 비자성 회전판을 비축 회전시키는회전축구비하는것을특징으로 하는rmim 전극.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 마그네트들nan은비대칭형상가지는것을특징으로 하는rmim 전극.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 마그네트들의 중심은일치하지않는것을특징으로 하는rmim 전극.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 비자성 회전판의 표면에 마련되며, 상기 비자성 회전판의 회전 균형을 유지시키는균형추더구비하는것을특징으로 하는rmim 전극.
[청구항 6]
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 링형 마그네트들은 두개의링형마그네트로이루어지는것을특징으로 하는rmim 전극.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 회동부는,상기 마그네트부를 지지하는 비자성 회전판; 및상기 비자성 회전판의 중심부에 연결되어 상기 비자성 회전판을 비축 회전시키는회전축구비하는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 마그네트들nan은비대칭형상가지는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 마그네트들의 중심은일치하지않는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 비자성 회전판의 표면에 마련되며, 상기 비자성 회전판의 회전 균형을 유지시키는균형추더구비하는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항 16]
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,상기 링형 마그네트들은 두개의링형마그네트로이루어지는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
RMIM 전극에서 비자성 회전판의 회전 균형을 유지하기 위해 구비되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretationRMIM 전극의 비자성 회전판에서 회전 균형을 유지하기 위해 구비되는 구성 요소를 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 비자성 회전판의 표면에 마련되어 회전 균형을 유지시키는 구성 요소를 확인한다.
- 상기 비자성 회전판의 표면에 마련되며, 상기 비자성 회전판의 회전 균형을 유지시키는균형추
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '회전 균형 유지' 기능과 직접적으로 연결된 '균형추' 구절을 선택한다.
- 상기 비자성 회전판의 회전 균형을 유지시키는균형추
-
4논리 통합
logical_integration비자성 회전판의 표면에 설치된 균형추가 회전 균형을 유지하는 역할을 수행함을 파악한다.
- 상기 비자성 회전판의 표면에 마련되며, 상기 비자성 회전판의 회전 균형을 유지시키는균형추
-
5결론 도출
conclusion_formulation회전 균형을 유지하기 위해 구비되는 구성 요소는 균형추임을 도출한다.
- 상기 비자성 회전판의 회전 균형을 유지시키는균형추
-
6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 단어인 '균형추'를 사용하여 답변을 생성한다.
- 균형추
최종 답변 (final_answer)
균형추
핵심 해석 (core_interpretation)
RMIM 전극의 비자성 회전판이 회전할 때 발생할 수 있는 불균형을 방지하기 위해 표면에 균형추를 구비하여 회전 안정성을 확보하는 기술이다.