문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판을 콘베이어 방식으로 이동시켜 상기 반도체 기판을 인입시키는 로딩부와 상기 인입된 반도체 기판 상에 공정을 진행하는 공정 반응부와 공정을 마친 상기 반도체 기판을 인출시키는 언로딩부를 포함하는 화학기상증착 공정용 반도체 제조장치에 있어서,
상기 로딩부 및 언로딩부는,
상기 반도체 기판을 올려놓을 수 있도록 반도체 기판이 이동하는 방향의 가 로로 평행하게 복수개가 배치되고, 일측 단부에 구동력 전달부를 갖는 막대형의 기판 이동축
상기 기판 이동축과는 다른 평면상에서 반도체 기판 이동 방향으로 지지하며 상기 기판 이동축의 하부에 설치되어, 상기 기판 이동축과 동측 단부에 구동력 전달부를 갖고 막대형으로 형성된 적어도 하나의 보조 지지축
상기 기판 이동축과 상기 보조 지지축을 하나의 구동권으로 포함하면서 상기 기판 이동축과 상기 보조 지지축의 하부에 설치된 구동축
상기 기판 이동축과 상기 보조 지지축의 상기 구동전달부들을 상기 구동축과 연결하면서 구동력을 전달하도록 장착된 구동벨트
상기 구동축과 연결되어 상기 구동축을 회전 구동시키는 구동모터
상기 구동축과 대응하여 소정 거리 이격되어 마련되고 구동 벨트의 소정 구간에 걸쳐서 접촉하면서 구동벨트의 장력을 조절하는 장력 조절장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기판 이동축의 길이방향으로 소정간격을 두고 배치되며, 상기 반도체 기판 면과 접촉하도록 상기 기판 이동축을 둘러싸고 돌출 형성된복수의기판접촉 패드포함하는것을특징으로 하는콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 기판 접촉 패드는 마찰력이 높은탄성합성수지형성된것을특징으로 하는콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 장력 조절장치는,일측에는 유동롤러가 장착되고 타측에는 상기 유동롤러를 길이방향으로 정지시키는 고정부가 형성된 긴 막대형의 고정자;상기 고정자의 고정부를 수용하여 고정시킬 수 있도록 복수의 고정 수용부가 길이방향으로 소정간격 상호 이격하여 형성된 고정본체;상기 고정자를 수용하도록 중간에 개재되어 선형적으로 가변 이동할 수 있도록 유도하고, 상기 고정 수용부가 노출되도록 소정의 슬릿을 갖는가이드판포함하는것을특징으로 하는콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 고정부에는 숫나사산이 형성되어 있고, 상기 고정 수용부에는 상기 고정부와 결합되도록 형성된암나사산형성되어있는것을특징으로 하는콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 고정 수용부는 소정 방향으로 직선을 따라나열되어있는것을특징으로 하는콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 가이드 부재의 슬릿은 상기 고정자가 직선으로 이동할 수 있도록 판 면에 일측이 긴장방형의슬릿형성되어있는것을특징으로 하는콘베이어 이동방식의 반도체 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
콘베이어 이동 방식의 반도체 제조장치에서 구동벨트의 장력을 조절하기 위한 장력 조절장치는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation콘베이어 이동 방식의 반도체 제조장치 내에서 구동벨트의 장력을 조절하는 '장력 조절장치'의 구성요소를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 장력 조절장치가 언급되었으며, 구체적인 구성요소는 청구항 4에 상세히 기술되어 있다.
- 상기 구동축과 대응하여 소정 거리 이격되어 마련되고 구동 벨트의 소정 구간에 걸쳐서 접촉하면서 구동벨트의 장력을 조절하는 장력 조절장치
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3근거 선택
evidence_selection청구항 4에서 장력 조절장치를 구성하는 긴 막대형의 고정자, 고정본체, 가이드판을 추출한다.
- 일측에는 유동롤러가 장착되고 타측에는 상기 유동롤러를 길이방향으로 정지시키는 고정부가 형성된 긴 막대형의 고정자;상기 고정자의 고정부를 수용하여 고정시킬 수 있도록 복수의 고정 수용부가 길이방향으로 소정간격 상호 이격하여 형성된 고정본체;상기 고정자를 수용하도록 중간에 개재되어 선형적으로 가변 이동할 수 있도록 유도하고, 상기 고정 수용부가 노출되도록 소정의 슬릿을 갖는가이드판
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4논리 통합
logical_integration장력 조절장치는 고정자, 고정본체, 가이드판이라는 세 가지 주요 구성요소로 이루어져 있음을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 구성요소들을 나열하여 질문에 대한 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation장력 조절장치의 구성요소인 고정자, 고정본체, 가이드판을 리스트 형식으로 출력한다.
최종 답변 (final_answer)
장력 조절장치는 다음과 같은 구성요소들로 이루어져 있다:
- 일측에는 유동롤러가 장착되고 타측에는 상기 유동롤러를 길이방향으로 정지시키는 고정부가 형성된 긴 막대형의 고정자
- 상기 고정자의 고정부를 수용하여 고정시킬 수 있도록 복수의 고정 수용부가 길이방향으로 소정간격 상호 이격하여 형성된 고정본체
- 상기 고정자를 수용하도록 중간에 개재되어 선형적으로 가변 이동할 수 있도록 유도하고, 상기 고정 수용부가 노출되도록 소정의 슬릿을 갖는 가이드판
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 구동벨트의 장력을 조절하기 위해 고정자, 고정본체, 가이드판을 이용하여 고정자의 위치를 선형적으로 가변 이동시킴으로써 장력을 조절하는 기술적 구성을 포함한다.