반도체 패키지 제조장비 document_id 1020020021543

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 로더부는 다수개의 매거진이 탑재된 이송 벨트, 상기 이송 벨트의 양단부에 배치된 풀리, 상기 일측 풀리에 연결되어 동력을 제공하는 구동모터, 상기 메거진을 컨베이어의 작업 영역으로 이송하는 그리퍼, 상기 그리퍼를 x축 방향 및 y축 방향으로 이송하는 x, y 축 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 디스펜싱부는 상기 로더부와 연결된 컨베이어,상기 컨베이어의 선단부에 설치되어 상기 로더부의 매거진으로부터 보트를 인출하여 컨베이어로 옮기는 그리퍼, 상기 컨베이어의 하부에 설치되며 디스펜싱 작업을 수행하도록 보트 위의 패키지를 고정하는 백업 유닛, 상기 백업 유닛에 의해 고정된 패키지 위로 에폭시를 도포하는 디스펜싱 헤드, 상기 디스펜싱 헤드를 이송하는 x, y축 로봇, 상기 백업 유닛의 하부에 설치되어 백업 유닛을 구동하는 리니어 모터를 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 디스펜싱부는 상기 로더부와 연결된 컨베이어,상기 컨베이어의 선단부에 설치되어 상기 로더부의 매거진으로부터 보트를 인출하여 컨베이어로 옮기는 그리퍼, 상기 컨베이어의 하부에 설치되며 디스펜싱 작업을 수행하도록 보트 위의 패키지를 고정하는 백업 유닛, 상기 백업 유닛에 의해 고정된 패키지 위로 에폭시를 도포하기 위한 스템프 지그가 구비된 디스펜싱 헤드, 상기 디스펜싱 헤드를 이송하는 x, y축 로봇, 상기 백업 유닛의 하부에 설치되어 백업 유닛을 구동하는 리니어 모터, 에폭시가 수납된 에폭시 수납부,상기 컨베이어에 설치되어 상기 에폭시 수납부에 수납된 에폭시의 높이를 균일하게 유지하는 에폭시 높이조절수단을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 에폭시 높이조절수단은에폭시가 수납되며 상하가 관통된 에폭시 홀더와, 상기 에폭시 홀더가 슬라이딩되며 상기 에폭시 수납부가 형성된 슬라이딩 블록과, 상기 에폭시 홀더를 슬라이딩시키는 실린더와, 상기 에폭시 홀더를 실린더에 고정시키는 lm 블록과, 상기 에폭시 홀더를 가이드하는 가이드 브라켓과, 일단이 상기 가이드 브라켓에 고정되고 타단이 상기 lm 블록에 고정되어 에폭시 홀더를 슬라이딩 블록의 상면에 기밀하게 밀착시키는코일스프링구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 글래스 본딩부는 상기 디스펜싱부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 하부에 설치되며 글래스 본딩 작업을 수행하도록 보트 위의 패키지를 고정하는 백업 유닛, 상기 컨베이어의 전방에 설치되어 글래스 트래이를 자동으로 교환해주는 글래스 트래이 로더 및 언로더, 상기 글래스 트래이 로더로부터 공급된 글래스를 픽업하는 픽업 유닛, 상기 픽업 유닛으로부터 이송된 글래스를 정렬하는 센터링 디바이스, 상기 센터링 디바이스를 통해 정렬된 글래스를 픽업하여 패키기 위에 안착시켜 접합하는 본딩 유닛, 상기 픽업 유닛 및 본딩 유닛을 이송시키는 y축 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 글래스 본딩부는 상기 글래스가 접합된 패키지의 둘레에 배치되어 글래스를 누른 상태에서 자외선을 조사하는 간이유브이큐어부더포함된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,젝팅부는 패키지의 위치를 검사하는 카메라,글래스가 접합된 면의 불량유무를 측정하는 감지수단, 불량인 패키지를 축출하기 위한 이젝팅 유닛, 상기 카메라 및 상기 이젝팅 유닛을 구동하는 x,y축 로봇, 패키지가 담긴 보트를 정지시키는 스토퍼,상기 스토퍼의 하부에 설치되며 이젝팅 작업을 수행하도록 상승하여 진공으로 보트 위의 패키지를 고정하는 백업 유닛,불량인 패키지를 담는축출박스구성되는것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 감지수단은레이저 센서인것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 유브이 큐어부는 상기 글래스 본딩부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 둘레에 배치된 유브이 큐어 프레임, 상기 유브이 큐어 프레임의 일측에 설치된 자외선 조사부, 상기 컨베이어의 일측 단부에 설치되어 유브이 큐어 프레임 내로 이송된 보트를 정지시키는 스토퍼, 상기 스토퍼의 하부에 설치되어 자외선 조사시간 동안 보트를 컨베이어의 벨트 위로 이동시키는 백업 유닛을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,큐어부는 상기 유브이 큐어부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 둘레에 배치된 큐어 오븐, 상기 큐어 오븐의 내부에 설치된 가열부, 상기 큐어 오븐 내부로 이송된 보트를 차례로 수직 배치하는 매거진 업, 다운 로봇, 상기 큐어 오븐의 일측에 형성된 후드 덕트를 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 언로더부는 상기 핫 큐어부와 연결된 컨베이어, 상기 컨베이어의 상부에 설치되어 보트로부터 글래스 접착이 완료된 패키지를 픽업하여 트래이에 탑재하는 패키지 픽업 유닛, 상기 패키지가 픽업되고 난 빈 보트를 매거진에 적재하는 보트 픽업 유닛, 상기 패키지 픽업 유닛 및 보트 픽업 유닛을 이송시키는 x,y축 로봇을 포함하여구성된것을특징으로 하는반도체 패키지 제조장비.