문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 교정용 웨이퍼 수납부가 개폐 가능한기밀의방진공간구성됨을특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 교정용 웨이퍼 수납부가웨이퍼반송부설치되어특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 교정용 웨이퍼 수납부가표면검사부설치되어특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 교정용 웨이퍼 수납부가교정용웨이퍼를수직자세수납하고특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 교정용 웨이퍼 수납부가 표면 검사부의 웨이퍼 재치면(載置面)보다상방설치되어특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 웨이퍼 반송부에 크린 유니트를 형성하고, 이 크린 유니트가 웨이퍼 반송부 내에 청정공기를 송출하며, 전술한 교정용 웨이퍼 수납부가 반송 로버트에 대해 청정(淸淨)공기의흐름상류측배치됨을특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 8]
청구항 1에 있어서,상기 표면검사부는 컴퓨터를 가지며, 이 컴퓨터는 대상 웨이퍼의 표면검사 프로그램과 교정 프로그램과, 반송 로버트의 구동 프로그램등을 가지며, 이 반송 로버트의 구동 프로그램, 표면검사 프로그램 및 교정 프로그램의 실행에 의해 상기 반송 로버트의 표면검사부에 상기 교정용 웨이퍼의 반입, 상기 교정용 웨이퍼의 표면검사, 교정의 실시,상기교정용웨이퍼의반출을연속적행하는것을특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 9]
청구항 1에 있어서,상기 교정용 웨이퍼가 수납되어 있는 분위기를 불활성 가스 분위기특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 10]
청구항 3 또는 4에 있어서,상기 교정용 웨이퍼 수납부를 불활성 가스로충진시킴을특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
[청구항 11]
청구항 1에 있어서,상기 표면검사부가 컴퓨터를 가지며, 교정용 웨이퍼 수납부가 복수개의 교정용 웨이퍼를 수납하고, 상기 컴퓨터가 각 교정용 웨이퍼의 반송이력(搬送履歷기록하는것을특징으로 하는웨이퍼 표면 검사장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 표면 검사장치에서 컴퓨터가 포함된 표면검사부가 수행하는 프로그램들의 실행을 통해 반송 로버트의 표면검사부에서 이루어지는 일련의 동작 과정은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation표면검사부의 컴퓨터 프로그램 실행을 통해 반송 로버트가 수행하는 일련의 동작 과정을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 컴퓨터의 프로그램(구동, 표면검사, 교정 프로그램) 실행에 따른 로버트의 동작을 확인한다.
- 반송 로버트의 구동 프로그램, 표면검사 프로그램 및 교정 프로그램의 실행에 의해 상기 반송 로버트의 표면검사부에 상기 교정용 웨이퍼의 반입, 상기 교정용 웨이퍼의 표면검사, 교정의 실시,상기교정용웨이퍼의반출을연속적행하는것
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3근거 선택
evidence_selection로버트의 동작 과정인 반입, 표면검사, 교정 실시, 반출에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 교정용 웨이퍼의 반입, 상기 교정용 웨이퍼의 표면검사, 교정의 실시,상기교정용웨이퍼의반출
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4논리 통합
logical_integration추출된 네 가지 동작(반입, 표면검사, 교정 실시, 반출)이 연속적으로 이루어짐을 논리적으로 연결한다.
- 연속적행하는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 동작 과정을 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 리스트 형태로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 교정용 웨이퍼의 반입
2. 교정용 웨이퍼의 표면검사
3. 교정의 실시
4. 교정용 웨이퍼의 반출
핵심 해석 (core_interpretation)
표면검사부 컴퓨터의 구동, 표면검사, 교정 프로그램 실행을 통해 반송 로버트가 교정용 웨이퍼의 반입부터 반출까지의 과정을 연속적으로 수행하는 제어 메커니즘을 나타낸다.