문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 다용홀더의 상부면에는 레이저광이 산란되는 것을 방지하도록 하는 블랙으로 된코팅부형성하는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더는, 포토마스크안치부에 포토마스크가 안치되어 유동되는 것을 방지하도록 모서리부분에 삽입공을 형성하고, 연질의 고정부재를 삽입하여포토마스크고정하는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 고정부재는, 고무재인것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더의 중앙부분 저면에 지그를 삽입하도록 하는복수의지그홀형성하는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더의 측면부분에 센서로 위치를 인식하는 플랫존을 형성하고, 이 플랫존의 저면부분에 홀더를 로딩할 수 있는 홀더로딩홈형성하는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더의 가장자리 저면에는 서서히 경사져 있는 경사면부를 형성하여 다용도 홀더를 홀더척의 안치부에서장착혹은분리구성하는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 경사면부는, 2 ∼ 6mm의 너비와, 0.5 ∼ 1.5mmm의높이갖는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더는, 상기 포토마스크안치부로 부터저면사이의두께인것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더에서상기포토마스크안치부와공간부바닥면사이의두께정도인것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 다용도 홀더는, 알루미늄재,글래스파이버혹은경화프라스틱재중하나인것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 다용도홀더의 포토마스크안치부에 시각형상의 lcd기판안치하는것을특징으로 하는파티클 검사장치의 다용도 홀더.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
파티클 검사장치의 다용도 홀더에서 포토마스크가 유동되는 것을 방지하기 위해 사용되는 고정부재의 재질은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation파티클 검사장치의 다용도 홀더 내에서 포토마스크의 유동을 방지하는 고정부재의 재질을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 포토마스크 유동 방지를 위해 연질의 고정부재를 삽입한다는 내용을 확인한다.
- 포토마스크가 안치되어 유동되는 것을 방지하도록 모서리부분에 삽입공을 형성하고, 연질의 고정부재를 삽입하여 포토마스크고정하는것
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3근거 선택
evidence_selection고정부재의 구체적인 재질을 명시하고 있는 청구항 4를 선택한다.
- 상기 고정부재는, 고무재인것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration청구항 3의 고정부재 목적과 청구항 4의 재질 정보를 결합하여 고정부재가 고무재임을 도출한다.
- 포토마스크가 안치되어 유동되는 것을 방지하도록 ... 연질의 고정부재를 삽입 ... 상기 고정부재는, 고무재인것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 고정부재의 재질은 고무재임을 확정한다.
- 고무재
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 고무재
최종 답변 (final_answer)
고무재
핵심 해석 (core_interpretation)
포토마스크의 유동을 방지하기 위해 다용도 홀더의 모서리 삽입공에 연질의 고무재 고정부재를 사용하여 포토마스크를 안정적으로 고정하는 기술이다.