문맥 (context)
[청구항 1]
이온주입 장비의 이온화 소스 헤드부를 구성하는 캐서드 및 피라멘트 사이의 거리르 조절하되, 상기 캐서드는 실린더형의 캐서드 바디 및 상기 캐서드 바디의 일단을 밀폐시키는 캐서드 캡으로 구성되고, 상기 필라멘트는 상기 캐서드 바디 내에 설치되는 필라멘트 헤드 및 상기 필라멘트 헤드의 양단들로부터 연장된 한쌍의 평행한 필라멘트 암들로 구성하고, 상기 필라멘트 암들의 끝단들은 상기 필라멘트 헤드의 길이보다 큰 간격을 갖도록 90도로 구부러진 이온 주입 장비의 필라멘트 정렬도구에 있어서
상기 정렬 도구는,
상기 캐서드 내부로 끼워지되, 그 양측에 상기 필라멘트 암들의 끝단들이 통과하도록 설치된 슬롯들을 구비하는 실린더형의 필라멘트 정렬관
상기 필라멘트 정렬관의 일 단에 부착되고 수직한 관절홈을 갖는 필라멘트 정렬관 헤드
상기 관절홈에 끼워지는 필라멘트 정렬바; 및
상기 필라멘트 정렬관 헤드로부터 상기 필라멘트 정렬관 내부로 연장되어 상기 필라멘트 헤드 및 상기 필라멘트 암들과 접촉하는 지지부를 포함하는 필라멘트 정렬 도구
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 필라멘트 정렬관의 타단은 상기 지지부로 부터 헤드 기준거리로 이격되고, 상기 필라멘트 암들이 접촉하는 지지부는 상기 필라멘트 정렬관의 외측벽으로부터암기준거리이격되는것을특징으로 하는필라멘트 정렬 도구.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 헤드 기준거리는 상기 캐서드 캡과 상기 필라멘트 헤드 사이의 기준거리이고, 상기 암 기준거리는 상기 캐서드바디와상기필라멘트암들사이의기준거리인것을특징으로 하는필라멘트 정렬 도구.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 슬롯들을 지나는 평면이상기필라멘트정렬바와수직배치되는것을특징으로 하는필라멘트 정렬 도구.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 필라멘트 정렬관 헤드와 인접한 상기 슬롯들의 일단들에 와이드 슬롯들이 더 배치되되, 상기 와이드 슬롯들은 상기 슬롯들의 폭보다 넓은 폭을 갖고, 상기 슬롯들의 일측벽과 동일 선상에 배치된 일측벽을 갖고, 상기 와이드 슬롯들은 상기 지지부의 중심축에 대하여 서로 대칭으로 배치되고, 상기 슬롯들은 그 내부에 상기 와이드 슬롯과 동일한 폭갖는 것을특징으로 필라멘트 정렬 도구.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 슬롯들을 지나는 평면은 상기 필라멘트 정렬바와 소정의 각도를 이루되, 상기 필라멘트 정렬바는 상기 필라멘트 정렬관을 축으로하여 상기 소정의 각도로 회전할 수있는것을특징으로 하는필라멘트 정렬 도구.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 필라멘트 정렬바는 상기 관절 홈에 고정핀에 의해 힌지(hinge)결합연결된것을특징으로 하는필라멘트 정렬도구.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이온 주입 장비의 필라멘트 정렬 도구에서 필라멘트 정렬관의 타단과 지지부 사이의 헤드 기준거리 및 지지부와 필라멘트 정렬관 외측벽 사이의 암 기준거리는 각각 무엇을 기준으로 하는 거리인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation필라멘트 정렬관의 타단과 지지부 사이의 '헤드 기준거리'와 지지부와 필라멘트 정렬관 외측벽 사이의 '암 기준거리'가 각각 무엇을 기준으로 하는 거리인지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 헤드 기준거리와 암 기준거리가 언급되며, 청구항 3에서 각 거리의 구체적인 기준 대상이 명시되어 있다.
- 상기 헤드 기준거리는 상기 캐서드 캡과 상기 필라멘트 헤드 사이의 기준거리이고, 상기 암 기준거리는 상기 캐서드바디와상기필라멘트암들사이의기준거리인것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection헤드 기준거리에 대한 정의와 암 기준거리에 대한 정의가 포함된 청구항 3의 구절을 선택한다.
- 상기 헤드 기준거리는 상기 캐서드 캡과 상기 필라멘트 헤드 사이의 기준거리이고, 상기 암 기준거리는 상기 캐서드바디와상기필라멘트암들사이의기준거리
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 헤드 기준거리는 캐서드 캡과 필라멘트 헤드 사이의 거리이며, 암 기준거리는 캐서드 바디와 필라멘트 암들 사이의 거리임을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변을 구성한다. 헤드 기준거리는 캐서드 캡과 필라멘트 헤드 사이의 거리이고, 암 기준거리는 캐서드 바디와 필라멘트 암들 사이의 거리이다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 추출 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
헤드 기준거리는 상기 캐서드 캡과 상기 필라멘트 헤드 사이의 기준거리이고, 암 기준거리는 상기 캐서드바디와 상기 필라멘트 암들 사이의 기준거리이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이온 주입 장비의 필라멘트 정렬 도구에서 정렬의 정확도를 확보하기 위해 헤드 기준거리와 암 기준거리를 각각 캐서드 캡-필라멘트 헤드 간 거리와 캐서드 바디-필라멘트 암 간 거리로 정의하고 있다.