문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 기판경사수단이,상기 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이에서 상기 기판을 이동시키는 승강수단과,상기 제 2 위치에서 상기 기판을 경사시킨 상태에서 유지하는 경사상태유지수단갖는기판처리장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 기판경사수단이 상기 제 2 위치에서 상기 기판의 자세를 수평상태와 경사상태 사이에서 전환하기 위한 기판자세전환수단갖는기판처리장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 기판경사수단이,상기 반송로 위에 설정된 구간에서 상기 반송체를 상기 반송로상의 거의 수평인 제 3 위치와 액낙하용 경사진 제 4 위치 사이에서 이동시키기 위한 반송체 경사수단과,상기 제 4 위치의 상기 반송체상에서 상기 기판을 경사시킨 상태를 유지하는 경사상태유지수단갖는기판처리장치.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 구간에 속하는 상기 반송체를 상기 반송구동수단과 착탈가능하게 연결하기 위한 클러치기구갖는기판처리장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 반송로 아래에 떨어진 액을 수집하기 위한 집액수단갖는기판처리장치.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 집액수단이 상기 반송로상의 전후에 상호인접하여 설정된 제 1 및 제 2 구간에서 각각 상기 반송로 아래에 떨어진 액을 수집하기 위한 제 1및제2집액부를포함하는기판처리장치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 처리액공급수단이 상기 제 1 및 제 2 구간에 각각 배치되는 제 1 및 제 2 노즐포함하는기판처리장치.
[청구항 9]
청구항 7에 있어서,상기 기판경사수단이 상기 제 1 구간에서 공급된 상기 기판상의 액을 상기 제 2 구간에 들어가기 전에 상기 제 1 집액부에 떨어뜨리기 위해 상기 기판을 경사시키는 제 1 기판경사부포함하는기판처리장치.
[청구항 13]
청구항 12에 있어서,상기 제 1 처리액공급기구는,상기 제 1 처리액을 토출하는 제 1 처리액토출노즐과,상기 제 1 처리액토출노즐을 대략 수평으로 상기 기판의 표면을 따라 소정속도로 이동시키는 제 1 노즐이동기구구비하는액처리장치.
[청구항 14]
청구항 12에 있어서,상기 제 2 처리액공급기구는,상기 제 2 처리액을 토출하는 제 2 처리액토출노즐과,상기 제 2 처리액토출노즐을 상기 기판의 표면을 따라 비스듬하게 소정속도로 이동시키는 제 2 노즐이동기구구비하는액처리장치.
[청구항 15]
청구항 14에 있어서,상기 제 2 처리액토출노즐에서는 연직방향으로 상기 제 2 처리액토출되는액처리장치.
[청구항 16]
청구항 14에 있어서,상기 제 2 처리액토출노즐은 상기 기판반송기구에 의한 기판의 반송방향과 직교하는 방향으로 긴 형상을 갖고 상기 기판에 대해 상기 제 2 처리액을 대략 띠형상토출하는액처리장치.
[청구항 17]
청구항 11에 있어서,상기 기판경사기구에 의해 경사자세로 변환되는 기판에서 흘러내리는 제 1 처리액을 회수하는 처리액회수수단더 구비하는액처리장치.
[청구항 18]
청구항 17에 있어서,상기 처리액회수수단은,상기 기판에서 흘려보내는 제 1 처리액을 포집하는 회수용기와,상기 회수용기의 윗면을 개폐하는 이동가능한 개체와,상기 회수용기에 포집된 제 1 처리액을 소정 장소로 송액하는 회수라인구비하는액처리장치.
[청구항 19]
청구항 10에 있어서,상기 제 1 액처리부와 상기 제 2 액처리부 간에서의 처리액 상호 비산을 방지하는 격벽판이 상기 제 1 액처리부와 상기 제 2 액처리부 사이설치되어 있는액처리장치.
[청구항 20]
청구항 10에 있어서,상기 기판경사기구는,상기 기판의 이면 소정위치에 당접하고 상기 기판을 지지하는 지지부재와,상기 기판이 경사자세로 변환될 때의 상기 기판의 미끄러짐을 방지하기 위해 상기 기판의 하단부가 되는 단면을 지지하는 가이드핀과,상기 지지부재를 유지하는 플레임부재와,상기 플레임부재를 경사시키는 구동기구갖는액처리장치.
[청구항 27]
청구항 26에 있어서,상기 제 1 액처리부는,상기 현상액을 토출하는 현상노즐과,상기 기판반송기구에 의한 기판반송방향의 앞쪽에서 뒷쪽을 향해 상기 기판에 상기 현상액이 도포되도록 상기 현상노즐을 대략 수평으로 상기 기판의 표면을 향해 소정속도로 이동시키는 현상노즐이동기구구비하는액처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판경사수단이 승강수단과 경사상태유지수단을 포함하는 경우, 상기 기판경사수단은 기판을 어떤 위치들 사이에서 이동시키는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판경사수단이 승강수단과 경사상태유지수단을 포함할 때, 기판이 이동하는 두 위치가 무엇인지 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 기판경사수단의 구성 요소인 승강수단과 경사상태유지수단에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 기판경사수단이,상기 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이에서 상기 기판을 이동시키는 승강수단과,상기 제 2 위치에서 상기 기판을 경사시킨 상태에서 유지하는 경사상태유지수단갖는기판처리장치
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3근거 선택
evidence_selection승강수단이 기판을 이동시키는 위치를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이에서 상기 기판을 이동시키는 승강수단
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4논리 통합
logical_integration기판경사수단이 승강수단을 포함하므로, 승강수단이 정의하는 이동 위치인 '제 1 위치'와 '제 2 위치'가 정답이 된다.
- 상기 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이에서 상기 기판을 이동시키는 승강수단
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5결론 도출
conclusion_formulation기판은 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이에서 이동한다는 결론을 도출한다.
- 상기 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이에서 상기 기판을 이동시키는 승강수단
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 반송로상의 제 1 위치와 그 위쪽의 제 2 위치 사이
핵심 해석 (core_interpretation)
기판경사수단이 승강수단을 통해 기판을 반송로상의 서로 다른 높이(제 1 위치 및 제 2 위치)로 이동시키고, 제 2 위치에서 기판을 경사 상태로 유지하는 기술적 구성을 나타냄.